一种显微共焦拉曼光谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种显微共焦拉曼光谱仪，该光谱仪包括显微共焦拉曼模块和与之匹配的单光栅光谱仪，其中显微共焦拉曼模块包含反射镜、可调角度滤光片架、样品监测光路、拉曼滤光片、显微物镜、汇聚透镜和可调大小针孔。利用显微共焦拉曼模块将激光聚焦到样品并显微观测样品以及相应激光斑点，同时将拉曼信号显微共焦到可调大小针孔，并利用单光栅光谱仪探测拉曼信号。本发明专利技术提供了一种简单、经济和调节方便的新的显微共焦拉曼光谱仪，可实现样品以及相应激光斑点的显微观测，将在材料的拉曼光谱测量方面发挥潜在的作用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及拉曼光谱测试
，尤其涉及一种显微共焦拉曼光谱仪，可用于样品的实时观测以及拉曼光谱的低成本共焦显微测试。
技术介绍
众所周知，随着现代科技的发展，各种应用于拉曼光谱测试的滤光片应运而生。这些滤光片使得不再需要多个单色仪来过滤激发光，从而让拉曼光谱仪变得比较简单。到目前为止，使用陷波滤光片和边带滤光片的显微单光栅拉曼光谱仪已经占据了主要的拉曼光谱仪市场。同时，为了提高拉曼信号的信噪比，显微拉曼光谱仪一般都采用了共焦技术。现在市场上很多拉曼光谱仪都集成了激光器、显微镜、共焦针孔、光栅和探测器，如附图1所示。在这些商业化的拉曼光谱仪中，光栅和探测器已经与显微共焦光路集成在一起而无法分离。整套系统的集成使得拉曼光谱仪的使用成本非常高，例如市场上一般商业化的拉曼光谱仪的价格都在100万人民币左右，甚至更贵。由于单光栅光谱仪的价格相对便宜，即使配备CCD的单光栅光谱仪的价格也较低，一般只有20-30万左右，因此，单光栅光谱仪一直是大多数科研工作者从事光致发光光谱的主要工具。事实上，单光栅光谱仪只要配上拉曼滤光片，就能够实现拉曼光谱的测量。 但这些单光栅光谱仪却很少被用于研究拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭平恒，韩文鹏，张昕，鲁妍，罗师强，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：