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本技术公开了一种用于开放式卡匣的定位装置，其特征在于，包括基底固定板，所述基底固定板的表面的中心区域设有硅片接触平板，表面的左、右侧区域和顶部区域分别设有左支撑杆、右支撑杆和上支撑杆，所述左支撑杆、所述右支撑杆和所述上支撑杆分别用于在装置使...
该专利属于郑州合晶硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过郑州合晶硅材料有限公司授权不得商用。

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