光束遮挡器及注入机制造技术

本实用新型专利技术提供一种光束遮挡器及注入机。所述光束遮挡器包括：导热板；冷却板，位于导热板一侧，用于冷却所述导热板；所述导热板边缘设置有螺栓孔，通过螺栓固定于所述冷却板表面。上述技术方案，通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率；将导热板直接固定于所述冷却板上，减少因固定压环变形而导致的器件报废，提高器件寿命，节约生产成本。约生产成本。约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
光束遮挡器及注入机


[0001]本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种光束遮挡器及注入机。

技术介绍

[0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
[0003]离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离。注入机中采用中心光束遮挡器遮挡光线。附图1所示为中心光束遮挡器的一实施例的结构示意图。附图2所示为附图1沿AA
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方向的剖视图，其中，结构被遮挡的部分用虚线示意。结合参考附图1～附图2，所述中心光束遮挡器包括石墨板11和金属冷却板12。所述金属冷却板12位于所述石墨板11的一侧。所述定位压环13位于所述石墨板11的另一侧，且所述定位压环13通过螺栓14将所述石墨板11固定于所述金属冷却板12上。所述石墨板11的尺寸小于所述定位压环，所述螺栓14穿过所述定位压环13将所述石墨板11固定于所述金属冷却板12上。所述中心光束遮挡器还本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束遮挡器，包括：导热板；冷却板，位于导热板一侧，用于冷却所述导热板；其特征在于，所述导热板边缘设置有螺栓孔，通过螺栓固定于所述冷却板表面。2.根据权利要求1所述的光束遮挡器，其特征在于，所述导热板的直径大于一预设阈值。3.根据权利要求1所述的光束遮挡器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马群，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：