一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，包括储气环、与所述储气环连通的氩气管道；所述储气环的两端分别与石英镜片和长晶机主炉室密封连接。本申请提供的气体保护装置，能保护热场测温仪石英镜片的洁净度，改善了热场测试的雾化干扰，保证了输出温度的精确性，对晶棒因温度梯度大造成的断线现象有很好的改善；因此，本申请气体保护装置，具有较好的实用价值和技术改进意义。具有较好的实用价值和技术改进意义。具有较好的实用价值和技术改进意义。

【技术实现步骤摘要】
一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置


[0001]本技术属于硅片生产
，具体涉及一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置。

技术介绍

[0002]现有技术8寸&12寸重掺长晶机主炉室热场测温仪结构如图1所示，其中测温仪下方的石英镜片3与炉室密封连接，用于透光，镀金反射玻璃采集炉内的光照强度，反射给测温仪探头；但是石英镜片随着高温晶棒成长时间的增加，会吸附氧化物，从而造成热场测温仪的侦测的数据偏移，精确性下降，造成电源柜输出功率输出偏差，影响晶棒断线和品质。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置。
[0004]本技术的目的是以下述技术方案实现的：
[0005]一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，包括储气环、与所述储气环连通的氩气管道；所述储气环的两端分别与石英镜片和长晶机主炉室密封连接。
[0006]优选的，所述氩气管道上设有阀门。
[0007]优选的，所述氩气管道上设有压力计。
[0008]优选的，所述储气环与所述长晶机主炉室之间设有密封圈。
[0009]优选的，所述石英镜片、所述储气环与所述长晶机主炉室之间通过固定螺丝固定连接。
[0010]本申请提供的气体保护装置，能保护热场测温仪石英镜片的洁净度，改善了热场测试的雾化干扰，保证了输出温度的精确性，对晶棒因温度梯度大造成的断线现象有很好的改善；因此，本申请气体保护装置，具有较好的实用价值和技术改进意义。
附图说明
[0011]图1是现有技术中一种典型的长晶机主炉室热场测温仪的结构示意图；
[0012]图2是本申请提供的气体保护装置的结构示意图。
[0013]其中，1
‑
热场测温仪；2
‑
固定螺丝；3
‑
石英镜片；4
‑
镀金反射玻璃；5
‑
密封圈；6
‑
氩气管道；7
‑
储气环；8
‑
通入炉内氩气；9
‑
主炉室；10
‑
压力计；11
‑
阀门。
具体实施方式
[0014]本技术提供了一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，如图2所示，包括储气环7、与储气环连通的氩气管道6；储气环的两端分别与石英镜片3和长晶机主炉室9密封连接。
[0015]本技术在成长晶棒加热时，通过氩气管道向储气环和主炉室内输入一定量的
氩气，对石英镜片形成了洁净保护，防止其吸附氧化物，从而保证热场测温仪1通过镀金玻璃4反射的热光源没有雾化干扰，保证了加热功率输出稳定，进而改善测量温控的精准性。而且输入的保护气体氩气最终输出至主炉室内，主炉室内晶棒成长本身需要氩气，因此，氩气对主炉室内的晶棒成长也不会造成任何不良影响。
[0016]本次申请提供的气体保护装置，能保护热场测温仪石英镜片的洁净度，改善了热场测试的雾化干扰，保证了输出温度的精确性，对晶棒因温度梯度大造成的断线现象有很好的改善；因此，本申请气体保护装置，具有较好的实用价值和技术改进意义。
[0017]优选的，氩气管道6上设有阀门11和压力计10，可控制氩气的输出量。
[0018]优选的，储气环7与长晶机主炉室9之间设有密封圈5，通过密封圈与主炉室密封连接，防止氩气逸出。
[0019]优选的，石英镜片、储气环与长晶机主炉室之间通过固定螺丝2固定连接。
[0020]尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于长晶机主炉室测温口的气体保护装置，其特征在于，包括储气环、与所述储气环连通的氩气管道；所述储气环的两端分别与石英镜片和长晶机主炉室密封连接；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴泓明，钟佑生，陈志刚，王俊仁，万军召，
申请(专利权)人：郑州合晶硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：