扫描电子显微镜的可装拆轴单元及其提供方法技术

在本发明专利技术提供一种扫描电子显微镜的可装拆轴单元及其提供方法，所述可装拆轴单元使得能够在试料设置部装拆轴，从而通过更换整个轴解决轴相关的简单校正

【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜的可装拆轴单元及其提供方法
[0001]本申请是申请号为
202080017623.3
的中国专利申请的分案申请，该中国专利申请要求韩国专利申请第
10
‑
2019
‑
0033312
号
(
专利技术名称：具有可装拆的轴的扫描电子显微镜及利用其的影像获取方法，
2019
年3月
25
日申请
)
的优先权，韩国专利申请第
10
‑
2019
‑
0033312
号的申请说明书及附图中包含的内容全部包含于本说明书
。


[0002]本专利技术涉及扫描电子显微镜的可装拆轴单元，更具体来讲涉及可装拆地设置于扫描电子显微镜的试料设置部的轴单元
。
[0003]并且，本专利技术还包括这种轴单元的提供方法
。

技术介绍

[0004]通常，扫描电子显微镜将电子束扫描到试料并检测在试料发生的二次电子
(secondary electron)
或反射电子
(back scattered electron)
等以获取待测试料的影像
。
[0005]扫描电子显微镜具有轴与试料设置部
。
轴的内部设置有电子枪
、
汇聚电子的聚透镜
、
使电子束聚焦的物镜
、
调节电子束的方向的扫描模块等
。r/>并且，在试料设置部的内部设置试料
、
用于放置试料的试料台
、
移动试料台的工作台等
。
试料设置部的内部被设计制造成真空空间或大气压空间
。
[0006]轴为电子显微镜的核心，整个电子显微镜的设计
、
制造以轴为中心展开
。
近来电子显微镜的开发方向更多是要求追求无专业知识人士也能够轻易使用，而不是达到更高的性能
。
轴极其复杂且进行精细工作，因此需具备科学
、
技术知识才能进行简单校正
、
波速偏移
、
耗材更换
。
因此存在轴相关的简单校正
、
波速偏移
、
耗材更换等也都需要专业人员帮助，从而维修时间及费用上升的问题
。
[0007]并且，使轴内部形成高真空耗费时间，因此还存在耗费大量作业准备时间的问题
。

技术实现思路

[0008]技术问题
[0009]本专利技术旨在解决上述问题，目的在于提供一种使轴在试料设置部能够装拆，从而通过更换整个轴解决轴相关的简单校正
、
波速偏移
、
耗材更换等轴相关的问题，因此简单
、
便于维修及管理的扫描电子显微镜的可装拆轴单元
。
[0010]本专利技术的又一目的是提供一种预先将轴内部形成为高真空从而能够缩短作业准备时间的扫描电子显微镜的可装拆轴单元
。
[0011]本专利技术的又一目的是提供一种利用这种扫描电子显微镜的可装拆轴单元的方法
。
[0012]技术方案
[0013]为达成上述目的，在本专利技术的优选实施例的扫描电子显微镜
100
中，轴
10
通过装拆机构可装拆地设置在试料设置部
30。
[0014]轴
10
内部设置有电子枪
11、
聚透镜
12、
物镜
13
及第一真空泵
P
且形成真空空间
S1。
并且，轴
10
的下端设置有膜
19。
空气无法通过膜
19
，在电子枪
11
发生的电子通过膜
19
并扫描到试料
。
[0015]试料设置部
30
连接于轴
10
，内部有用于设置试料的空间
S2
，结合于框架
50。
[0016]装拆机构将轴
10
可装拆地结合于试料设置部
30
，使得轴
10
与试料设置部
30
及框架
50
在振动时成为一体
。
[0017]轴
10
的一侧具有连接器
15。
连接器
15
传输电子枪
11、
聚透镜
12、
物镜
13
及第一真空泵
P
的驱动所需的电源，传输聚透镜
12
与物镜
13
的控制信号及检测器
16
的信号等
。
[0018]具体来讲，所装拆机构可包括：在轴
10
的下端设置于膜
19
外围的第一框架
41
；与第一框架
41
对应地形成于试料设置部
30
的上端的第二框架
45
；以及将第一框架
41、
第二框架
45
锁紧成彼此之间结合的锁紧部件
49。
[0019]轴
10
内部可具有存储器部
。
存储器部存储通过校准
(calibration)
得到的轴补正信息
。
[0020]轴
10
的下端可设有膜保护罩
20。
膜保护罩
20
设置成盖住膜
19
保护膜
19。
膜保护罩
20
的内部空间
S3
为真空状态，能够防止膜
19
破损
。
[0021]轴
10
的内部下端可设有
BSE
检测器
(back
‑
scattered electron detector)16。
[0022]轴
10
上设置有第一阀
18
，第一阀
18
可与轴外部的高真空泵
(
例如涡轮泵
)
连接
。
轴
10
内部通过高真空泵成为高真空状态后，可通过第一真空泵
P
保持所述高真空状态
。
优选地，第一真空泵
P
为离子泵或
NEG
泵
。
[0023]根据本专利技术的又一方面，利用扫描电子显微镜的影像获取方法可包括：轴
10
与试料设置部
30
分离的状态下将轴
10
内部形成为真空的步骤
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种可装拆轴单元，其特征在于，包括：轴
(10)
，其内部的密闭的真空空间
(S1)
设置有聚透镜
(12)、
物镜
(13)
及第一真空泵
(P)
，下端设置有膜
(19)
；膜保护罩
(20)
，其设置在轴
(10)
的下端以罩住膜
(19)
；其中，空气无法通过膜
(19)
，而在电子枪
(11)
发生的电子通过膜
(19)
扫描
(scanning)
试料，由膜保护罩
(20)
和膜
(19)
以及轴
(10)
的下端构成的空间为密闭空间，轴
(10)
结合于试料设置部
(30)
之前去除膜保护罩
(20)。2.
根据权利要求1所述的可装拆轴单元，其特征在于：轴
(10)
上设置有第一阀
(18)
，第一阀
(18)
能够连接于轴
(10)
外部的高真空泵，轴
(10)
结合于试料设置部
(30)
之前，轴
(10)
的内部通过高真空泵成为高真空状态，通过第一真空泵
(P)
保持所述高真空状态
。3.
根据权利要求1或2所述的可装拆轴单元，其特征在于：膜保护罩
(20)
的内部成为真空状态，以防止膜保护罩
(20)
内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊熙，
申请(专利权)人：库赛姆株式会社，
类型：发明
国别省市：