一种离子注入机的散热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种离子注入机的散热装置，包括散热器本体、冷却液进出管、散热框架和安装支架，所述散热器本体前端一侧通过安装槽转动连接有散热框架，且散热框架后端表面与散热器本体前端表面贴合，散热框架远离安装槽一侧上下两端皆开设有调节槽；通过设置的安装槽、调节槽、插杆和限位槽等，有效避免了由于散热片大多设计得较薄且排列较为细密，以最大化提高导热板与空间的接触面积，散热风扇吹出的风中裹挟的灰尘容易聚集在散热片内部，由于散热片表面与导热板贴合，导致工作人员难以对灰尘进行清理，散热片的散热效果降低，散热装置容易提前转换冷却模式，造成能源的浪费的问题，提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的散热装置


[0001]本技术涉及离子注入机
，特别是涉及一种离子注入机的散热装置。

技术介绍

[0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种，离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型，离子注入可提高电路的集成度、开启速度、成品率和寿命，降低了成本和功耗，广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备，离子注入机由五部分组成：离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔，其中加速管是由一系列介质隔离的电极组成，电极上的负电压依次增大，在使用过程中各个负电极为离子加速，能够产生极大的动能，在加速过程中由于设备始终处于满载状态，为了避免离子注入机因内部高温导致宕机，一般会使用离子注入机的散热装置来进行散热，现有的离子注入机的散热装置基本上已经能够满足日常的使用需求，但仍有一些不足之处需要改进。
[0003]现有的离子注入机的散热装置一般是通过冷却液进行散热的，在离子注入机内部事先安装好导热板，通过高热传导材质制成的导热板对热量进行吸收，同时通过泵体和管道将冷却液引入导热板内进行降温，吸收过热量的冷却液从管道的另一端排出，确保冷却液的冷却效果，散热装置的表面还加装有散热片，通过散热片增大导热板与空气的接触面积提高导热板的散热效果，当离子注入机的工作温度较低时，通过散热片与散热风扇的配合即可实现对导热板的散热，泵体不需要将冷却液抽入导热板内进行散热，散热装置能够通过实际使用温度对散热模式进行转换，但是在实际使用过程中，为了达到散热效果，散热片大多设计得较薄且排列较为细密，以最大化提高导热板与空间的接触面积，散热风扇吹出的风中裹挟的灰尘容易聚集在散热片内部，由于散热片表面与导热板贴合，导致工作人员难以对灰尘进行清理，散热片的散热效果降低，散热装置容易提前转换冷却模式，造成能源的浪费，装置的实用性不强，为此我们提出一种离子注入机的散热装置。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种离子注入机的散热装置，通过设置的安装槽、调节槽、插杆和限位槽等，使散热框架能够带动散热片在安装槽的限制下转动，散热片不再与散热器本体表面贴合，方便工作人员进行清理，清理完成后通过插杆和插槽的配合对散热框架的位置进行固定，散热框架能够带动散热片继续进行散热工作，避免了由于散热片大多设计得较薄且排列较为细密，以最大化提高导热板与空间的接触面积，散热风扇吹出的风中裹挟的灰尘容易聚集在散热片内部，由于散热片表面与导热板贴合，导致工作人员难以对灰尘进行清理，散热片的散热效果降低，散热装置容易提前转换冷却模式，造成能源的浪费的问题，提高了装置的实用性。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种离子注入机的散热装
置，包括散热器本体、冷却液进出管、散热框架和安装支架，所述散热器本体后端表面连接设置有多组冷却液进出管，散热器本体前端表面贴合设置有散热框架，且散热框架内部设置有多组散热片，散热器本体两侧表面皆连接设置有两组安装支架，所述散热器本体前端一侧通过安装槽转动连接有散热框架，且散热框架后端表面与散热器本体前端表面贴合，散热框架远离安装槽一侧上下两端皆开设有调节槽，且调节槽内侧一端开设有插杆，安装槽中部贯穿设置有插杆，插杆表面缠绕设置有弹簧，插杆内侧末端贴合调节槽内壁表面；
[0006]所述散热器本体前端表面靠近插杆一侧设置有两组插槽，且插槽内部皆能够插入插杆。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述插杆外壁表面开设有多组限位槽，安装槽内壁表面有与限位槽相互啮合的多组限位块。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述弹簧的一端皆贴合在安装槽内壁表面上，弹簧的另一端皆贴合在插杆表面上。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述插杆内侧末端表面等距环绕开设有多组凹槽。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述散热器本体两侧表面皆开设有引导槽，且引导槽上下两侧末端设置有两组对称设置的下限位轨，引导槽外延两侧皆设置有两组上限位轨，且引导槽内壁贴合设置有滑块，滑块两侧表面皆设置有卡轨，且卡轨皆与下限位轨和上限位轨相互啮合，滑块外侧末端连接设置有安装支架。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述引导槽、下限位轨和上限位轨皆为阶梯式分布，滑块在安装过程中分别与引导槽、下限位轨和上限位轨依次接触。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，所述卡轨皆设置为双勾形块，下限位轨和上限位轨皆设置为勾形槽，下限位轨和上限位轨能够组合为与卡轨相互配合的双勾形槽。
[0013]与现有技术相比，本技术能达到的有益效果是：
[0014]1、通过设置的安装槽、调节槽、插杆和限位槽等，有效避免了由于散热片大多设计得较薄且排列较为细密，以最大化提高导热板与空间的接触面积，散热风扇吹出的风中裹挟的灰尘容易聚集在散热片内部，由于散热片表面与导热板贴合，导致工作人员难以对灰尘进行清理，散热片的散热效果降低，散热装置容易提前转换冷却模式，造成能源的浪费的问题，使散热框架能够带动散热片在安装槽的限制下转动，散热片不再与散热器本体表面贴合，方便工作人员进行清理，清理完成后通过插杆和插槽的配合对散热框架的位置进行固定，散热框架能够带动散热片继续进行散热工作，提高了装置的实用性；
[0015]2、通过设置的引导槽、下限位轨、上限位轨和滑块等，使安装支架能够带动滑块插入引导槽内部，并在引导槽的引导下插入上限位轨和滑块内部，上限位轨和滑块配合卡轨对滑块的位置进行限制，安装支架设置完成，通过固定安装支架对散热器本体的位置进行安装，从而达到对散热器本体进行快速固定安装的目的，提高了装置的便捷性。
附图说明
[0016]图1为本技术的第一立体结构示意图；
[0017]图2为本技术的第二立体结构示意图；
[0018]图3为本技术的正视剖面结构示意图；
[0019]图4为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0020]图5为本技术的图1中A处地放大结构示意图；
[0021]图6为本技术的图2中B处地放大结构示意图；
[0022]图7为本技术的图3中C处地放大结构示意图；
[0023]图8为本技术的图4中D处地放大结构示意图；
[0024]图9为本技术的图4中E处地放大结构示意图。
[0025]其中：1、散热器本体；2、冷却液进出管；3、散热框架；4、安装支架；51、安装槽；52、调节槽；53、插杆；54、限位槽；55、限位块；56、弹簧；57、插槽；61、引导槽；62、下限位轨；63、上限位轨；64、滑块；65、卡轨。
具体实施方式
[0026]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的散热装置，包括散热器本体(1)、冷却液进出管(2)、散热框架(3)和安装支架(4)，所述散热器本体(1)后端表面连接设置有多组冷却液进出管(2)，散热器本体(1)前端表面贴合设置有散热框架(3)，且散热框架(3)内部设置有多组散热片，散热器本体(1)两侧表面皆连接设置有两组安装支架(4)，其特征在于：所述散热器本体(1)前端一侧通过安装槽(51)转动连接有散热框架(3)，且散热框架(3)后端表面与散热器本体(1)前端表面贴合，散热框架(3)远离安装槽(51)一侧上下两端皆开设有调节槽(52)，且调节槽(52)内侧一端开设有插杆(53)，安装槽(51)中部贯穿设置有插杆(53)，插杆(53)表面缠绕设置有弹簧(56)，插杆(53)内侧末端贴合调节槽(52)内壁表面；所述散热器本体(1)前端表面靠近插杆(53)一侧设置有两组插槽(57)，且插槽(57)内部皆能够插入插杆(53)。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的散热装置，其特征在于：所述插杆(53)外壁表面开设有多组限位槽(54)，安装槽(51)内壁表面有与限位槽(54)相互啮合的多组限位块(55)。3.根据权利要求1所述的一种离子注入机的散热装置，其特征在于：所述弹簧(56)的一端皆贴...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，
申请(专利权)人：无锡凯世通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：