光束遮挡器及注入机制造技术

本实用新型专利技术提供一种光束遮挡器及注入机。所述光束遮挡器包括：导热板；冷却板，位于导热板一侧，用于冷却所述导热板；所述导热板边缘设置有螺栓孔，通过螺栓固定于所述冷却板表面。上述技术方案，通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率；将导热板直接固定于所述冷却板上，减少因固定压环变形而导致的器件报废，提高器件寿命，节约生产成本。约生产成本。约生产成本。

【技术实现步骤摘要】
光束遮挡器及注入机


[0001]本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种光束遮挡器及注入机。

技术介绍

[0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
[0003]离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离。注入机中采用中心光束遮挡器遮挡光线。附图1所示为中心光束遮挡器的一实施例的结构示意图。附图2所示为附图1沿AA
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方向的剖视图，其中，结构被遮挡的部分用虚线示意。结合参考附图1～附图2，所述中心光束遮挡器包括石墨板11和金属冷却板12。所述金属冷却板12位于所述石墨板11的一侧。所述定位压环13位于所述石墨板11的另一侧，且所述定位压环13通过螺栓14将所述石墨板11固定于所述金属冷却板12上。所述石墨板11的尺寸小于所述定位压环，所述螺栓14穿过所述定位压环13将所述石墨板11固定于所述金属冷却板12上。所述中心光束遮挡器还包括一石墨导热垫15，位于所述定位压环13与所述石墨板11，且位于所述定位压环13与所述石墨板11的边缘部分。
[0004]然而现有的注入机(如9500XR注入机)在运行大功率(大于4500W)束流的程序时，中心光束遮挡器(Beamstop)因散热能力不足，会发生过热报警并且内部金属件也会因为过热产生形变。
[0005]因此，如何提高中心光束遮挡器的散热能力、延长器件寿命，是当下需要解决的问题。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是如何提高中心光束遮挡器的散热能力、延长器件寿命，提供一种光束遮挡器及注入机。
[0007]为了解决上述问题，本技术提供了一种光束遮挡器，包括：导热板；冷却板，位于导热板一侧，用于冷却所述导热板；所述导热板边缘设置有螺栓孔，通过螺栓固定于所述冷却板表面。
[0008]为了解决上述问题，本技术提供了一种注入机，包括本技术所述的光束遮挡器。
[0009]上述技术方案，通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率；将导热板直接固定于所述冷却板上，减少因固定压环变形而导致的器件报废，提高器件寿命，节约生产成本。
附图说明
[0010]附图1所示为中心光束遮挡器的一实施例的结构示意图。
[0011]附图2所示为附图1沿AA
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方向的剖视图。
[0012]附图3所示为本技术所述光束遮挡器的一实施例的结构示意图。
[0013]附图4所示为附图3沿BB
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方向的剖视图。
[0014]附图5所示为本技术所述注入机的一实施例的构架示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合附图对本技术提供的光束遮挡器的具体实施方式做详细说明。
[0016]附图3所示为本技术所述光束遮挡器的一实施例的结构示意图。附图4所示为附图3沿BB
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方向的剖视图，其中，结构被遮挡的部分用虚线示意。结合参考附图3～附图4，所述光束遮挡器包括：导热板31和冷却板32。所述冷却板32位于导热板31一侧，用于冷却所述导热板31。所述导热板31边缘设置有螺栓孔，通过螺栓33固定于所述冷却板32表面。在本实施例中，所述导热板31的材质为石墨，所述冷却板32的材质为金属。
[0017]作为一实施例，所述导热板31的直径大于一预设阈值。在本实施例中，所述导热板31与冷却板32的接触面积为42平方厘米。通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率。图1所示实施例中的石墨板11的面积仅有33.6平方厘米。改进后的导热板31与冷却板32的接触面积增加了24.8％，具有更好的导热性能。
[0018]此外，本技术所述光束遮挡器不设置定位压环以及石墨导热垫，所述导热板31边缘设置有螺栓孔，通过螺栓33直接连接至所述冷却板32上，避免因为定位压环形变导致的器件报废，提高器件寿命。此外，在所述光束遮挡器生产制造阶段也能减少元件生产，降低生产成本。
[0019]上述技术方案，通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率；将导热板直接固定于所述冷却板上，减少因固定压环变形而导致的器件报废，提高器件寿命，节约生产成本。
[0020]图5所示是本技术所述注入机的一实施例的构架示意图。如图5所示，所述注入机100包括：光束遮挡器101。其中，所述光束遮挡器101采用本技术图3～图4任一个或多个实施例所示的光束遮挡器；详见前文描述，此处不再赘述。
[0021]在一些实施例中，所述注入机100可以为低能大束流注入机、高能注入机或中束流注入机。
[0022]上述技术方案，通过增大导热板的面积以增加导热板与冷却板的接触面积，提高冷却效率；将导热板直接固定于所述冷却板上，减少因固定压环变形而导致的器件报废，提高器件寿命，节约生产成本。
[0023]以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光束遮挡器，包括：导热板；冷却板，位于导热板一侧，用于冷却所述导热板；其特征在于，所述导热板边缘设置有螺栓孔，通过螺栓固定于所述冷却板表面。2.根据权利要求1所述的光束遮挡器，其特征在于，所述导热板的直径大于一预设阈值。3.根据权利要求1所述的光束遮挡器，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马群，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：