本文提供用于回收氟化氢(HF)的方法和设备。在一些实施例中，设备包括用于处理衬底的系统，该系统包括用于处理衬底的处理腔室；氟产生器，其耦接至处理腔室以提供氟(F2)至处理腔室；减量系统，其耦接至处理腔室，以将从处理腔室排放的含氟流出物减...

本发明的实施例涵盖一种太阳能电池模块的形成，该太阳能电池模块包括互连太阳能电池阵列，这些太阳能电池使用用以形成新型太阳能电池互连结构的自动处理序列而形成。在一个实施例中，本文中所描述的模块结构包括图案化粘着层，该图案化粘着层布置于背板上...

本文提供阻抗匹配网络的实施例。在一些实施例中，阻抗匹配网络可包括同轴共振器，该同轴共振器具有内导体与外导体。可提供调节电容器，其用以可改变地控制该同轴共振器的共振频率。该调节电容器可由第一调节电极、第二调节电极与中置电介质来形成，其中该...

本发明涉及靶材衬管，其用于可转动筒状靶材组件(120)，并包括：管道(122a)，至少一个靶材元件(126a)围绕管道布置，其中，管道具有适于面对至少一个靶材元件的外表面，其中，管道的外表面的一部分具有0.7至1的平均发射率，其中，所述...

本发明的实施例一般地提供在衬底处理系统(例如，用于太阳能电池组件的丝网印刷系统)中处置损坏衬底的设备和方法。损坏衬底处置设备包括在中心安装在旋转致动器组件上的容器。多个衬底支撑件围绕旋转致动器组件的周边布置。损坏衬底从衬底支撑件传送到容...

本发明的实施例提供一种在处理系统中用于处理基材的设备及方法，其具有增加的系统输出量、改善的系统工作时间以及改善的装置产量表现，同时维持可重复且准确的基材处理。该系统可包括多重处理套组(nest)，其通过使用平面马达通过系统控制器所控制的...

一种沉积含硼衬里层于基材上的方法，涉及双层的形成，该双层包括起始层，该起始层包括阻障物材料以抑制硼从该双层到下方基材内的扩散。

本文揭露的实施例大致关于具有阳极处理的气体分配喷头的设备。在大面积平行板的RF处理腔室中，控制RF返回路径将具有挑战性。RF处理腔室中经常碰到电弧的产生。为了减少RF处理腔室中的电弧产生，可耦接多个带至基座以缩短RF返回路径；可在处理过...

本发明的实施例针对衬底蚀刻方法和设备。在一实施例中，提供了一种用于在等离子体蚀刻反应器中蚀刻衬底的方法，其包括以下步骤：a)在蚀刻反应器中将聚合物沉积在衬底上；b)在蚀刻反应器中使用包括含氟气体和氧的气体混合物蚀刻衬底；c)在蚀刻反应器...

本发明描述一种用于含磨料线(abrasive?laden?wire)的方法和设备。在一个实施例中，描述一种磨料涂覆线(abrasive?coated?wire)。磨料涂覆线包括：芯线，该芯线具有耦接至芯线的外表面的对称图案的磨料颗粒；和...

本发明提供一种蒸发系统和方法。蒸发系统适合于将薄膜沉积到衬底上。沉积系统包括适合于承载衬底的衬底托架和至少一个倾斜的蒸发坩埚。至少一个倾斜的蒸发坩埚适合于将蒸发的沉积材料沿着主散发方向朝着衬底指向。倾斜的蒸发坩埚的主散发方向与垂直于衬底...

本发明提供一种用于在处理腔中分配气体的气体分配板的实施例。在一实施例中，一气体分配板包括一扩散板，该扩散板具有多个在该扩散板一上游侧与一下游侧之间通过的气体通道。这些气体通道中的至少一个包括由一节流孔连接的一第一孔和一第二孔。该第一孔从...

提供利用形成三维结构的薄膜沉积处理来制造锂-离子电池的系统与方法。在一个实施例中，提供用来形成能量储存装置的阳极结构。所述阳极结构包括导电基板、形成于基板上的多个导电微结构、形成于导电微结构上的钝化膜、及形成于导电微结构上的绝缘分隔层，...

本发明的实施例涉及制造诸如发光二极管(LEDs)或激光二极管(LDs)的器件的基材预处理设备与方法。本发明的一个实施例包括通过将含氧化铝基材的表面暴露于预处理气体混合物来预处理含氧化铝基材，其中预处理气体混合物包括氨(NH3)与卤素气体。

本发明描述了用于在真空腔室内将沉积气转变成等离子体相并且用于通过该等离子体相在沿基底输送方向移动的基底上沉积薄膜的等离子体沉积源，该等离子体沉积源包括多区域电极设备和RF功率生成器，该多区域电极设备适于配置在该真空腔室中并且包括被配置为...

在研磨垫中形成固态透光聚合物窗口，且对所述窗口的至少一个表面进行处理以增加所述至少一个表面的平滑度。

本发明提供了形成薄膜太阳能电池的方法。在一个方面中，通过以下步骤形成薄膜太阳能电池：提供背接触，所述背接触包括反射材料和界面金属；将包括助焊膏和金属颗粒的焊料膏涂覆到所述界面金属；和焊接至少一个总线至背接触层。

本发明的实施例涉及一种基材蚀刻系统与制程的方法及设备。在一个实施例中，方法可以包括：在沉积制程期间沉积材料于该基材上；在第一蚀刻制程期间蚀刻该基材的第一层；以及在第二蚀刻制程期间蚀刻该基材的第二层，其中在该第一蚀刻制程期间施加第一偏压功...

本发明涉及薄膜太阳能电池制作工艺、薄膜太阳能电池前体层堆叠的制造方法和太阳能电池前体层堆叠，描述了一种制造适用于薄膜太阳能电池的层堆叠的方法以及用于太阳能电池的前体。该方法包括以下步骤：在透明衬底上沉积TCO层，沉积配置来用于太阳能电池...

本发明的实施例大体上提出用来进行物理气相沉积(PVD)工艺的处理腔室和沉积多组分薄膜的方法。处理腔室可包括：改良式RF进料构造，以减少任何驻波效应；改良式磁控管设计，用以加强RF等离子体均匀性、沉积膜组分和厚度均匀性；改良式基板偏压构造...