【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片生产，具体涉及一种用于开放式卡匣的定位装置。
技术介绍
1、open cassette(开放式卡匣)在硅片制造内工序间运送以及清洗等工艺中广泛使用，如图1所示，为现有技术中一种典型的open cassette的结构示意图，卡匣在流转过程中会呈现两种状态，状态一是未上机使用时卡匣后侧7向下，硅片在卡匣内是竖直状态。状态二是上机使用时卡匣底部8向下，硅片在卡匣内是水平状态。在使用过程中，由状态一向状态二转换，硅片可能会搭在卡匣后侧的卡槽9中间，导致硅片在卡匣中呈倾斜状态，而未平稳放置，若不及时纠正容易造成硅片损伤。现有技术中普遍采用的纠正处置方式为：操作人员观察硅片在卡匣内的状态，将搭在卡匣后侧卡槽的硅片推离卡槽或轻敲open cassette产生震动使硅片滑落到卡槽平坦区域，但该手法容易导致得晶片边缘受损、脏污，甚至可能出现硅片翻面(纠正前后硅片前后放置面不一致)导致拿取硅片的机械手臂碰触到硅片背面，导致生产硅片报废或需要再次加工导致成本上升。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种用于开放式卡匣的定位装置。
2、本技术的目的是以下述技术方案实现的：
3、一种用于开放式卡匣的定位装置，包括基底固定板，所述基底固定板的表面的中心区域设有硅片接触平板，表面的左、右侧区域和顶部区域分别设有左支撑杆、右支撑杆和上支撑杆，所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆分别用于在装置使用时包裹开放式卡匣的后侧，所述硅片接触平板用于在前推
4、优选的，所述基底固定板上设有把手。
5、优选的，所述把手位于所述基底固定板的与所述硅片接触平板所在面的相对面上。
6、优选的，所述硅片接触平板、所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆材质均为铁氟龙或peek材料。
7、优选的，所述基底固定板材质为塑性材料。
8、优选的，所述把手材质为塑性材料。
9、采用本申请的定位装置，可有效解决硅片边缘脏污、受损的问题，也能确保硅片不会出现翻面而导致机械手臂碰触到硅片背面从而刮伤硅片的问题，降低了生产成本。
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1.一种用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，包括基底固定板，所述基底固定板的表面的中心区域设有硅片接触平板，表面的左、右侧区域和顶部区域分别设有左支撑杆、右支撑杆和上支撑杆，所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆分别用于在装置使用时包裹开放式卡匣的后侧，所述硅片接触平板用于在前推硅片离开后侧的卡槽时接触所述硅片，使硅片在卡匣内平稳放置。
2.如权利要求1所述的用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，
3.如权利要求2所述的用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，
4.如权利要求1所述的用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，
5.如权利要求1所述的用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，
6.如权利要求2所述的用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，包括基底固定板，所述基底固定板的表面的中心区域设有硅片接触平板，表面的左、右侧区域和顶部区域分别设有左支撑杆、右支撑杆和上支撑杆，所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆分别用于在装置使用时包裹开放式卡匣的后侧，所述硅片接触平板用于在前推硅片离开后侧的卡槽时接触所述硅片，使硅片在卡匣内平稳放置。
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，钟佑生，陈志刚，林明政，蒋胜利，王增双，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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