【技术实现步骤摘要】
本技术涉及离子源盖板，特别涉及一种离子注入机用离子源盖板。
技术介绍
1、半导体制造设备离子注入机进行离子注入时，需要在离子源的起弧室里用电子轰击气体产生等离体。起弧室的前引导板需要一个盖板固定，然而这个盖板，由于受热(起弧室温度大约1000摄氏度)变形，会使部分等离子体从变形狭缝处喷出，轰击在引出电极上，造成抑制电流过高，引出电极打火，离子束不稳定，影响工艺的稳定性。
2、现有技术中的离子源盖板在使用时无非改变盖板的材质和增加盖板的冷却作用，但是对于离子源的热量处于持续高温，通过冷却效果无法实现持续且不间断的冷却操作，还是会存在部分的离子体从变形狭缝处喷出，本技术对传统的盖板连接方式做出改进，降低离子体因盖板变形而狭缝喷出问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于，提供一种离子注入机用离子源盖板，在卡接板和密封块的内部热胀橡胶层缓慢受热，当热量较高时会出现热胀现象，实现扩张，增加堵塞和密封作用，降低离子体的渗透。
2、为实现上述目的，提供一种离子注入机用离子源盖板，包括：盖板主体、冷却箱和离子源设备，所述盖板主体的一端两侧均固定连接有密封块，所述盖板主体的两侧均设置有卡接板，所述卡接板的一侧两端均固定连接有螺纹块，所述螺纹块的外侧开设有开口，所述螺纹块的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述卡接板和密封块的内部均填充有热胀橡胶层；
3、所述盖板主体的底端设置有离子源设备，所述离子源设备的一侧设置有冷却箱，所述冷却箱的顶端两侧均固定连接有出水管和回流管，
4、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述冷却管的两端和回流管之间均固定连接有法兰盘。
5、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述盖板主体的两端均转动配合有旋钮，所述旋钮的一侧和双向螺纹杆固定连接。
6、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述盖板主体的内部固定连接有起弧室前引导板，所述起弧室前引导板之间开设有导流狭缝。
7、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述离子源设备的上方两端均开设有密封槽，且密封槽和密封块插接配合。
8、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述离子源设备的内壁两侧均开设有卡接槽，且卡接槽和卡接板插接配合。
9、根据所述的一种离子注入机用离子源盖板，所述双向螺纹杆和盖板主体转动配合。
10、有益效果：
11、1、本技术设置有密封块、卡接板、双向螺纹杆、热胀橡胶层和冷却管，通过盖板主体与离子源设备的盖合，而密封块和卡接板均与密封槽和卡接槽进行固定，随后当盖板主体受到热量时首先通过冷却箱将冷却液抽出，并通过冷却管实现冷却作用，同时在卡接板和密封块的内部热胀橡胶层缓慢受热，当热量较高时会出现热胀现象，实现扩张，增加堵塞和密封作用，降低离子体的渗透，同时由于热胀橡胶层处于密封块和卡接板的内部和冷却管的降温作用，对温度起到了降低不会造成高温的损坏。
12、2、本技术设置有双向螺纹杆、螺纹块、卡接板和卡接槽，通过双向螺纹杆的转动，与螺纹块进行螺纹配合，即可对卡接板的位置移动，与卡接槽进行卡接固定，牢固性更强，不易脱离，方便安装和拆卸。
13、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，包括：盖板主体(1)、冷却箱(4)和离子源设备(15)，所述盖板主体(1)的一端两侧均固定连接有密封块(11)，所述盖板主体(1)的两侧均设置有卡接板(9)，所述卡接板(9)的一侧两端均固定连接有螺纹块(16)，所述螺纹块(16)的外侧开设有开口(8)，所述螺纹块(16)的内部螺纹连接有双向螺纹杆(17)，所述卡接板(9)和密封块(11)的内部均填充有热胀橡胶层(18)；
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述冷却管(10)的两端和回流管(7)之间均固定连接有法兰盘(5)。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述盖板主体(1)的两端均转动配合有旋钮(14)，所述旋钮(14)的一侧和双向螺纹杆(17)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述盖板主体(1)的内部固定连接有起弧室前引导板(6)，所述起弧室前引导板(6)之间开设有导流狭缝(2)。
5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，
6.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述离子源设备(15)的内壁两侧均开设有卡接槽(12)，且卡接槽(12)和卡接板(9)插接配合。
7.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述双向螺纹杆(17)和盖板主体(1)转动配合。
...【技术特征摘要】
1.一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，包括：盖板主体(1)、冷却箱(4)和离子源设备(15)，所述盖板主体(1)的一端两侧均固定连接有密封块(11)，所述盖板主体(1)的两侧均设置有卡接板(9)，所述卡接板(9)的一侧两端均固定连接有螺纹块(16)，所述螺纹块(16)的外侧开设有开口(8)，所述螺纹块(16)的内部螺纹连接有双向螺纹杆(17)，所述卡接板(9)和密封块(11)的内部均填充有热胀橡胶层(18)；
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述冷却管(10)的两端和回流管(7)之间均固定连接有法兰盘(5)。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用离子源盖板，其特征在于，所述盖板主体(1)的两端均转动配合有旋钮(14)，所述旋钮(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，
申请(专利权)人：无锡凯世通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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