无锡上机数控股份有限公司专利技术

无锡上机数控股份有限公司共有167项专利

  • 本实用新型公开了一种砂轮主轴机构,属于砂轮主轴领域,包括基座,基座的一侧固定安装有两个支撑臂,两个支撑臂相互平行,两个支撑臂的上端之间固定安装有主轴套,主轴套远离支撑臂的一端固定安装有法兰板,法兰板内部的中间固定安装有电机,电机的两端均...
  • 本实用新型公开了一种晶片收纳机构,属于机械加工领域,一种晶片收纳机构,包括多向调节支架,多向调节支架上固定连接有吸盘支架,吸盘支架的上侧固定连接有第一负压吸附件,第一负压吸附件上设置有第二接头,第一负压吸附件的下侧固定连接有第二负压吸附...
  • 本实用新型公开了一种电主轴分部装配装置,属于电主轴装配领域,包括空气主轴安装座,空气主轴安装座的下端铰接有支撑机构,空气主轴安装座的上端固定安装有涨紧套座,涨紧套座远离空气主轴安装座的一端插接有涨紧套压盖,涨紧套压盖的上端插接有涨紧套,...
  • 本实用新型公开了一种晶片研削手臂机构,属于机械加工领域,一种晶片研削手臂机构,包括机架,机架的内部装配有滑座Y轴移动气缸,滑座Y轴移动气缸上装配有拖链,滑座Y轴移动气缸的输出端通过浮动连接组件装配有滑动座,滑动座上装配有摇摆气缸,摇摆气...
  • 本实用新型公开了一种晶片测量机构装置,属于测量装置领域,一种晶片测量机构装置,包括工作台,工作台上设置有厚度测量组件和晶片定位组件,工作台的上方固定设置有直线导轨,直线导轨上滑动连接有导轨滑块,导轨滑块上设置有直径测量组件,工作台上设置...
  • 本实用新型公开了一种晶片取片机构,属于集成电路制造技术领域,包括垂直支架,所述垂直支架其中一侧固定安装有升降轨道,所述升降轨道上滑动连接有升降滑块,所述升降轨道和所述升降滑块之间设置有用于提供升降驱动力的升降机构,所述升降滑块远离所述垂...
  • 本发明公开了一种碳化硅微粉粒度水分含量检测方法,属于碳化硅领域,一种碳化硅微粉粒度水分含量检测方法,包括有以下步骤:S1、碳化硅微粉取样,在碳化硅微粉中均匀设置多个取样点进行取样,并将取出的样品进行混合重新分配,形成微粉基础样品,并对其...
  • 本发明公开了一种碳化硅打磨得疏水疏油加工装置,属于碳化硅加工领域,一种碳化硅打磨得疏水疏油加工装置,包括圆壳,所述圆壳顶面为开口设置,所述圆壳内腔靠近底面处活动连接有放置板,所述放置板顶面设置有粘合层,所述圆壳底面设置有驱动机构,所述圆...
  • 本发明公开了一种碳化硅磨抛成锭后便捷多级筛选方法,属于半导体材料加工领域,一种碳化硅磨抛成锭后便捷多级筛选方法,包括有以下步骤:S1、杂质筛分,通过水筛法对碳化硅锭和其余杂质进行筛分,筛选出干净的碳化硅锭;S2、碳化硅锭分级,利用磁力和...
  • 本发明公开了一种碳化硅晶体加工后冷却方法,属于碳化硅晶体加工领域,一种碳化硅晶体加工后冷却方法,包括有以下步骤:S1:真空静置、在真空环境下对碳化硅晶柱进行静置,直至其初步冷却成形后取出;S2:风力冷却、利用逐渐降低温度的风力对S1中取...
  • 本发明公开了一种碳化硅微粉用的金属粉末分离工艺,属于碳化硅加工技术领域,包括以下步骤:S1、废砂浆固液分离:采用泵送设备将废砂浆泵送至固液分离装置进行固液分离,获得砂浆沉淀物;S2、清洗:将步骤S1中获得的砂浆沉淀物通过去离子水进行反复...
  • 本发明公开了一种碳化硅晶片精细磨抛设备及磨抛工艺,属于碳化硅晶片加工领域,一种碳化硅晶片精细磨抛设备,包括磁力抛光机构和晶片运输机构,晶片运输机构包括有运输带组件和装配在运输带组件上的多个夹持机构,夹持机构包括有夹具座,夹具座通过连接支...
  • 本发明公开了一种制备碳化硅晶体用分隔式保温方法,属于炭黑检测领域,一种制备碳化硅晶体用分隔式保温方法,包括以下步骤:S1:将生长后的碳化硅晶体放置在坩埚内;S2:利用保温模块进行保温;S3:采用测温模块对碳化硅晶体温度实时监测;S4:通...
  • 本发明公开了一种用于碳化硅制备的原料定量输送装置,属于碳化硅加工技术领域,包括底支撑架,所述底支撑架上对称安装有传输支架,所述传输支架两端转动安装有传动辊,两个所述传动辊之间设置有传输皮带,所述传输支架之间设置有用于所述传输皮带形状限定...
  • 本发明公开了一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置及其使用方法,属于硅单晶设备技术领域,包括壳体以及设置在壳体正面的控制模块,所述壳体内部安装有清洗槽,所述清洗槽通过设置有活动支撑机构可拆卸安装有清洗支架,所述清洗支架内部等距设置有分隔板,所述...
  • 本发明公开了一种碳化硅废料回收用清洗装置及其使用方法,属于碳化硅回收领域,一种碳化硅废料回收用清洗装置,包括安装板,所述安装板对称设置有两个,两个所述安装板之间左右对称分别活动连接有两个转辊,所述转辊两端分别与两侧安装板活动连接,同侧两...
  • 本实用新型公开了一种硅片厚度测量装置,涉及硅片生产设备技术领域。本实用新型包括固定板,固定板顶部的一侧安装有用于对硅片进行运输的运输机构,固定板顶部的另一侧固定有支撑架,支撑架顶端的一侧固定有固定壳,固定壳的内部安装有用于对硅片进行厚度...
  • 本实用新型公开了一种硅片吹干风刀,涉及硅片生产技术领域。本实用新型包括风刀本体、分隔板和进风软管,进风软管固定于风刀本体的顶部,分隔板上安装有用于调节风刀本体吹风方向的调节机构,调节机构包括第一电机、主动齿轮、从动齿轮和连接块,分隔板的...
  • 本实用新型公开了一种碳化硅片切片辅助加工装置,涉及碳化硅片加工技术领域。本实用新型包括切片装置主体和操作器主体,操作器主体设置在切片装置主体的一侧,切片装置主体与操作器主体之间安装有调整机构,调整机构用于调整操作器主体的位置。本实用新型...
  • 本发明公开了一种单晶硅片表面粘附物的全面清洗装置及其使用方法,涉及单晶硅片技术领域。本发明包括清洗箱和硅片本体,清洗箱的顶部安装有用于清洗硅片本体的清洗机构,清洗箱的内部安装有用于清洁硅片本体表面的清洁机构,清洗箱的内部还安装有固定箱。...
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