本发明的实施例提供用于诸如藉由化学气相沉积(CVD)在基材上沉积层的改良的设备。在此所揭露的本发明的设备可有利地助于实现以下效果的一种或多种：在给定的处理腔室内沉积具有减少的膜厚度不均匀性的膜、改良的粒子表现(例如，在处理腔室中所形成的...

具有化学输送系统(诸如前驱物分配系统)的半导体制造工具使用贮槽组件作为分配系统的部件。一种贮槽组件包括：罐，其包含包围罐中内部空间的至少一个侧壁、顶部以及底部；进入通口及排出通口，该进入通口和排除通口与该内部空间流体连通；进入阀，其用于...

提供对沉积腔室进行原位电浆清洁的方法与设备。在一个实施例中，提供一种对沉积腔室进行电浆清洁而不破坏真空的方法。所述方法包括：将基板置于晶座上，所述晶座被配置于腔室中且由电浮动沉积环所环绕；将金属薄膜沉积于腔室中的基板与沉积环上；将沉积于...

本发明通常描述用来在衬底的期望区域上执行退火工艺的设备和方法。在一个实施例中，利用闪光灯或激光设备，将脉冲电磁能量供给到衬底上。该脉冲可以是从约1纳秒到约10毫秒长，并且每个脉冲具有比熔化衬底材料需要的能量小的能量。脉冲之间的能量间隔通...

本发明的实施例涉及用于移动光伏模块的台车，包括：具有第一数个滚轴的延长基础部分和支撑部分，所述支撑部分与所述延长基础部分可移动地结合，从而使得所述支撑部分可以被向上和向下移动，以升高和降低光伏模块。本发明还描述了包括至少两个台车的套件以...

本文揭露将工艺气体提供到处理系统中衬底的方法与设备。在一些实施例中，该衬底处理系统可以包括：工艺腔室，其具有衬底支撑件设置在其中；光源，其设置在该工艺腔室上方以将能量导向该衬底支撑件；以及窗组件，其设置在该光源与该衬底支撑件之间，以容许...

本发明的实施例提供了一种在装置上形成电连接的方法。在一实施例中，电连接经由具有导电颗粒的粘着剂附接至该装置。在一实施例中，粘着剂在施加压力时被固化，以使导电颗粒对准，颗粒与颗粒间的间距减小，或者彼此接触以在电连接与装置之间提供更直接的导...

提供精确控制基板冷却的方法与装置。测量基板温度的装置可包括冷却板，冷却板用以支撑基板；传感器，传感器用以提供基板置于冷却板上时与基板的温度相对应的数据；及计算机，计算机耦接至传感器以根据传感器数据确定基板温度。测量基板温度的方法可包括提...

本发明公开了一种通过薄膜沉积工艺形成电池的方法。将介孔碳材料沉积到导电基板的表面上，在该导电基板的表面上形成有高表面积的导电微结构。之后将多孔的介电分离层沉积到该介孔碳材料层上，以形成能量存储器件的半电池。介孔碳材料由CVD沉积的碳富勒...

本文提供用以处理基板的方法与装置。在一些实施例中，一种用于基板处理的装置包括处理腔室以及含硅涂层，所述处理腔室具有腔室主体，所述腔室主体限定内部空间，所述含硅涂层设置在所述腔室主体的内表面上，所述含硅涂层的外表面为至少35％原子数的硅。...

本发明的实施例是关于基材处理设备以及结合提供独立控制光脉冲持续时间、形状及重复速率的光源的方法。实施例进一步提供照射强度的快速增加及减少。

本发明的实施例关于用于热处理基板的包括发光二极管(LEDs)的基板处理装置及方法。这种光源提供多种优点，包括效率较高且响应时间更快。脉冲宽度是可选择的，可下至少于一毫秒，但对于长脉冲而言可上至一秒和超过一秒。即便在允许较长处理时间的情况...

本发明的实施例一般是关于一种系统，此系统用于利用处理模组来执行太阳能电池设备形成制程中的一或多道制程以形成太阳能电池设备。在一实施例中，该系统用于形成薄膜太阳能电池设备，该系统藉由接收一大型未处理的基板并进行多个沉积、材料移除、清洁、接...

公开了用于检测玻璃基板上的残留物的设备和方法以及使用的方法。所述设备包括：基板支架、传感器、控制器以及与所述控制器通讯的外围设备。所述设备测量基板的主表面和除边表面的高度或厚度，以确定在所述除边表面上是否存在膜残留物。

一种用于处理腔室的基板支撑件，包括静电吸盘以及位于该静电吸盘下方的气体分配器基板，其中静电吸盘具有接收表面以接收该基板。该气体分配器基板包括具有复数个出气口的周围侧壁，这些出气口彼此间隔开，以便从围绕该基板的周边且以径向朝外的方向将处理...

提供用于本征型微晶硅层的方法。一实施例中，藉由下列步骤制造微晶硅层：提供基板进入处理腔室，供应气体混合物进入处理腔室，在气体混合物中以第一模式施加RF功率，脉冲气体混合物进入处理腔室，并在经脉冲的气体混合物中以第二模式施加RF功率。

提供了一种用于制造磁性存储介质的方法和设备。构形基板涂覆有磁致激活材料，通过用来自激光、e束或者聚焦离子束的能量处理部分的磁致激活材料，在所述材料中形成磁性图案。通过使束穿过分割器，可将所述束分割成细束包，所述分割器对于激光能量可以是衍...

本发明提供一种在处理系统中用于处理排出液的方法及设备。在一些实施例中，一种用于处理排出液的系统包括：处理腔室，其具有处理空间；排放导管，其连接至该处理腔室以从该处理空间移除排出液：及反应物种产生器，其连接至该排放导管以将反应物种注入该排...

本发明描述了用于光电转换模块的前驱体及其制造方法。该方法包括在透明的衬底上沉积TCO层、沉积第一导电类型层，其中沉积第一导电类型层的步骤包括通过化学气相沉积工艺提供含SiOX的第一防反射层。该方法还包括沉积第一本征型层以及沉积具有与第一...

一种用于金属颗粒去除的模块和工艺。本发明的实施方式提供了一种处理太阳能电池器件的装置和方法。在一个实施方式中，所述方法通过清洗模块从太阳能电池器件的边缘区域去除颗粒，所述太阳能电池器件的背面上被施加有恒定负载，其中清洗模块具有二或更多个...