信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 本发明提供一种疏水剂组合物,其含有下述(a)与(b)的缩合反应产物作为(A)成分:(a)下述通式(1)表示的有机聚硅氧烷,其在分子链的两末端具有羟基或烷氧基;(b)三烷基硅烷氧基硅酸酯,其含有R
  • 包含可由低价的原料合成并且保存稳定性优异的由下式(1)表示的含有氮原子的聚硅氧烷和/或该含有氮原子的聚硅氧烷与环氧化合物的反应生成物的纤维处理剂能够对于纤维赋予良好的柔软性、和耐久性优异的吸水性。(R
  • 本发明提供一种硅酮及其制造方法,所述硅酮在两末端具有聚合性基且具有含三个或四个羟基的亲水性侧链,所述硅酮无着色且为透明,与其他单体、尤其是亲水性单体的相容性优异。本发明人等人发现式(1)所表示的有机聚硅氧烷无着色,与其他亲水性单体的相容...
  • 本发明提供一种相移掩模坯料和相移掩模。该相移掩模坯料包括衬底和其上的相移膜,该相移膜由含有硅和氮且不含过渡金属的材料组成,该相移膜包括至少一个组成渐变层,该组成渐变层具有在厚度方向上连续变化的组成,以及在厚度方向上变化的对于曝光光的折射...
  • 本发明提供一种相移掩模坯料、其制造方法以及相移掩模。该相移掩模坯料包括衬底和其上的相移膜,该相移膜由含有硅和氮且不含过渡金属的材料组成,曝光光为KrF准分子激光,该相移膜由单层或多层构成,单层或多层的每一层具有对于曝光光2.5以上的折射...
  • 本发明提供能够根据颜色的变化来视认固化程度的室温固化性有机聚硅氧烷组合物、其结构体和固化状态的判别方法。从未固化状态随着固化的进行而变色的、含有下述成分的室温固化性有机聚硅氧烷组合物。(A)由下述式(1)和/或(2)表示的有机聚硅氧烷:...
  • 提供由下述通式(1)表示的可形成亲油性、耐磨损性优异的固化被膜的含有亲油性基团的(水解性)有机硅氧烷化合物和含有该化合物的表面处理剂。(式中,A为‑CH
  • 提供一种在防尘薄膜组件框架的角部没有疑似异物,从而提高异物检查的精度,由此减少防尘薄膜组件制品的不合格率。使防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的角部从截面来看为大略曲线状,特别是,防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所...
  • 提供一种在防尘薄膜组件框架的角部没有疑似异物,从而提高异物检查的精度,由此减少防尘薄膜组件制品的不合格率。使防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所成的角部从截面来看为大略曲线状,特别是,防尘薄膜组件框架的内侧面和上端面以及下端面所...
  • 提供一种在EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂和使用其的防尘薄膜组件,该防尘薄膜组件的制造方法,以及EUV光刻用防尘薄膜组件中适宜的接着剂的选择方法。本发明的接着剂为,接着剂的硬化物在300℃的氛围气中进行7日连续静置时的用下述式表示...
  • 本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物,其能够适宜地用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜成膜性良好,并且由于低体积电阻率(Ω·cm)的性质而在电子束光刻工序中也显示优良的抗静电性能,且将因该膜而扩散的酸的影响降至最低从而减少对平版印...
  • 本发明涉及正型光阻抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供PED稳定性优异、DOF特性优异、LWR良好、可形成拖尾受到抑制的形状的图案的正型抗蚀剂组成物、及使用该正型抗蚀剂组成物的图案形成方法。一种正型抗蚀剂组成物,含有:(A)下...
  • 本发明的目的在于提供一种耐热性及耐气体透过性优异的硬化性有机硅树脂组合物以及由所述组合物密封的光半导体装置。一种硬化性有机硅树脂组合物,包含:(A)有机聚硅氧烷,在一分子中具有至少两个硅原子键结烯基;(B)有机氢聚硅氧烷,在一分子中具有...
  • 提供一种二元型室温缩合固化性有机聚硅氧烷组合物,其赋予具有高光透射率、低硬度以及屈曲性的固化物,且具有快速固化性和深处固化性。所述二元型室温缩合固化性有机聚硅氧烷组合物由第一组分和第二组分所组成,其中,所述第一组分含有(A)成分:分子链...
  • 本发明涉及环氧化合物、抗蚀剂组合物、及图案形成方法。本发明的课题为提供无损感度而能适当地控制产生自产酸剂的酸的扩散长度的抗蚀剂组合物、及使用了该抗蚀剂组合物的图案。该课题的解决方法为以下式(1)表示的环氧化合物、及含有该环氧化合物的抗蚀...
  • 将包含下述成分的无溶剂型固化性有机硅剥离剂组合物涂布于片状基材并加热固化的情况下,得到固化性和与基材的密合性优异、并且不仅低速而且高速下的剥离力非常低的剥离片。(A)乙烯基值0.016~0.05mol/100g、运动粘度80~450mm
  • 本发明是将大径的玻璃母材延伸而制造更细径的玻璃杆的方法,且是在将玻璃母材直体部的一端具有透明玻璃锥部、另一端具有包含不透明玻璃部的锥部的玻璃母材延伸时,在该延伸之前,将包含不透明玻璃部的锥部的一部分切断,以该切断面为下端,将连接于延伸装...
  • 含有(A)乙烯基值为0.016~0.7mol/100g、25℃的运动粘度为80~500mm
  • 具有以50:50~90:10的质量比包含(A)选自由下式(1)表示的有机硅烷或硅氧烷化合物、及其部分(水解)缩合物中的1种以上和(B)选自由下式(2)表示的硅烷或硅氧烷化合物、及其部分(水解)缩合物中的1种以上的涂布剂组合物的表面处理剂...
  • 提供导热性薄膜状固化物,其为可处理的有机硅组合物的固化物,向构件的转印性、剥离后的处理性良好,即使在高温下也显示与发热性元件良好的粘接强度。使有机硅组合物固化而成的导热性薄膜状固化物,该有机硅组合物含有:(a)在1分子具有2个以上的烯基...