本发明公开一种具有被动轮的传输设备及其自动光学检测设备，具有被动轮的传输设备包括一输送装置、一被动轮装置、以及一编码器装置。输送装置用于传输一工件，其中输送装置具有一间隔空间，适于一图像撷取装置拍摄经过间隔空间处的工件的图像。被动轮装置...

本发明提供了一种入光量调整光学系统及包含其的光学检测系统，入光量调整光学系统包括一物镜、一光源装置、一光源镜组以及一控制装置，使通过该光源镜组的光束的直径与该物镜孔径趋于一致，藉以提升光源使用效率。藉以提升光源使用效率。藉以提升光源使用...

一种基于激光光源的光学检测系统，其包括至少一激光光源装置、至少一感测装置以及图像检测装置。经由照明光路，激光光源装置提供激光至目标物上，使目标物产生荧光。经由成像光路，感测装置接收自目标物产生的荧光，以产生荧光图像。图像检测装置连接至感...

本实用新型提供了一种用于自动光学检测的载台压框装置及包含其的自动光学检测系统，载台压框装置包括一框架定位机构以及一转接框，框架定位机构设置于一载台上，框架定位机构包括至少一枢转机构；转接框配置为与一待测物的尺寸相符，并用于压制待测物；转...

本发明提供一种整合型光源装置及其光学检测系统，整合型光源装置包括一第一光源、一导光组件、一第二光源以及一分光组件。第一光源通过一第一照明光路，提供一第一光束。导光组件具有一引导部及一反射部。引导部通过第一照明光路引导第一光束。第二光源通...

一种移载机构、投收料设备及处理设备，移载机构适于移载料片。移载机构包括循环式传动总成及两个第一取放总成。两个第一取放总成设置于循环式传动总成且彼此相间隔。其中一个第一取放总成由取料位置拾取料片，并移动至放料位置时，另一个第一取放总成由放...

本发明提供一种真空吸附滚轮及包含真空吸附滚轮的光学检测装置，真空吸附滚轮包括定向轴心以及外轮体。定向轴心具有中空腔室以及至少一定向通孔。中空腔室设置于定向轴心的内周侧。外轮体套设于定向轴心的外周侧并具有多个吸孔。吸孔分布于外轮体的表面上...

一种整平装置，适于整平基板。整平装置包括载台、压制件及弹性密封环。载台用以承载并吸附基板。压制件设置于载台上方，用以向下压制基板，以使基板的外周缘靠近载台。弹性密封环设置于载台并能被载台吸附，当压制件压制基板且弹性密封环被载台吸附时，弹...

本发明提出一种用于蚀刻工艺的补偿方法、补偿系统及深度学习系统，该补偿方法包括：拍摄经一蚀刻工艺的一工件，以获得一蚀刻影像；根据该蚀刻影像量测该工件，以获得该工件的一线路量测信息；根据该线路量测信息，计算一蚀刻补偿信息；依据该蚀刻补偿信息...

本发明提供一种荧光线路量测系统及方法，该系统包括量测平台、光源装置、第一影像捕获设备以及图像处理装置。该光源装置设置于该量测平台的相对侧，提供一激发光至该待测基板上，使该待测基板产生一荧光照射于该金属线路的侧壁区域上，以此在该金属线路的...

本发明公开了一种基板承载结构以及基板检测装置。基板承载结构用以承载基板，基板承载结构包括载台以及弹性支撑部件。载台具有承载面，其中容置槽形成于承载面上并围绕载台的中心。弹性支撑部件设置于容置槽内，且弹性支撑部件突出于承载面。基板接触弹性...

一种用于荧光检测的光学系统。光学系统包括第一光源以及第一滤光器。第一滤光器对应地设置于第一光源的光路上，且过滤第一光源的光束，以提供激发光束照射至样品，使样品产生荧光。第一滤光器的表面与第一光源的光束的出射方向呈非正交关系。一种荧光检测...

本发明提供一种荧光光学系统以及荧光图像检测系统，荧光光学系统包括一平台、至少一光源装置以及至少一第一滤波片。平台用以设置一待测样本。至少一光源装置用以照射待测样本，使待测样本产生一荧光。至少一第一滤波片对应设置于至少一光源装置的光路上，...

本发明提供一种图像对位方法、系统、记录媒体、以及计算机程序产品，图像对位方法包括：提供一待测物图像与一标准图像；依据预先设定的分割规则，于待测物图像上分割至少一指定区域；依据至少一指定区域的坐标位置，于标准图像映像坐标位置设定一搜寻范围...

本发明提供一种以载盘为基础的半导体检测设备以及半导体分类检测系统，用以检测一芯片载盘上的多个芯片，包括一真空吸附装置、一影像撷取设备、以及一影像分析装置。该真空吸附装置位于该芯片载盘上方，吸附该芯片载盘上的多个芯片，并移动该多个芯片至一...

本发明提供一种图像校正方法、系统、内储程序的计算机可读记录媒体以及程序产品，图像校正方法包括：预先取得并记录一模板上的一图案阵列的多个图案真实坐标；通过一摄像机拍摄图案阵列并记录图案阵列的多个图案像素坐标；通过摄像机拍摄一待测物以获得一...

本发明提供一种自动图像检测方法、设备、内储程序的计算机可读取记录媒体以及计算机程序产品，所述自动图像检测方法包括：取得对应于待测物的多个标准图像；将所获得的标准图像中的灰阶度进行平均值运算，取得一灰阶平均图像；将所获得的标准图像中的灰阶...

本发明提供一种气浮式输送平台及气浮式检测系统，所述气浮式检测系统包含气浮式输送平台、第一图像获取模块及第二图像获取模块。气浮式输送平台适于气浮输送工件至气浮式输送平台上的检测位置，其中第一开槽设置于气浮式输送平台上，并对应于检测位置。第...

本发明提供一种用以检测待测物的荧光图像的荧光图像检测系统。荧光图像检测系统包括激发光源、面扫描图像获取装置、滤光模块以及控制器。激发光源产生激发光至待测物上的至少一个照射区域上，使待测物产生荧光。面扫描图像获取装置接收自待测物上的荧光，...

本发明提供一种整合型光学检测设备，包含光源装置、摄影机装置、光源滤镜模块、摄影机滤镜模块以及影像检测装置。该光源装置经由照明光路提供照明光至待测物上。该摄影机装置可选择性地于多个摄影机切换任一个该摄影机于成像光路上以产生待测物影像。该光...