公开了用于检测玻璃基板上的残留物的设备和方法以及使用的方法。所述设备包括：基板支架、传感器、控制器以及与所述控制器通讯的外围设备。所述设备测量基板的主表面和除边表面的高度或厚度，以确定在所述除边表面上是否存在膜残留物。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术实施例大体上涉及制造薄膜光生伏打装置，更具体地，涉及在光生伏打装置的除边区域中检测因薄膜的不充分去除所导致的残留物的深度。
技术介绍
在薄膜光生伏打装置的制造中，在沉积了所有的薄膜之后，需要去除玻璃面板的边缘处的膜沉积物。这通常被称为除边。进行除边，主要目的是使光生伏打模块与金属框架电绝缘，并且帮助密封该模块以防止湿气。除了其它技术，除边方法从喷砂到研磨和激光削蚀变化很大。无论采用何种去除方法，重要的是确保在除边区域中没有薄膜残留物。因此，本领域需要用于检测除边区域中的沉积残留物的系统和方法。
技术实现思路
本专利技术的一个或更多个实施例涉及用于检测玻璃基板表面的一部分上的残留物的设备。所述设备包括平台，所述平台用来支撑具有接地边缘部分的基板。具有至少一个传感器头的激光传感器，所述激光传感器设置为使得传感器和所述基板可彼此相对移动， 从而使所述传感器在基板表面上来回移动，所述基板表面包括主表面和所述基板表面的接地边缘部分。所述设备包括控制器，所述控制器与所述传感器头通讯以从所述传感器头接收数据，可操作所述控制器以对从所述传感器头获得的数据进行译码，以确定在边缘表面上是否存在残留物。本专利技术的一个或更多个实施例涉及检测玻璃基板上的残留物的方法，所述玻璃基板包括主表面以及边缘表面，所述主表面具有高度并且所述主表面上具有镀层，所述边缘表面具有不大于所述主表面的高度的高度。激光传感器设置为与所述主表面相距一定的距离，并且通过整个主表面上的多次测量来获得始于所述激光传感器的平均主表面距离。测量始于所述激光传感器的最小边缘距离或平均边缘距离。通过将始于所述激光传感器的最小边缘距离或平均边缘距离与始于所述激光传感器的平均主表面距离相比较，来确定在所述边缘表面上是否存在残留物。本专利技术的一个或更多个实施例涉及检测玻璃基板上的残留物的方法，所述玻璃基板包括主表面以及边缘表面，所述主表面上具有镀层，所述镀层限定主表面厚度，所述边缘表面具有不大于所述主表面的厚度的厚度。通过用与所述主表面间隔的激光传感器获得的多个测量值来确定所述主表面的平均厚度。通过用所述激光传感器获得的多个测量值确定所述边缘表面的最大厚度或平均厚度。通过将最大边缘厚度或平均边缘厚度与平均主表面厚度相比较，来确定在所述边缘表面上是否存在残留物。前述内容相当宽泛地概括了本专利技术的特定特征和技术优势。本领域技术人员应该理解的是，公开的特定实施例可被用作在本专利技术范围内修改或设计其它结构或工艺的基础。本领域技术人员也应该意识到，这样的等效结构不偏离如附加权利要求书所阐述的本专利技术的精神和范围。 附图说明可以更详细地方式理解上面列举的本专利技术的特征，本专利技术更加具体的描述在上面作了简要概括，可通过参考实施例获得所述本专利技术更加具体的描述，其中一些在所附的附图中图示。然而，应注意，所附的附图只图示本专利技术的典型实施例，因此不应被看作是对本专利技术范围的限制，因为本专利技术可容许其它等效的实施例。图IA至图IE图示沿除边区域的因薄膜的去除产生的几个轮廓；图2图示根据本专利技术一个或更多个实施例的残留物检测系统；图3图示根据本专利技术一个或更多个实施例的用于残留物检测系统的工作台。图4图示根据本专利技术一个或更多个实施例的残留物检测的操作；图5图示根据本专利技术一个或更多个实施例的残留物检测的操作；图6A和6B图示可用本专利技术的一个或更多个实施例测量的基板边缘轮廓；图7是示出使用本专利技术的特定实施例的设备的没有残留物的除边区域的视图；以及图8是示出使用本专利技术的特定实施例的设备的带有残留物的除边区域的视图。 具体实施例方式本专利技术实施例提供用于检测光生伏打模块的除边区域中的残留物的方法和设备。 利用最小和平均接地高度以推断在除边区域中的残留物的存在，从而可使用间接测量来确定接地边缘的不均勻轮廓。当接地高度小于目标值时，材料未被充分去除，因此可能存在残留物。当接地高度满足目标值时，玻璃已被充分去除，因此不再存在沉积残留物。在对光生伏打模块的边缘进行研磨之后，接地表面可能不平整并且可具有多种轮廓。这些轮廓的一些实例可在图IA至图IE中看到。图IA图示具有薄膜镀层13和平整的接地玻璃除边区域15的基板12。这是理想的横截面轮廓，但是由于研磨技术或去除方法的不完美和不规则，理想的轮廓不太可能出现。图IB图示具有朝着基板的外边缘下降的阶梯形除边区域15的基板12。所示出的图案仅用于说明，也可具有多种高度的多级阶梯。图 IC图示具有向内倾斜的接地玻璃除边区域15的基板12。图示的坡度的高度朝着基板12 的边缘升高，但是如图ID所示，斜坡可朝着任何一个方向或者具有带有不同斜度的多个部分。图IA至图ID示出的各种边缘轮廓显示了薄膜镀层13上没有残留物。因此，虽然不一定是理想的，但是每一种轮廓提供光生伏打模块的充分的电绝缘。然而，图IE图示了具有薄膜13和带有残留物的除边区域的基板12。轮廓显示没有残留物的接地玻璃部分15和在完整的光生伏打模块中不想要的残留物镀层部分17。 也可被称为除边面积的除边区域15通常小于20mm宽。在本专利技术的一些方面中，除边区域 15的宽度在约IOmm和约14mm之间。在进一步详细的方面中，除边区域15的宽度小于约 20mm、19mm、18mm、17mm、16mm、15mm或14mm。在另外的详细方面中，除边区域15的宽度大于约5mm、6mm、7mm、8mm、9mm或10mm。最小和最大的区域宽度的组合可在本专利技术的进一步方面中看到。在图2和图3中图示了用于检测玻璃基板12上的残留物的设备10的实施例。设备10包括平台14和传感器，所述平台14用于支撑基板12，所述基板12具有表面11，所述表面11包括接地边缘部分13(如图IA至图IE所示)，所述传感器在特定实施例中是激光传感器16。取决于用户的偏好、空间需求等，平台14可以是水平的、垂直的或倾斜的。在图示的实施例中，激光传感器16具有至少一个传感器头18。传感器头18和基板12可彼此相对移动，使得传感器头18可在包括接地边缘部分13的基板的表面11上来回移动，以对在边缘部分13上的残留物进行扫描。控制器20通过连接器22与传感器头18通讯。控制器20能够对通过传感器头18而从激光传感器16获得的数据进行译码，并且控制器20可对所述数据执行计算以确定在基板12的边缘部分上是否存在残留物。外围装置M通过连接器沈与控制器20通讯。控制器20能够向用户显示信息和控制。如图3所示，根据特定实施例，水平平台14包括具有一对平行的侧边元件30的工作台。多个横向元件32连接至所述侧边元件30。每一个横向元件32具有用于支撑基板 12的多个支架34。支架34可以是任何合适的支撑装置，包括但不限于滚柱轴承和橡胶环。 支架34使得基板12在激光传感器16的下方水平地移动观。可用锁定框架36来防止工作台在使用中移动。在其它实施例中，平台14可在垂直或倾斜的方向上保持基板12。在这些实施例中，安装激光传感器16以向基板投射光，且基板12在平台的平面内移动。一些实施例的设备10包括用于保持基板12的大体上平坦的表面19(图5中所示)。大体上平坦的表面可位于支架34上，并且可在测量期间支撑基板12并且起参照点的作用。参照图4和图5，传感器头18具有激光源38和探测器40。激本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：肯尼思·建昆·蔡，阿萨夫·施勒岑杰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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