一种晶圆测量定位机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆测量定位机构，包括底板，所述底板的底部四周固定有支撑组件，所述底板的顶部中心处安装有箱体，所述箱体的顶部中心处安装有伯努利吸盘，所述箱体的内部通过间距调节组件固定有弧形限位块，所述弧形限位块呈“十”字形分布在伯努利吸盘的四周。本实用新型专利技术将需要测量的晶圆放置在伯努利吸盘上，并使弧形限位块环绕晶圆的四周，对晶圆起到限位作用，防止晶圆移位，由于伯努利吸盘气旋是从吸盘中心喷发的高压空气形成的，所以晶圆与伯努利吸盘的底面会形成一个气面的悬空距离，使晶圆悬浮在伯努利吸盘的顶部，从而避免夹持工具对晶圆原始形状的破坏或污染，进而减少测量误差。进而减少测量误差。进而减少测量误差。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测量定位机构


[0001]本技术涉及晶圆定位
，具体为一种晶圆测量定位机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]晶圆的几何参数如晶圆形状、晶圆厚度等对晶圆的质量有着至关重要的作用，因此对晶圆的几何参数进行测量是评估晶圆的质量的重要工作。通常可以使用具有测量光路的晶圆测量设备来测量晶圆的几何参数，并且需要采用定位机构将晶圆垂直固定在测量光路中。
[0004]在中国专利CN210866145U公开了晶圆定位机构，包括夹紧气缸及保护夹爪，夹紧气缸包括气缸主体及两滑动安装于气缸主体的气爪夹头，保护夹爪包括两夹持组件，每一夹持组件固定于一气爪夹头，每一夹持组件设有粗定位夹持面及精定位夹持面，粗定位夹持面及精定位夹持面连接，晶圆夹持于两夹持组件的粗定位夹持面进行粗定位后滑落至精定位夹持面进行精定位，整个定位过程中，只有晶圆侧缘与粗定位夹持面及精定位夹持面碰触，光刻面不接触，无污染。但是采用接触式夹持的方式对晶圆进行定位，会对晶圆原始形状造成破坏或污染，影响测量精度。因此，设计一种晶圆测量定位机构是很有必要的。

技术实现思路

[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种晶圆测量定位机构，将需要测量的晶圆放置在伯努利吸盘上，并使弧形限位块环绕晶圆的四周，对晶圆起到限位作用，防止晶圆移位，由于伯努利吸盘气旋是从吸盘中心喷发的高压空气形成的，所以晶圆与伯努利吸盘的底面会形成一个气面的悬空距离，使晶圆悬浮在伯努利吸盘的顶部，从而避免夹持工具对晶圆原始形状的破坏或污染，进而减少测量误差。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆测量定位机构，包括底板，所述底板的底部四周固定有支撑组件，所述底板的顶部中心处安装有箱体，所述箱体的顶部中心处安装有伯努利吸盘，所述箱体的内部通过间距调节组件固定有弧形限位块，所述弧形限位块呈“十”字形分布在伯努利吸盘的四周。
[0007]优选的，所述间距调节组件包括步进电机、调节臂、通孔、丝杆、内螺纹套圈和驱动臂；
[0008]所述箱体的中心处转动连接有丝杆，所述丝杆的尾端与箱体底部的步进电机传动连接，所述丝杆上啮合连接有内螺纹套圈，所述箱体的四周开设有通孔，所述通孔的内部滑动连接有调节臂，所述调节臂的尾端通过驱动臂与内螺纹套圈的外壁活动连接，所述调节臂的顶端固定有弧形限位块。
[0009]优选的，所述驱动臂的两端通过万向节分别与调节臂和内螺纹套圈活动连接。
[0010]优选的，所述箱体的底部内壁等距离固定有限位滑轨，所述调节臂的底部通过限位滑块滑动连接在限位滑轨上。
[0011]优选的，所述弧形限位块的内壁固定有橡胶阶梯垫。
[0012]优选的，所述支撑组件包括固定在底板的底部四周的内螺纹座，所述内螺纹座的内部旋接固定有外螺纹杆，所述外螺纹杆的底部固定有支撑脚。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]1、将需要测量的晶圆放置在伯努利吸盘上，并使弧形限位块环绕晶圆的四周，对晶圆起到限位作用，防止晶圆移位，由于伯努利吸盘气旋是从吸盘中心喷发的高压空气形成的，所以晶圆与伯努利吸盘的底面会形成一个气面的悬空距离，使晶圆悬浮在伯努利吸盘的顶部，从而避免夹持工具对晶圆原始形状的破坏或污染，进而减少测量误差；
[0015]2、步进电机工作，带动丝杆旋转，由于四周调节臂的限位作用，使内螺纹套圈在丝杆上上下运动，从而通过驱动臂带动调节臂在通孔的内部运动，以实现对弧形限位块的间距进行自由调节，能满足不同直径晶圆的定位需求；
[0016]3、通过设置的限位滑轨和限位滑块，对调节臂的运动起到限位作用，提升调节臂运动的稳定性；
[0017]4、通过设置的橡胶阶梯垫，避免晶圆的四周与弧形限位块硬接触，造成晶圆四周磨损。
附图说明
[0018]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0019]图1是本技术整体正视平面结构示意图；
[0020]图2是本技术间距调节组件平面结构示意图；
[0021]图3是本技术弧形限位块俯视平面结构示意图；
[0022]图中标号：1、底板；2、箱体；3、伯努利吸盘；4、步进电机；5、弧形限位块；6、内螺纹座；7、外螺纹杆；8、支撑脚；9、调节臂；10、通孔；11、丝杆；12、内螺纹套圈；13、驱动臂；14、限位滑轨；15、限位滑块；16、橡胶阶梯垫。
具体实施方式
[0023]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0025]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0026]实施例一
[0027]由图1给出，本技术提供如下技术方案：一种晶圆测量定位机构，包括底板1，底板1的底部四周固定有支撑组件，底板1的顶部中心处安装有箱体2，箱体2的顶部中心处安装有伯努利吸盘3，箱体2的内部通过间距调节组件固定有弧形限位块5，弧形限位块5呈“十”字形分布在伯努利吸盘3的四周，将需要测量的晶圆放置在伯努利吸盘3上，并使弧形限位块5环绕晶圆的四周，对晶圆起到限位作用，防止晶圆移位，由于伯努利吸盘3气旋是从吸盘中心喷发的高压空气形成的，所以晶圆与伯努利吸盘3的底面会形成一个气面的悬空距离，使晶圆悬浮在伯努利吸盘3的顶部，从而避免夹持工具对晶圆原始形状的破坏或污染，进而减少测量误差。
[0028]实施例二
[0029]参照图1、图2和图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，间距调节组件包括步进电机4、调节臂9、通孔10、丝杆11、内螺纹套圈12和驱动臂13，箱体2的中心处转动连接有丝杆11，丝杆11的尾端与箱体2底部的步进电机4传动连接，丝杆11上啮合连接有内螺纹套圈12，箱体2的四周开设有通孔10，通孔10的内部滑动连接有调节臂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测量定位机构，包括底板(1)，所述底板(1)的底部四周固定有支撑组件，其特征在于：所述底板(1)的顶部中心处安装有箱体(2)，所述箱体(2)的顶部中心处安装有伯努利吸盘(3)，所述箱体(2)的内部通过间距调节组件固定有弧形限位块(5)，所述弧形限位块(5)呈“十”字形分布在伯努利吸盘(3)的四周。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测量定位机构，其特征在于：所述间距调节组件包括步进电机(4)、调节臂(9)、通孔(10)、丝杆(11)、内螺纹套圈(12)和驱动臂(13)；所述箱体(2)的中心处转动连接有丝杆(11)，所述丝杆(11)的尾端与箱体(2)底部的步进电机(4)传动连接，所述丝杆(11)上啮合连接有内螺纹套圈(12)，所述箱体(2)的四周开设有通孔(10)，所述通孔(10)的内部滑动连接有调节臂(9)，所述调节臂(9)的尾端通过驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李峰，曹晓光，
申请(专利权)人：涌淳半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：