本技术公开了一种用于离子注入机的离子加速装置，包括离子注入箱体、旋转调节套筒和加速器设备，所述离子注入箱体的顶端均固定连接有若干流通管，所述流通管的一端均设置有加速器设备，所述加速器设备的顶端固定连接有固定调节盘，所述固定调节盘的顶端转...

本技术公开了一种离子注入机用离子源盖板，包括盖板主体、冷却箱和离子源设备，所述盖板主体的一端两侧均固定连接有密封块，所述盖板主体的两侧均设置有卡接板，所述卡接板的一侧两端均固定连接有螺纹块，所述螺纹块的外侧开设有开口，所述螺纹块的内部螺...

本实用新型公开了一种离子注入机圆晶转运装置，其包括：支撑板，所述支撑板的外表面活动连接有固定板，所述固定板的下表面固定连接有加固板，所述支撑板上设置有螺纹孔，所述支撑板上设置有限位孔，所述限位孔的内部活动连接有导向杆，所述支撑板的下表面...

本实用新型公开了绝缘组件技术领域的一种离子注入机的绝缘组件，包括离子源绝缘套管，所述离子源绝缘套管左端面设置有离子束进入口，且离子源绝缘套管设置为圆筒形状，外部设置有绝缘保护套，所述离子源绝缘套管右端面内腔壁设置有螺纹槽，所述离子源绝缘...

本实用新型涉及浓度控制装置领域，尤其为一种离子注入浓度调节装置，包括底板，所述底板上端面右侧固定连接有棕化槽，所述棕化槽右端面固定连接有控制盒，所述滑槽板内侧设置有限位块，所述滑块前侧下端面固定连接有弹簧，所述弹簧下端固定连接于上活塞，...

本实用新型公开了一种离子注入机的散热装置，包括散热器本体、冷却液进出管、散热框架和安装支架，所述散热器本体前端一侧通过安装槽转动连接有散热框架，且散热框架后端表面与散热器本体前端表面贴合，散热框架远离安装槽一侧上下两端皆开设有调节槽；通...

本实用新型公开了一种离子注入机硅片背面注入专用装载盘，包括装载盘主体：所述装载盘主体的上侧设置有硅片主体，所述装载盘主体的上侧且位于硅片主体的外侧设置有安装单元。通过设置有夹环一、夹环二、滑槽、滑块与弹簧，便于通过弹簧的弹力，使夹环二快...

本实用新型公开了一种离子注入机高导热硅片装载盘，涉及硅片装载盘技术领域，其包括：装载盘本体，所述装载盘本体上设置有容纳槽，所述容纳槽的内部设置有硅片本体，所述容纳槽的前部对称设置有滑槽，所述滑槽内设置有移动通道，所述滑槽的内部滑动连接有...

本实用新型公开了一种离子注入机用分离装置包括：安装在所述分离装置内的控制组件；电连接所述控制组件的电压采集组件；电连接所述控制组件的电压保护组件；电连接所述电压保护组件的触发组件；所述控制组件包括第一控制单元，连接所述第一控制单元的第二...

本实用新型提供一种离子注入机的可调节高度的硅片上料装置，离子注入机的可调节高度的硅片上料装置包括支架、进出料层、若干暂置层、滑动装置和若干滑动板；进出料层、若干暂置层水平设置于支架中；硅片置于滑动板上；若干滑动板置于进出料层或若干暂置层...

本实用新型提供一种大束流离子注入机的硅片上料装置，大束流离子注入机具有硅片进出口，大束流离子注入机的硅片上料装置包括支架、进出料层、若干暂置层、滑动装置和若干滑动板；进出料层、若干暂置层水平设置于支架中；进出料层与硅片进出口平齐，处于同...

本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用减振装置，包括离子注入机主体，离子注入机主体底端两侧的中部均固定设有固定块，两个固定块的两侧分别开设有四个通口，四个通口分别与两个支撑板的外壁穿插连接，本实用新型通过设有固定块和...

本实用新型涉及煤矸石处理技术领域，且公开了一种离子注入机用放电室，包括箱体，所述箱体的顶端固定设有顶箱，所述顶箱的一侧与进风管的外壁穿插连接，所述进风管的一端与热风机的进风口连通，所述热风机的出风口与出风管的一端连通，所述热风机的底端固...

本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用冷却系统，包括离子注入机本体，离子注入机本体的底端固定连接有冷却箱，冷却箱内壁的底部开设有集水槽，集水槽内壁底端的两侧均固定连接有旋转水车，本实用新型通过离子注入机本体启动后带动...

本实用新型涉及检测装置领域，且公开了一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，检测端外壁的一侧固定设有定位扣，定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，本实用新型离子...

本实用新型涉及离子注入机旋转的技术领域，且公开了一种离子注入机用旋转装置，包括防护筒外壁的底部卡合设有弧形支撑架，弧形支撑架一侧的上端开设有滑槽，滑槽的内壁滑动设有握把，握把的一端固定设有连接杆，连接杆的一端固定设有移动轴，移动轴的底部...

本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用抽真空装置，包括离子注入机本体，离子注入机本体的一侧中间与抽气杆的一侧固定连接，抽气杆的内壁与方型滑块的外壁滑动连接，方型滑块的一侧中间与第一连接杆的一侧中间位置固定连接，本实用...

本实用新型涉及分析器领域，且公开了一种离子注入机用分析器，包括分析器本体，所述分析器本体两侧的一端均开设有凹槽，两个所述凹槽的一侧均滑动设有滑杆，两个所述滑杆的外壁均穿插设有第一弹簧，两个所述滑杆的一端均固定设有缓冲板，本实用新型离子注...

本实用新型涉及气体箱领域，且公开了一种离子注入机用气体箱，包括气体箱本体，气体箱本体的顶端固定设有排气管，气体箱本体的一侧固定设有进气管，进气管外壁的一端固定设有第一连接圆环，本实用新型通过设有捏柱，拉动两个捏柱，两个捏柱移动带动两个第...

本实用新型涉及离子注入机摆动的技术领域，且公开了一种离子注入机用摆动装置，包括离子注入机外防护筒外壁两侧的两端均转动设有转动轴，四个转动轴的一端均固定设有支撑板，四个支撑板一端的一侧均固定设有固定轴，四个固定轴一端的外壁均套设有固定环，...