一种离子注入机圆晶转运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种离子注入机圆晶转运装置，其包括：支撑板，所述支撑板的外表面活动连接有固定板，所述固定板的下表面固定连接有加固板，所述支撑板上设置有螺纹孔，所述支撑板上设置有限位孔，所述限位孔的内部活动连接有导向杆，所述支撑板的下表面活动连接有转动轴，所述转动轴的外表面固定连接有移动轮；支撑杆，所述支撑杆活动连接在支撑板的上表面，所述支撑杆的上表面固定连接有挂板，所述挂板上设置有滑槽，所述滑块的下表面固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的下表面固定连接有固定块，所述固定块的下表面固定连接有吸盘，通过以上装置，可调节装置高度，且一次能转运多个圆晶，方便移动，节省人力，只需一人即可安装

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机圆晶转运装置


[0001]本技术涉及转运装置
，特别涉及一种离子注入机圆晶转运装置
。

技术介绍

[0002]现有的离子注入机圆晶转运装置，通过机械臂与吸盘进行转运，但这种方式，机械臂安装步骤繁琐，重量大，需要多人进行安装，且调试周期长，如中国专利公开了一种“离子注入机圆晶转运装置”，其申请号为“202123146127.9”，其通过导向块
、
导向槽实现精准导向，并通过第一丝杠驱动结构能够达到高精度驱动滑座移动，实现调整圆晶水平位置，通过支撑柱穿设于滑座，提升支撑柱伸缩时的稳定性，并实现精确调整支撑柱伸缩量，从而达到提升圆晶搬运摆放的精准度，提供后续加工的精度，但是其安装步骤繁琐，且重量较大，需要多人进行安装，调试周期长
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种离子注入机圆晶转运装置，通过支撑板
、
固定板
、
加固板
、
螺纹孔
、
螺纹杆，方便调节机身高度，适应不同高度的机器，且使移动轮离开地面，防止在使用过程中发生位移，通过滑槽
、
支撑杆
、
挂板
、
移动槽，方便前后左右移动，节省人力，只需一人即可安装
。
[0004]本技术还提供具有上述一种离子注入机圆晶转运装置，包括：支撑板，所述支撑板的外表面活动连接有固定板，所述固定板的下表面固定连接有加固板，所述支撑板上设置有螺纹孔，所述支撑板上设置有限位孔，所述限位孔的内部活动连接有导向杆，所述支撑板的下表面活动连接有转动轴，所述转动轴的外表面固定连接有移动轮；支撑杆，所述支撑杆活动连接在支撑板的上表面，所述支撑杆的上表面固定连接有挂板，所述挂板上设置有滑槽，所述滑块的下表面固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆的下表面固定连接有固定块，所述固定块的下表面固定连接有吸盘，通过以上装置，可调节装置高度，且一次能转运多个圆晶，方便移动，节省人力，只需一人即可安装
。
[0005]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述加固板上活动连接有固定栓，所述固定栓贯穿加固板，通过以上装置，方便固定整体
。
[0006]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板的外表面固定连接有电机，所述电机的输出端与螺纹杆固定连接，通过以上装置，方便固定整体
、
调整机身高度
。
[0007]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板的外表面固定连接有安装块，所述安装块与导向杆固定连接，通过以上装置，避免使用过程中发生脱落
。
[0008]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑板上设置有移动槽，所述支撑杆活动连接在移动槽的内部，通过以上装置，方便前后移动
。
[0009]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述支撑杆上转动连接有连接轴，所述连接轴的外表面固定连接有滑轮，所述滑轮与移动槽的内底面活动连接，通过
以上装置，方便前后移动
。
[0010]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述滑槽的内部活动连接有挂轮，所述挂轮的上表面活动连接有滑块，通过以上装置，方便左右移动
。
[0011]根据本技术所述的一种离子注入机圆晶转运装置，所述固定块与吸盘的连接处设置有安装板，所述安装板与固定块
、
吸盘固定连接，通过以上装置，方便对圆晶进行转运
。
[0012]有益效果
[0013]1、
与现有技术相比，该离子注入机圆晶转运装置，通过支撑板
、
固定板
、
加固板
、
螺纹孔
、
螺纹杆，方便调节机身高度，适应不同高度的机器，且使移动轮离开地面，防止在使用过程中发生位移
。
[0014]2、
与现有技术相比，该离子注入机圆晶转运装置，通过滑槽
、
支撑杆
、
挂板
、
移动槽，方便前后左右移动，节省人力，只需一人即可安装
。
附图说明
[0015]下面结合附图和实施例对本技术进一步地说明；
[0016]图1为本技术离子注入机圆晶转运装置的正视结构图；
[0017]图2为本技术离子注入机圆晶转运装置的仰视结构图；
[0018]图3为本技术离子注入机圆晶转运装置的剖面结构图
。
[0019]图例说明：
[0020]1、
支撑板；
2、
固定板；
3、
加固板；
4、
螺纹孔；
5、
螺纹杆；
6、
限位孔；
7、
导向杆；
8、
滑槽；
9、
滑块；
10、
伸缩杆；
11、
固定块；
12、
安装板；
13、
吸盘；
14、
固定栓；
15、
转动轴；
16、
移动轮；
17、
滑轮；
18、
连接轴；
19、
安装块；
20、
电机；
21、
挂板；
22、
支撑杆；
23、
移动槽；
24、
挂轮
。
具体实施方式
[0021]本部分将详细描述本技术的具体实施例，本技术之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地
、
形象地理解本技术的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本技术保护范围的限制
。
[0022]参照图1‑3，本技术实施例一种离子注入机圆晶转运装置，其包括：支撑板1，支撑板1的外表面活动连接有固定板2，固定板2的下表面固定连接有加固板3，通过以上结构，防止装置在使用过程中发生偏移，支撑板1上设置有螺纹孔4，螺纹孔4的内部螺纹连接有螺纹杆5，通过以上结构，方便调节机身高度，且固定整体，支撑板1上设置有限位孔6，限位孔6的内部活动连接有导向杆7，通过以上结构，防止在使用过程中，支撑板
1、
固定板
2、
加固板3发生脱落，支撑板1的下表面活动连接有转动轴
15
，转动轴
15
的外表面固定连接有移动轮
16
，通过以上结构，方便装置移动，加固板3上活动连接有固定栓
14
，固定栓
14
贯穿加固板3，通过以上结构，方便固定整体，支撑板1的外表面固定连接有电机
20
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，包括：支撑板
(1)
，所述支撑板
(1)
的外表面活动连接有固定板
(2)
，所述固定板
(2)
的下表面固定连接有加固板
(3)
，所述支撑板
(1)
上设置有螺纹孔
(4)
，所述螺纹孔
(4)
的内部螺纹连接有螺纹杆
(5)
，所述支撑板
(1)
上设置有限位孔
(6)
，所述限位孔
(6)
的内部活动连接有导向杆
(7)
，所述支撑板
(1)
的下表面活动连接有转动轴
(15)
，所述转动轴
(15)
的外表面固定连接有移动轮
(16)
；支撑杆
(22)
，所述支撑杆
(22)
活动连接在支撑板
(1)
的上表面，所述支撑杆
(22)
的上表面固定连接有挂板
(21)
，所述挂板
(21)
上设置有滑槽
(8)
，所述滑槽
(8)
的内部活动连接有挂轮
(24)
，所述挂轮
(24)
的上表面活动连接有滑块
(9)
，所述滑块
(9)
的下表面固定连接有伸缩杆
(10)
，所述伸缩杆
(10)
的下表面固定连接有固定块
(11)
，所述固定块
(11)
的下表面固定连接有吸盘
(13)。2.
根据权利要求1所述的一种离子注入机圆晶转运装置，其特征在于，所述加固...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，
申请(专利权)人：无锡凯世通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：