本发明提供一种用于测温的吸附装置及其测温方法、电子装置，测温方法包括：提供包括吸附盘的吸附装置，获取吸附盘上测温点的位置数据与温度数据并建立数据模型库；结合反距离加权插值公式的计算，得到吸附盘上任意点的温度数据。本发明的用于测温的吸附装...

本实用新型公开了一种晶圆测试自动校正装置，底板的顶部四周通过支撑柱固定有顶板，底板的顶部中心处位于顶板的下方转动连接有转盘，顶板的顶部四周开设有呈环状分布的第一滑槽，底板上正对应第一滑槽开设有第二滑槽，转盘上开设有驱动槽，第二滑槽的内部...

本实用新型公开了一种晶圆检测自动上下料输送机构，底板的四个拐角位置处固定有支撑脚，底板的底部中心处安装有第一伺服电动缸，第一伺服电动缸的伸缩端与底板正上方的升降板连接，升降板的顶部安装有第二伺服电动缸，第二伺服电动缸的伸缩端固定在延伸板...

本实用新型公开了一种晶圆测量分选装置，包括底座，所述底座的底部分别固定连接有支腿，所述支腿的底部设置有垫板，所述底座的下表面分别设置有合格品收集箱、分选箱以及不合格品收集箱，所述底座的内部分别开设有与合格品收集箱、分选箱以及不合格品收集...

本发明提供一种测温晶圆及其实现方法和测温系统，其中，测温晶圆包括：晶圆本体，晶圆本体表面设置有连续的线槽，线槽在晶圆本体的外周边缘上设置有线槽进口端及线槽出口端；光栅光纤，光栅光纤上设置有若干个预设尺寸的光栅，光栅光纤嵌入于线槽内，从线...

一种半导体晶圆智能检测平台，其包括底部设置的底座，底座顶端中部设置的检测台，检测台中部嵌入安装的升降气缸，升降气缸顶端设置的连接块以及连接块顶端设置的放置板，还包括除尘机构，所述检测台上设置有除尘机构；所述除尘机构包括壳体、丝杆、气泵和...

本实用新型公开了一种多尺寸晶圆厚度检测装置，包括底座，所述底座的下表面设置有垫脚，所述底座的上表面设置有真空吸盘，所述底座的上表面两侧分别固定连接有侧板，所述侧板之间固定连接有横板，所述横板的上表面固定连接有齿轮室，所述横板的下表面固定...

本实用新型公开了一种晶圆测量定位机构，包括底板，所述底板的底部四周固定有支撑组件，所述底板的顶部中心处安装有箱体，所述箱体的顶部中心处安装有伯努利吸盘，所述箱体的内部通过间距调节组件固定有弧形限位块，所述弧形限位块呈“十”字形分布在伯努...

本实用新型公开了一种半导体晶圆测量自动转换装置，所述底板的中心处转动连接有转轴，所述转轴的顶端固定有切换盘，所述切换盘上等距离安装有四个检测工位，所述检测工位上等距离分布有定位吸盘，所述转轴的底部安装有从动齿轮，所述从动齿轮与一侧的四分...

本实用新型公开了一种热波分析仪的载物台，包括底座，所述底座顶部四边固定安装有固定杆，所述固定杆内部滑动设置有伸缩杆，所述固定杆外侧上方转动设置有固定螺栓，所述伸缩杆外侧调节的减震弹簧，所述伸缩杆顶部固定安装有载物台，所述载物台底部中间位...

一种金属残留测试仪，其包括用于检测的测试仪本体，还包括混合机构和清洗机构，所述测试仪本体的一侧设置有混合机构，混合机构的一侧设置有清洗机构；所述混合机构包括混合箱体、搅拌轴和输液泵，混合箱体的内部安装有搅拌轴，搅拌轴的顶端安装有伺服电机...

一种电路板表面缺陷检测装置，其包括用于检测的检测台，用于支撑的支柱，用于连接的横梁以及横梁底端安装的三维激光扫描仪，还包括翻转机构和放置机构，所述检测台顶端的中部设置有翻转机构，翻转机构的中部安装有放置机构；所述放置机构包括方形框和丝孔...

一种光学显微镜的调焦微动装置，其包括外部设置的壳体，用于使用的物镜镜片组，用于使用的连续变倍镜片组以及用于使用的调焦镜片组，还包括调焦镜片调节机构和连续变倍镜片组调节机构，所述调焦镜片组的两侧均设置有调焦镜片调节机构，连续变倍镜片组的两...

本实用新型公开了一种集成电路生产用全自动对准机台，包括机架，所述机架的顶部中心处安装有X轴运动机构，所述X轴运动机构上安装有加工台，所述加工台的一侧中心处安装有定位架，所述定位架的底部安装有限位块，所述机架上位于X轴运动机构的一侧开设有...

一种电阻率测试仪，其包括测试仪壳体，用于显示的显示屏，用于操作的按钮区，还包括导线和放料机构，所述测试仪壳体的一侧通过导线连接有放料机构；所述放料机构包括底座、导向柱、上电极和导向孔，底座顶端的四角位置处设置有四个导向柱，导向柱的底部固...

本实用新型公开了一种方块电阻测试设备，包括箱体，所述箱体顶部设置有上盖，所述箱体底部两侧开设有通槽，所述箱体内部上方滑动设置有固定杆，所述固定杆两侧贯穿固定设置有接触杆，所述接触杆底部固定安装有与通槽相匹配的弧形测试块，所述接触杆顶部开...

本实用新型公开了一种膜厚仪，包括底座，所述底座底部四角固定安装有支撑杆，所述底座顶部两侧固定安装有固定杆，所述底座顶部中间位置开设有凹槽，所述凹槽内部设置有相互配合的承载板，所述承载板表面均与间隔开设有过滤通孔，所述底座内部中间位置开设...

本实用新型公开了一种双工位晶圆片缺陷检测仪，包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有固定块，所述固定块顶部固定安装有工作台，所述工作台顶部两侧固定安装有第一放置台，所述工作台中间位置两侧滑动设置有与第一放置台相匹配的第二放置台，所述第一...

一种全自动显示微镜镜检装置，其包括用于支撑的底座，用于升降的升降杆，用于连接的连接架，连接架上旋接的调节旋钮以及用于使用的镜筒，还包括显示屏、调节机构、连接杆和载物台，所述镜筒的顶端安装有显示屏，底座靠近中部的两侧均设置有调节机构，调节...

本实用新型公开了一种电子器件表面电荷测试仪，包括壳体，所述壳体的顶部中心处安装有滑套，所述滑套的内部滑动连接有检测棒，所述壳体的底部内壁一侧安装有检测模块，所述壳体的底部内壁另一侧安装有锂离子电池，所述检测棒通过弹性导电线与检测模块的输...