一种硅片吹干风刀制造技术

技术编号:34465795 阅读:56 留言:0更新日期:2022-08-10 08:38
本实用新型专利技术公开了一种硅片吹干风刀,涉及硅片生产技术领域。本实用新型专利技术包括风刀本体、分隔板和进风软管,进风软管固定于风刀本体的顶部,分隔板上安装有用于调节风刀本体吹风方向的调节机构,调节机构包括第一电机、主动齿轮、从动齿轮和连接块,分隔板的一侧固定有第一电机,第一电机的输出端固定有主动齿轮,主动齿轮的斜上方啮合连接有从动齿轮。本实用新型专利技术通过主动齿轮、从动齿轮和第一电机之间的相互配合,使得装置能够前后不同角度的对硅片进行吹干,避免造成假干现象,且通过分风管道、固定杆和导风板之间的相互配合,使得装置能够对左右不同的方向同时进行吹风。左右不同的方向同时进行吹风。左右不同的方向同时进行吹风。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片吹干风刀


[0001]本技术属于硅片生产
,特别是涉及一种硅片吹干风刀。

技术介绍

[0002]硅片,又叫做“芯片”、集成电路块。一只硅片里面通常含有数十到数万个硅晶体管组成的电路,完成一个或者数个功能,硅片在生产过程中,需要有吹干步骤,现有的装置在对硅片进行吹干时,其风嘴面积太小,使用者在吹干时一次只能针对一个地方,不能够用大面积的一次性进行吹干,使吹干质量的下降,造成假干现象,影响后续工作。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片吹干风刀,以解决了现有的问题:现有的装置在对硅片进行吹干时,其风嘴面积太小,使用者在吹干时一次只能针对一个地方,不能够用大面积的一次性进行吹干,使吹干质量的下降,造成假干现象,影响后续工作。
[0004]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:一种硅片吹干风刀,包括风刀本体、分隔板和进风软管,进风软管固定于风刀本体的顶部,所述分隔板上安装有用于调节风刀本体吹风方向的调节机构。
[0005]进一步地,所述调节机构包括第一电机、主动齿轮、从动齿轮和连接块;
[0006]所述分隔板的一侧固定有第一电机,所述第一电机的输出端固定有主动齿轮,所述主动齿轮的斜上方啮合连接有从动齿轮,且所述从动齿轮与分隔板以及主动齿轮与分隔板均转动连接,所述从动齿轮的一侧固定有连接块,且所述连接块与风刀本体固定连接。
[0007]进一步地,所述分隔板的一侧且位于第一电机的上方固定有第二电机,所述第二电机的输出端固定有卡接L型体,用于限制所述从动齿轮的转动。
[0008]进一步地,所述风刀本体内部的上侧设置有进气管道,所述进气管道的下侧设置有多个分风管道,所述风刀本体底部的内侧固定有多个固定杆,所述固定杆的外侧转动连接有导风板。
[0009]进一步地,所述卡接L型体与分隔板通过轴承转动连接。
[0010]进一步地,所述导风板与固定杆为过渡配合。
[0011]本技术具有以下有益效果:
[0012]1、本技术通过主动齿轮、从动齿轮和第一电机之间的相互配合,使得装置能够前后不同角度的对硅片进行吹干,避免造成假干现象,进而提升了工作效率。
[0013]2、本技术通过分风管道、固定杆和导风板之间的相互配合,使得装置能够对左右不同的方向同时进行吹风,进而使得硅片风干的效果更好。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,
对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术的结构示意图;
[0016]图2为本技术风刀本体、从动齿轮和主动齿轮之间的结构示意图;
[0017]图3为本技术风刀本体的剖视图。
[0018]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0019]1、风刀本体;2、分隔板;3、进风软管;4、第一电机;5、主动齿轮; 6、从动齿轮;7、连接块;8、第二电机;9、卡接L型体;10、进气管道; 11、分风管道;12、固定杆;13、导风板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1

3所示,本技术为一种硅片吹干风刀,包括风刀本体1、分隔板2和进风软管3,进风软管3固定于风刀本体1的顶部,分隔板2上安装有用于调节风刀本体1吹风方向的调节机构。
[0022]调节机构包括第一电机4、主动齿轮5、从动齿轮6和连接块7;
[0023]分隔板2的一侧固定有第一电机4,第一电机4的输出端固定有主动齿轮5,主动齿轮5的斜上方啮合连接有从动齿轮6,且从动齿轮6与分隔板 2以及主动齿轮5与分隔板2均转动连接,从动齿轮6的一侧固定有连接块 7,且连接块7与风刀本体1固定连接。
[0024]分隔板2的一侧且位于第一电机4的上方固定有第二电机8,第二电机 8的输出端固定有卡接L型体9,用于限制从动齿轮6的转动,卡接L型体 9与分隔板2通过轴承转动连接,使得卡接L型体9转动时减少与分隔板2 之间的摩擦力。
[0025]风刀本体1内部的上侧设置有进气管道10,进气管道10的下侧设置有多个分风管道11,风刀本体1底部的内侧固定有多个固定杆12,固定杆12 的外侧转动连接有导风板13,导风板13与固定杆12为过渡配合,使得导风板13在转动完成后,停留在转动后的位置。
[0026]本实施例的一个具体应用为:使用者使用该装置时,将装置安装在合适的位置,通过进风软管3进风,风力输送至进气管道10内部,并通过分风管道11分散风力,通过转动导风板13,使得导风板13能够将风力的方向改变,进而使得装置能够对左右不同的方向同时进行吹风,进而使得硅片风干的效果更好,进而提升了工作效率;
[0027]当需要调节风刀本体1吹风的前后角度时,启动第一电机4,使得第一电机4的输出端带动主动齿轮5转动,进而通过主动齿轮5和从动齿轮6 的啮合连接,使得主动齿轮5能够带动从动齿轮6转动,进而通过从动齿轮6的旋转,带动连接块7和风刀本体1以从动齿轮6的圆心为轴心转动,进而使得装置能够调节风刀本体1吹风的前后角度,使得装置能够前后不同角度的对硅片进行吹干,避免造成假干现象,对后续工作造成影响;
[0028]当调节完成后,启动第二电机8,使得第二电机8的输出端带动卡接L 型体9转动,进而使得卡接L型体9与从动齿轮6卡接,限制从动齿轮6 的转动,避免从动齿轮6自转。
[0029]在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指
结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0030]以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本技术的原理和实际应用,从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片吹干风刀,包括风刀本体(1)、分隔板(2)和进风软管(3),进风软管(3)固定于风刀本体(1)的顶部,其特征在于:所述分隔板(2)上安装有用于调节风刀本体(1)吹风方向的调节机构。2.根据权利要求1所述的一种硅片吹干风刀,其特征在于:所述调节机构包括第一电机(4)、主动齿轮(5)、从动齿轮(6)和连接块(7);所述分隔板(2)的一侧固定有第一电机(4),所述第一电机(4)的输出端固定有主动齿轮(5),所述主动齿轮(5)的斜上方啮合连接有从动齿轮(6),且所述从动齿轮(6)与分隔板(2)以及主动齿轮(5)与分隔板(2)均转动连接,所述从动齿轮(6)的一侧固定有连接块(7),且所述连接块(7)与风刀本体(1)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨阳杨振华季富华管家辉
申请(专利权)人:无锡上机数控股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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