本技术公开了一种用于设备维修时的防尘扩散装置，包括卷帘机构和支撑机构；所述卷帘机构包括卷帘轴固定机构、可转动的设置于所述卷帘轴固定机构上的卷帘轴、以及缠绕于所述卷帘轴上的卷帘；所述支撑机构包括与所述卷帘轴平行设置的卷帘支撑杆、可折叠机构...

本技术公开了一种硅片抛光用陶瓷盘清洁装置，包括清洗机构以及升降机构；清洗机构包括毛刷、支撑杆和位于支撑杆上的第一驱动装置；所述第一驱动装置能够带动毛刷沿支撑杆水平往复移动；升降机构包括分别位于支撑杆两端下方的主升降机构和辅升降机构；主升...

本技术公开了一种用于干式真空泵的真空过滤器，包括滤芯、外壳和盖板；外壳与盖板之间设有凹凸配合机构和搭扣式锁紧装置；滤芯中心设有轴向通孔，盖板上设有上限位凸块，外壳底部设有下限位凸块；外壳的侧面设有进气接口，底部设有出气接口；上限位凸块还...

本技术公开了一种用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，包括基底固定板，所述基底固定板的表面的中心区域设有硅片接触平板，表面的左、右侧区域和顶部区域分别设有左支撑杆、右支撑杆和上支撑杆，所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆分别用于在装...

本技术公开了一种开放式卡匣转换底座收纳装置，其特征在于，包括U型槽状固定板，所述U型槽状固定板的两侧内壁和槽底内壁上分别设有两侧支撑板和下支撑板，所述U型槽状固定板的一侧外壁的顶部设有水平板，所述水平板上设有连接孔，所述水平板的底部设有...

本技术公开了一种硅片整盒翻转冶具，包括片盒支座，所述片盒支座的一端设有片盒靠山和硅片推动机构，所述硅片推动机构能够沿所述片盒支座的两端往复移动。本申请提供的翻转冶具实现了硅片整盒翻面动作，减少了人员单片翻面动作，可高效完成整盒翻面并有效...

本技术公开了一种用于辅助拆装电机的冶具，所述电机包括电机本体及位于所述电机本体下方的转子，所述冶具包括平台、以及位于所述平台底部的升降机构；所述平台的一侧开设有用于放置电机下方转子的开口，开口附近的所述平台上设有用于支撑电机本体的固定块...

本技术公开了一种晶圆盒清洗机用轴承组件，包括固定机构、转动及连接料架结构，固定机构为轴承座，轴承座包括圆筒以及连接部；转动及连接料架机构包括轴承套、轴承、以及固定盖；轴承的上下两端与轴承套之间还设有轴封；固定盖与轴承套之间还设有密封圈；...

本技术公开了一种用于改善晶圆直径量测方式与准确性的装置，包括底座平台，所述底座平台上设有第一支架、第二支架以及线性滑轨，线性滑轨上设有能够沿其线性往复移动的晶圆定位平台；晶圆定位平台上设有定位销；第一支架和第二支架上设有卡尺固定件；光标...

本实用新型公开了一种半导体长晶机观察口，包括第一石英玻璃

本发明公开了一种用于晶圆直径精准量测的装置和方法，该装置包括晶圆承载机构

本发明公开了一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法，包括以下步骤：S1.取测试样品，模拟硅晶圆生产热处理工艺参数进行热处理，使样品表面生长氧化层，选取监测点对样品不同位置氧化层膜厚进行监测，同时对样品是否发生应力缺陷进行监测；S2.调...

本实用新型公开了一种晶圆承载台，包括支撑台体，以及位于所述支撑台体表面两侧的第一支撑槽、以及位于表面中心的第二支撑槽；两侧的所述第一支撑槽和所述第二支撑槽相对位置上设有水平阵列排布的多个V型插槽单元，相对设置的位于两侧和中心的V型插槽单...

本实用新型公开了一种堆垛机导向装置，包括导轮座、以及对称设置于所述导轮座两端的两组导轮组件和两组加强组件；所述导轮座呈L型，包括竖板和横板；每组所述加强组件均包括立式肋板和水平加强板，所述水平加强板位于所述横板的端部上表面；所述水平加强...

本实用新型公开了一种硅片抛光过程中用于抛布的清洁装置，包括固定组件和刷头组件；所述固定组件包括固定座和支撑板，所述固定座用于和抛光机台连接；所述支撑板的一端与所述固定座连接且连接位置可调节，另外一端开设有第一轴孔；所述刷头组件包括毛刷和...

本发明公开了一种改善重掺硅片边缘抛光污染的方法，包括以下步骤：S1.对蚀刻、清洗后待边缘抛光的重掺硅片在850～1200℃条件下与氧气发生氧化反应，使重掺硅片的正反两面产生致密氧化膜；S2.对产生致密氧化膜的重掺硅片进行边缘抛光；S3....

本发明公开了一种改善外延层有效厚度的重掺基板的制备方法，对所述重掺基板进行热处理；所述热处理包括以下步骤：S1.升温至预热温度：以20～90℃/S速率将所述重掺基板升温至600～670℃，保持5～10s；S2.快速升温：以20～90℃/...

本实用新型公开了一种硅片抛光用抛光浆供应装置，包括第一储浆槽、抛光浆循环管路、第二储浆槽和控制模块；第一储浆槽连通有供水管路和原液供应管路；抛光浆循环管路设有进口端、第一出口端和第二出口端，进口端、第一出口端均与第一储浆槽连通，第二出口...

本实用新型公开了一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，包括储气环、与所述储气环连通的氩气管道；所述储气环的两端分别与石英镜片和长晶机主炉室密封连接。本申请提供的气体保护装置，能保护热场测温仪石英镜片的洁净度，改善了热场测试的雾化干扰...

本实用新型公开了一种改善抛头与衬垫贴合精度的装置，包括定位基座和定位环；所述定位基座为三层阶梯状，从上至下阶梯的直径逐渐增大；所述定位环能够扣合至所述定位基座的底层阶梯上；定位环的环内侧形状、尺寸与衬垫的固定环外侧相适配，使衬垫能够无间...