用于扫描电镜的高度校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于扫描电镜的高度校准装置，包括：第一安装座

【技术实现步骤摘要】
用于扫描电镜的高度校准装置


[0001]本技术涉及扫描电镜高度校准
，尤其是涉及一种用于扫描电镜的高度校准装置
。

技术介绍

[0002]目前扫描电镜样品台与电子枪之间的距离难以精确校准，且校准效率通常较为低下
。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一
。
为此，本技术的目的在于提出了一种用于扫描电镜的高度校准装置，通过调节样品台的高度可以测量样品台与电子枪之间的距离，从而实现了样品台与电子枪之间距离的精确校准，且校准方法简单便捷
。
[0004]为达到上述目的，本技术实施例提出了一种用于扫描电镜的高度校准装置，包括：
[0005]第一安装座，第一安装座设于扫描电镜的安装平台；
[0006]第一高度调节组件，第一高度调节组件设于第一安装座，且沿高度校准装置的第一方向，第一高度调节组件相对第一安装座可移动；
[0007]第二高度调节组件和样品台，第二高度调节组件设于第一高度调节组件和样品台之间，且第二高度调节组件适于驱动样品台沿第一方向移动，通过第一高度调节组件和第二高度调节组件沿第一方向调节样品台的高度，以校准样品台与扫描电镜的电子枪之间距离
。
[0008]根据本技术实施例的高度校准装置，第一高度调节组件相对第一安装座可移动，第二高度调节组件设于第一高度调节组件和样品台之间，且第二高度调节组件适于驱动样品台沿第一方向移动，通过第一高度调节组件和第二高度调节组件的配合使用可以沿第一方向调节样品台的高度
。
由此，通过调节样品台的高度可以测量样品台与电子枪之间的距离，从而实现了样品台与电子枪之间距离的精确校准，且校准方法简单便捷
。
[0009]在本技术的一些示例中，第一高度调节组件的调节步距大于第二高度调节组件的调节步距
。
[0010]在本技术的一些示例中，第一高度调节组件包括：
[0011]第一转接件和第一高度调节件，第一转接件适于与第二高度调节组件连接，第一高度调节件设于第一转接件和第一安装座之间，通过第一高度调节件驱动第一转接件沿第一方向移动以调节第一转接件的高度
。
[0012]在本技术的一些示例中，第一高度调节件构造为高度调节杆，第一高度调节件具有第一安装部，第一安装座设有与第一安装部配合装配的第一安装孔，通过第一安装部和第一安装孔配合安装以使第一高度调节件沿第一方向相对第一安装座移动
。
[0013]在本技术的一些示例中，第一高度调节组件还包括：第一锁紧件和第二锁紧件，第一锁紧件和第二锁紧件均与第一高度调节件配合装配，以将第一高度调节件固定于第一安装座
。
[0014]在本技术的一些示例中，第一锁紧件和第二锁紧件均套设于第一安装部，通过第一锁紧件与第一安装部的锁紧配合以及第二锁紧件与第一安装部的锁紧配合，以使第一高度调节件固定于第一安装座
。
[0015]在本技术的一些示例中，第二高度调节组件包括：
[0016]第二安装座，第二安装座固设于第一高度调节组件；
[0017]第二高度调节件
、
导向件和第二转接件，第二高度调节件和导向件均设于第二安装座，第二转接件与第二高度调节件连接且与导向件导向配合，且样品台固设于第二转接件，通过第二高度调节件驱动第二转接件沿第一方向移动以调节样品台的高度
。
[0018]在本技术的一些示例中，导向件具有第一导向部，第二转接件具有第二导向部，通过第一导向部和第二导向部导向配合以使第二转接件沿第一方向移动
。
[0019]在本技术的一些示例中，第一导向部和第二导向部中的一个为导向块，第一导向部和第二导向部中的另一个为导轨，导向块可滑动地设于导轨，导轨沿第一方向延伸
。
[0020]在本技术的一些示例中，沿第一方向，样品台具有不同高度的校准面
。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到
。
附图说明
[0022]本技术的上述和
/
或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0023]图1为根据本技术一个实施例的用于扫描电镜的高度校准装置的第一视角的立体图
。
[0024]附图标记：
[0025]高度校准装置
100
；
[0026]第一安装座1；
[0027]第一高度调节组件2；第一转接件
21
；第一高度调节件
22
；第一锁紧件
23
；第二锁紧件
24
；
[0028]第二高度调节组件3；第二安装座
31
；第二高度调节件
32
；导向件
33
；第二转接件
34
；
[0029]样品台4；校准面
41
；
[0030]第一方向
X。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件
。
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制
。
[0032]下面参考附图描述根据本技术实施例的用于扫描电镜的高度校准装置
100。
[0033]如图1所示，根据本技术实施例的高度校准装置
100
包括：第一安装座
1、
第一高度调节组件
2、
第二高度调节组件3和样品台4，第一安装座1设于扫描电镜的安装平台，第一高度调节组件2设于第一安装座1，可以理解的是，第一高度调节组件2可以为但不限于电机调节组件
、
气缸调节组件或螺栓调节组件等，且沿高度校准装置
100
的第一方向
X
，第一高度调节组件2相对第一安装座1可移动，第二高度调节组件3设于第一高度调节组件2和样品台4之间，可以理解的是，第二高度调节组件3可以为但不限于电机调节组件
、
气缸调节组件或螺栓调节组件等，且第二高度调节组件3适于驱动样品台4沿第一方向
X
移动，通过第一高度调节组件2和第二高度调节组件3沿第一方向
X
调节样品台4的高度，以校准样品台4与扫描电镜的电子枪之间距离
。
[0034]具体地，如图1所示，第一安装座1固定安装在扫描电镜的安装平台上，安装方式包括但不限于螺栓连接等，如此设置，可以实现高度校准装置
100
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于扫描电镜的高度校准装置，其特征在于，包括：第一安装座，所述第一安装座设于所述扫描电镜的安装平台；第一高度调节组件，所述第一高度调节组件设于所述第一安装座，且沿所述高度校准装置的第一方向，所述第一高度调节组件相对所述第一安装座可移动；第二高度调节组件和样品台，所述第二高度调节组件设于所述第一高度调节组件和所述样品台之间，且所述第二高度调节组件适于驱动所述样品台沿所述第一方向移动，通过所述第一高度调节组件和所述第二高度调节组件沿所述第一方向调节所述样品台的高度，以校准所述样品台与所述扫描电镜的电子枪之间距离
。2.
根据权利要求1所述的高度校准装置，其特征在于，所述第一高度调节组件的调节步距大于所述第二高度调节组件的调节步距
。3.
根据权利要求2所述的高度校准装置，其特征在于，所述第一高度调节组件包括：第一转接件和第一高度调节件，所述第一转接件适于与所述第二高度调节组件连接，所述第一高度调节件设于所述第一转接件和所述第一安装座之间，通过所述第一高度调节件驱动所述第一转接件沿所述第一方向移动以调节所述第一转接件的高度
。4.
根据权利要求3所述的高度校准装置，其特征在于，所述第一高度调节件构造为高度调节杆，所述第一高度调节件具有第一安装部，所述第一安装座设有与所述第一安装部配合装配的第一安装孔，通过所述第一安装部和所述第一安装孔配合安装以使所述第一高度调节件沿所述第一方向相对所述第一安装座移动
。5.
根据权利要求4所述的高度校准装置，其特征在于，所述第一高度调节组件还包括：第一锁紧件和第二锁紧件，所述第一锁紧件...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天成，陈阳，任庆康，
申请(专利权)人：无锡量子感知技术有限公司，
类型：新型
国别省市：