用于传送基板的静电末端执行器设备、系统和方法技术方案

提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明专利技术的方法以及许多其它方面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子装置的制造，更具体地，涉及。
技术介绍
在电子装置、产品和内存制品的制造中，这类装置的前体(precursor)制品(例如，基板)可通过机器人设备在制造设施的不同系统部件间传送。例如，传送可在群集工具内部从处理腔室至另一处理腔室、在群集工具内部从装载端至处理腔室或在工厂接口中从基板载体至装载端等。在这类机器人传送期间，需要具有效率与精确性的基板移动与放置。因此，寻求在电子装置的制造中用于传送基板的高效率的系统、设备和方法。
技术实现思路
在一方面，提供用于在电子装置制造系统部件间传送基板的基板传送系统。该基板传送系统包括机器人部件和耦合至该机器人部件的末端执行器，该末端执行器包括基底、位于该基底上的电极对和适用于在该基板与该电极对之间形成间隙的间隔物构件，藉此静电荷适用于在系统部件间的传送期间不时将该基板固定至该末端执行器。根据另一方面，提供用于在电子装置制造系统中的系统部件间传送基板的静电末端执行器设备。该静电末端执行器包括基底，该基底适用于连接至机器人部件；放置在该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件放置在该基底上，并且适用于在该基板与该电极对之间提供间隙。在另一方面，提供用于在电子装置制造系统中的系统部件间传送基板的静电末端执行器设备。该静电末端执行器包括适用于连接至机器人部件的不导电氧化铝基底；放置在该基底上的导电电极对；间隔物构件，该间隔物构件实质上由三个放置在该基底上的圆顶的导电接触垫组成，并适用于以间隙隔开该基板与该电极对，其中至少一个该间隔物构件导电；以及复数个触压垫，这些触压垫放置在该基底与该电极对的至少一个之上。在又一方面，提供一在电子装置制造系统的部件间传送基板的方法。该方法包含 在一末端执行器的间隔物构件上安装一基板；通过施加一电压至放置在该末端执行器上的一电极对来产生静电荷，以使该基板吸附至该间隔物构件，藉此在该基板与该电极对之间形成一间隙；以及在该制造系统的系统部件间传送该基板，同时在该传送期间不时维持该静电荷。根据本专利技术的这些及其它方面提供许多其它的方面。根据以下的详细描述、所附权利要求和附图，本专利技术的其它特征和方面将变得更加显而易见。附图简述附图说明图1为根据本专利技术实施例的包括在电子装置制造系统内部的基板传送系统的示意图。图2为本专利技术的静电末端执行器设备的一实施例的俯视图。图3为图2所示的静电末端执行器的实施例的主视图。图4为根据本专利技术的静电末端执行器设备的另一实施例的立体图。图5A和5B分别为根据本专利技术的静电末端执行器设备的另一实施例的立体仰视和俯视图。图6为说明根据本专利技术的实施例的一方法的流程图。图7至9为本专利技术的静电末端执行器设备的其它实施例的俯视图。图10至11分别为本专利技术的静电末端执行器设备的另一实施例的俯视和横截面侧视图。具体实施例方式电子装置制造过程使用多种前体制品来制造最终装置，诸如半导体晶片、玻璃板 (所有这类前体制品在此处称作“基板”)。在基板从制造过程和系统内的一位置传送至另一位置期间，基板可由一末端执行器(有时候称作“托板(blade)”)运送。基板在传送期间搁放在末端执行器上，并且需要减低或消除托板与基板间的滑动。减少或消除这类在末端执行器和基板之间的相对滑动运动可以减少定位误差、在滑动实际发生时减少重新定位时间，并且可以进一步减少可污染系统部件和基板的粒子产生。此外，如果提供一适当的夹钳力以将基板夹钳至末端执行器，则可增加末端执行器和受固定的基板的加速度。这可以转化为增加的处理产量，因为基板可接着在不同的系统部件间更迅速地移动，潜在地导致降低电子装置的制造成本。另外，夹钳机构能够被轻易地操作与卸下也是重要的。根据本专利技术的第一方面，提供一基板传送系统。该基板传送系统可包括诸如机器人手腕、机器人臂和/或一系列机器人部件的机器人构件和耦合至该机器人构件的静电末端执行器。该静电末端执行器可产生适当高的夹钳力(有时候被称作“夹取力”)，以致在运动期间该末端执行器和基板之间的滑动可被减少或消除。在某些例子中，可获得大于0. 2g 的夹钳力。该静电末端执行器可包括一基底，在该基底上具有一电极对和间隔物构件。该基底可不导电(例如，氧化铝)，而该电极对通常是平坦且导电的。该间隔物构件在该电极与该基板之间提供间隙。在某些实施例中，该间隔物构件可由圆顶的接触垫组成。在某些实施例中，该间隔物构件可导电并可安装在该基底之上。在该电极对之间提供一相对电压以形成静电荷，所述静电荷吸附该基板，并提供一夹钳力使该基板固定至该静电末端执行器的该间隔物构件。此外，在某些实施例中，该静电末端执行器可进一步包括至少一个“触压垫”。由于该基板在静电荷的影响下偏斜，该一个或多个触压垫限制该基板的运动，从而减少或消除与该电极的接触，并且最小化该基板的挠曲或弯曲。参照图1至11，在下文描述该系统、设备与方法的这些和其它实施例，其中在全部附图中相同的附图标记用来指代相同的元件。图1为本专利技术的示例基板传送系统100的示意图。系统100可包括机器人102和耦合至机器人102的一机器人部件的静电末端执行器104。机器人102可为任何形式的机器人，诸如四杆机器人或选择顺应性装配机器手臂(SCARA)机器人。可使用其它类型的机器人。机器人例如可包括适用于安装至一系统部件的框架或支撑件(未示出)的支撑基底 106。例如，支撑基底106可安装至一群集工具的框架或一工厂接口的框架，并由所述群集工具的框架或所述工厂接口的框架所支撑。在某些实施例中，机器人102可包括垂直活塞 108，该垂直活塞可相对支撑基底106沿Z轴(进出纸面)移动。垂直活塞108的移动导致静电末端执行器104沿Z轴移动，以便完成将基板放置在一基板支撑上(例如，通过将基板放置在一处理腔室中的销上或在一基板载体的槽上)。机器人102可包括任何数目的机器人臂诸如，机器人臂110、112和机器人手腕114，该机器人臂通过皮带或链条连接以致第一臂110沿箭头116的方向的旋转导致第二臂112沿箭头118所示的反方向的相对旋转以及机器人手腕114沿箭头120所示的方向的相对旋转。这些旋转转变为静电末端执行器104 沿Y轴122的纯平移。这类运动可允许基板124(以虚线示出)从一系统部件装载或卸载。例如，由机器人102和所耦合的静电末端执行器104组成的基板传送系统100可适用于导致基板IM从停驻在一装载端的基板载体1 传送至一工厂接口中的一工具(例如，群集工具)的负载锁定128。可选择地，基板传送系统100可用在一工具的移送室中，并可在负载锁定1 和一处理腔室(未示出)之间或在处理腔室之间移送基板。使用静电末端执行器可在允许基板1 的相对快的传送和移动，并且静电末端执行器104和基板IM之间没有滑动。控制器1 可提供适当的控制信号给机器人102和静电末端执行器104，以控制机器人102和附连的静电末端执行器104的运动，并进一步通过控制供应给静电末端执行器104的一电压电平来控制静电末端执行器104产生的静电荷。静电末端执行器的示例实施例的进一步细节在下文参照图2至11提供。图2和3分别为根据本专利技术的一实施例的示例静电末端执行器104的示意俯视和主视图。静电末端执行器104可包括基底230，所述基底包括适用于附连至一机本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于在电子装置制造系统部件间传送基板的基板传送系统，包括：机器人部件；以及耦合至所述机器人部件的静电末端执行器，所述末端执行器包括基底、位于所述基底上的电极对和适用于在所述基板与所述电极对之间形成间隙的间隔物构件，藉此静电荷适用于在所述系统部件间的传送期间不时将所述基板固定至所述末端执行器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·桑德，J·C·赫金斯，P·R·琴恩塔拉帕蒂，W·N·泰勒，W·P·莱赛基，J·A·布洛迪尼，D·C·鲁泽克，M·D·塞法缇，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：US