在此提供一种用于形成可靠且合乎经济效益的电池或电化学电容器电极结构的方法及设备，所述电极结构具有改善的寿命、较低的生产成本以及改善的工艺性能。在一个实施例中，提供一种用于形成电池或电化学单元的三维多孔电极的方法。所述方法包含通过扩散限制...

提供了形成具有磁图案化表面的基板的方法和装置。在基板上形成包括一或多种具有磁性的材料的磁层。磁层经过图案化处理，在处理过程中选择多个部分磁层表面进行改变，改变部分具有与未改变部分不同的磁性而不会改变基板的形貌。保护层和润滑层沉积在图案化...

揭示了一种形成于能量储存装置中的电极表面上的中孔径碳材料以及一种形成该中孔径碳材料的方法。该中孔径碳材料充当用于能量储存装置中的高表面积离子夹层介质，且该中孔径碳材料由CVD沉积的碳富勒体“洋葱状物”以及碳纳米管(CNT)所组成，这二者...

本发明实施方式提供用于在设置在处理腔室中的大尺寸基板上沉积含氮材料的方法。在一个实施方式中，所述方法包括：在处理腔室中处理一批基板，以在出自所述一批基板的基板上沉积含氮材料；以及在处理所述一批基板期间以预定间隔执行陈化处理，以在设置在所...

本文提供用于冷却基材的方法。在某些实施例中，一种用于冷却一基材的方法包含：在一处理腔室中从一准备温度至一大于约摄氏900度的顶峰温度加热一基材；以及通过以至少约3mm/s的速率在垂直于该基材的上表面的方向上移动该基材，从该顶峰温度的约摄...

为了将RF功率从等离子体腔室的RF输入(40)耦合至等离子体腔室的内部(11)，将RF总线导体(43、44)连接在所述RF输入与等离子体腔室电极(20至26)之间。在一实施例中，RF回流总线导体(53、54)连接至所述腔室的电接地壁(1...

本发明主要是关于从化学机械研磨(CMP)过程中回收研磨浆料及冲洗水的装置和方法。本发明也是关于使用离心泵来进行流变学测量及聚结预防。

本发明提供一种制造磁存储介质的方法和装置。将结构基板涂覆磁敏感材料，并且在磁敏感材料上方形成图案化抗蚀层。将原子团导向基板，穿透抗蚀剂并且注入磁敏感层。在某些区域中抗蚀剂的厚的部分防止注入，以在基板上形成磁性的图案。原子团的能量和成分、...

本发明提供一种在基板上溅射材料的沉积设备(100)及方法，该沉积设备具有基板固持件(110)，用以固持该基板；可旋转靶(120)，适于受溅射；以及加热系统，该加热系统包含用以从背侧加热该基板的背侧加热(130)以及用以从前侧加热该基板的...

提供一种带电粒子束PVD装置，所述装置包含：在壳体(261)内部的涂布材料靶(262)，设置在该壳体中的气孔(263)，以及与该气孔相邻设置的遮蔽装置(266，268；2680)，该遮蔽装置处于浮动电位。

本文揭示用于允许至机器人设备中的电末端执行器的电连接的系统、设备及方法。在一方面中，电耦合件调适成将电力提供给该真空腔室中的该电末端执行器。该电耦合件可包括啮合电触点。在一些实施例中，可将触点中的至少一个相对于弹簧悬停，以使得啮合触点在...

提供了一种用以形成太阳能电池的方法及设备。在一实施例中，一种光伏器件包含：第一TCO层，所述第一TCO层设置在基板上；第二TCO层，所述第二TCO层设置在所述第一TCO层上；以及p-型含硅层，所述p-型含硅层形成在所述第二TCO层上。在...

提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提...

本发明提供一种用于图案化基板的方法和装置。通过涂覆前体材料到主基板和固化或凝固所述前体材料，来形成模板。使用载板将模板与主基板分离，所述载板具有弯曲表面。用图案化材料涂覆模板，之后将模板与载板分离并将模板施加到将被图案化的基板。之后溶解...

本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安...

本发明的实施例一般地提供在衬底上丝网印刷多层图案的设备与方法。在一实施例中，第一图案层并同多个对准标记印刷在衬底的表面上。相对于所述衬底的特征来量测对准标记的位置，以确定所述图案的实际位置。将所述实际位置与所述预期位置作比较以确定在所述...

本发明提供一种用于在处理期间支撑基板（１５０）的支撑材料（１３７）；该支撑材料（１３７）包含非交织材料，所述非交织材料包含顶部区域与底部区域，其中该顶部区域（４２０）相比该底部区域（４１０）更为低柔性。该非交织材料也具有与该顶部区域相邻...

本发明提供一种用于进行高速基材反转以促进任一基材表面的光电制造处理的方法和设备，包含两个堆迭的输送器，所述两个堆迭的输送器协力地旋转且经定位以同时啮合一基材的两个表面，以使得能够装载、反转及分配沿着一自动化生产系统的基材生产流程平面行进...

一种用于制造铜铁矿铜材料的方法，包括：一用于合成ＣｕＢＯ２粉末的低温溶胶－凝胶工艺；及一用于使用由所述ＣｕＢＯ２粉末制成的靶材形成ＣｕＢＯ２薄膜的脉冲激光沉积（ＰＬＤ）工艺。所述ＣｕＢＯ２薄膜是光学透明的ｐ型半导体氧化物薄膜。具有ＣｕＢ...

本发明描述了线绳管理单元，所述线绳管理单元适合于线锯装置（２００；３００；４００；５００），所述线锯装置具有线绳（２１３），所述线绳形成用于切割的线网。线绳管理单元包括：滑轮移动装置（２４０；４４０）；至少一个滑轮（２２０；５２０），所...