探测器输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探测器输送装置

【技术实现步骤摘要】
探测器输送装置


[0001]本技术涉及输送装置
，具体而言，涉及一种探测器输送装置
。

技术介绍

[0002]扫描电镜在工作时，需要将探测器输送至距离样品一定距离的预设位置，在相关技术中，通常使用输送装置输送探测器，输送装置具有固定和运送探测器的输送杆，输送装置通过驱动输送杆移动以将探测器输送至预设位置
。
[0003]由于扫描电镜对探测器的位置精度要求较高，输送装置通常设有支撑件以对输送杆的中段进行支撑，然而，在输送杆本身的加工误差和重力的影响下，输送杆可能会出现弯曲和变形，弯曲和变形后的输送杆在穿过支撑件时的阻力较大，支撑件和输送杆容易发生磨损，导致输送装置的可靠性和使用寿命下降
。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一
。
为此，本技术提出一种探测器输送装置，可提升探测器输送装置的使用寿命和可靠性
。
[0005]根据本技术实施例的探测器输送装置，包括：输送杆，所述输送杆具有输送端和探测器固定端；输送组件，所述输送组件与所述输送端连接，所述输送组件用于驱动所述输送杆沿第一方向移动；支撑组件，所述支撑组件包括基座和第一滚动连接件，所述基座设有中心通孔和与所述中心通孔连通的第一安装槽，所述第一滚动连接件包括第一连接部和第一滚动部，所述第一连接部至少部分设于所述第一安装槽内，所述第一滚动部至少部分设于所述中心通孔内，所述输送杆穿设所述中心通孔，所述第一滚动部止抵于所述第一连接部和所述输送杆之间，所述第一连接部的长度可伸缩
。
[0006]根据本技术实施例的探测器输送装置，输送组件可驱动输送组件移动，以将输送杆上的探测器输送至预设位置，输送杆穿设支撑组件的中心通孔，第一滚动部止抵于第一连接部和输送杆之间，且第一连接部的长度可伸缩，以降低输送杆通过中心通孔的阻力，并使输送杆的弯曲位置和变形位置可顺利通过中心通孔，减少输送杆和支撑组件的磨损，从而有利于提升探测器输送装置的使用寿命和可靠性
。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述基座还设有与所述中心通孔连通的多个第二安装槽，所述支撑组件还包括与所述第二安装槽数量相同的多个第二滚动连接件，每个所述第二滚动连接件均包括第二连接部和第二滚动部，所述第二连接部至少部分设于所述第二安装槽内，所述第二滚动部至少部分设于所述中心通孔内，且所述第二滚动部止抵于所述第二连接部和所述输送杆之间
。
[0008]进一步地，所述第一安装槽和所述第二安装槽均沿所述中心通孔的径向方向延伸
。
[0009]进一步地，在重力方向上，所述第一安装槽设于所述中心通孔的上方
。
[0010]进一步地，所述第二安装槽的数量为两个，所述第一安装槽的延伸方向与任意一
个所述第二安装槽的延伸方向的夹角相等
。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述基座包括安装架和固定盘，所述安装架与所述输送组件连接，所述固定盘与所述安装架可拆卸地连接，所述中心通孔
、
所述第一安装槽和所述第二安装槽均设于所述固定盘
。
[0012]进一步地，所述第一连接部构造为波珠螺丝，所述第一滚动部包括第一轴承安装座
、
第一安装轴和穿设于所述第一安装轴的第一轴承，所述第一安装槽包括第一螺纹段，所述波珠螺丝与所述第一螺纹段螺纹配合，所述第一轴承安装座的一端止抵于所述波珠螺丝，所述第一轴承安装座的另一端与所述第一安装轴连接
。
[0013]进一步地，所述第一安装槽还包括第一光孔段和第一开口段，所述第一开口段与所述中心通孔连通，且所述第一开口段在所述固定盘的厚度方向贯穿所述固定盘，所述第一光孔段连接于所述第一螺纹段和所述第一开口段之间；所述第一轴承安装座包括相连的第一限位部和第一安装部，所述第一限位部的至少部分设于所述第一光孔段内，所述第一安装部的至少部分设于所述第一开口段内，所述第一安装轴与所述第一安装部连接
。
[0014]进一步地，所述第二连接部构造为螺钉，所述第二滚动部包括第二轴承安装座
、
第二安装轴和穿设于所述第二安装轴的第二轴承，所述第二安装槽包括第二螺纹段，所述螺钉与所述第二螺纹段螺纹配合，所述第二轴承安装座的一端止抵于所述螺钉，所述第二轴承安装座的另一端与所述第二安装轴连接
。
[0015]进一步地，所述第二安装槽还包括第二光孔段和第二开口段，所述第二开口段与所述中心通孔连通，且所述第二开口段在所述固定盘的厚度方向贯穿所述固定盘，所述第二光孔段连接于所述第二螺纹段和所述第二开口段之间；所述第二轴承安装座包括相连的第二限位部和第二安装部，所述第二限位部的至少部分设于所述第二光孔段内，所述第二安装部的至少部分设于所述第二开口段内，所述第二安装轴与所述第二安装部连接
。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例的探测器输送装置和探测器的示意图；
[0018]图2是根据本技术的实施例的固定盘
、
第一滚动连接件和第二滚动连接件的爆炸图；
[0019]图3是根据本技术实施例的探测器输送装置在固定盘处的内部结构示意图
。
[0020]附图标记：
[0021]支撑组件
10
；
[0022]基座1；安装架
11
；
[0023]固定盘
12
；中心通孔
121
；第一安装槽
122
；第一螺纹段
1221
；第一光孔段
1222
；第一开口段
1223
；第二安装槽
123
；第二螺纹段
1231
；第二光孔段
1232
；第二开口段
1233
；
[0024]第一滚动连接件2；
[0025]第一连接部
21
；第一滚动部
22
；第一轴承
221
；第一安装轴
222
；第一轴承安装座
223
；第一限位部
2231
；第一安装部
2232
；
[0026]第二滚动连接件3；
[0027]第二连接部
31
；第二滚动部
32
；第二轴承
321
；第二安装轴
322
；第二轴承安装座
323
；第二限位部
3231
；第二安装部
3232
；
[0028]输送杆
20
；输送端...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种探测器输送装置，其特征在于，包括：输送杆，所述输送杆具有输送端和探测器固定端；输送组件，所述输送组件与所述输送端连接，所述输送组件用于驱动所述输送杆沿第一方向移动；支撑组件，所述支撑组件包括基座和第一滚动连接件，所述基座设有中心通孔和与所述中心通孔连通的第一安装槽，所述第一滚动连接件包括第一连接部和第一滚动部，所述第一连接部至少部分设于所述第一安装槽内，所述第一滚动部至少部分设于所述中心通孔内，所述输送杆穿设所述中心通孔，所述第一滚动部止抵于所述第一连接部和所述输送杆之间，所述第一连接部的长度可伸缩
。2.
根据权利要求1所述的探测器输送装置，其特征在于，所述基座还设有与所述中心通孔连通的多个第二安装槽，所述支撑组件还包括与所述第二安装槽数量相同的多个第二滚动连接件，每个所述第二滚动连接件均包括第二连接部和第二滚动部，所述第二连接部至少部分设于所述第二安装槽内，所述第二滚动部至少部分设于所述中心通孔内，且所述第二滚动部止抵于所述第二连接部和所述输送杆之间
。3.
根据权利要求2所述的探测器输送装置，其特征在于，所述第一安装槽和所述第二安装槽均沿所述中心通孔的径向方向延伸
。4.
根据权利要求3所述的探测器输送装置，其特征在于，在重力方向上，所述第一安装槽设于所述中心通孔的上方
。5.
根据权利要求4所述的探测器输送装置，其特征在于，所述第二安装槽的数量为两个，所述第一安装槽的延伸方向与任意一个所述第二安装槽的延伸方向的夹角相等
。6.
根据权利要求2‑5中任一项所述的探测器输送装置，其特征在于，所述基座包括安装架和固定盘，所述安装架与所述输送组件连接，所述固定盘与所述安装架可拆卸地连接，所述中心通孔
、
所述第一安装槽和所述第二安装槽均设于所述固定盘
。7....

【专利技术属性】
技术研发人员：张茂辉，栗宽，
申请(专利权)人：无锡量子感知技术有限公司，
类型：新型
国别省市：