本发明专利技术公开了一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部。本发明专利技术能够用于精密装配，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节，能极大地提高装配精度。地提高装配精度。地提高装配精度。
【技术实现步骤摘要】
对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法
[0001]本专利技术涉及电子束检测装置
，具体涉及一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法。
技术介绍
[0002]扫描电镜是电子光学仪器，利用电子源发射电子束，然后聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。
[0003]在扫描电镜的使用过程中，电子源作用是发射电子束，电子束的质量直接影响扫描电子显微镜的成像质量。在对电子束进行衡量和评价时，需要运用到电子束束斑检测装置。电子束束斑检测装置主要由若干光阑片、一个检测装置支架和一个接收装置组成，电子束透过光阑照射在接收装置上，光阑与支架之间的同轴度要求较高。但是常规装配工艺无法获知光阑片是否已安装到位，在对光阑片进行调节时仅依靠人工经验进行，难以满足装配精度需求，调节精度低下。并且光阑片位于装置内部，光阑片与支架之间的同轴度调节十分不便。因此，研发能够对电子束束斑检测装置中的光阑进行调节的工装显得十分重要。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服常规装配工艺难以满足装配精度需求的缺陷，从而提供一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，以能够对光阑片进行精确对中调节，使得光阑片装配满足使用要求。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：对中调节工装，所述工装用于电子束束斑检测装置精密装配的对中调节；所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置，所述调节支撑筒的内部对若干光阑片进行支撑定位；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在所述调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收所述图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部，用于根据光阑片所需调节的方向对光阑片进行水平方位的调节，以使光阑片与检测装置支架同轴心。
[0006]可选的，每一组调节孔分别包括Y轴负向调节孔、Y轴正向调节孔、X轴负向调节孔和X轴正向调节孔，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，X轴负向调节孔和X轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔之间的连线同X轴负向调节孔和X轴正向调节孔之间的连线垂直。
[0007]可选的，各组调节孔由上至下分别交错设置；所述显示机构是以每一组调节孔所在位置作为X轴和Y轴基准，分别建立坐标系的。
[0008]可选的，所述调节组件包括配装设置在调节孔内的调节顶丝。
[0009]可选的，所述图像拍摄机构包括：相机支架，可拆卸设置在调节支撑筒上；所述相机支架上开设有与检测装置支架同轴心的相机定位孔；CCD相机，定位设置在相机定位孔内。
[0010]可选的，所述调节支撑筒的内圆周侧壁底部一体设置有对光阑片进行支撑定位的支撑环。
[0011]电子束束斑检测装置，包括：所述的对中调节工装中的调节支撑筒及若干调节组件；若干层光阑片，由下至上依次叠放在调节支撑筒内部，所述光阑片的中心处开设有中心孔；检测装置支架，设置在调节支撑筒下方，并与调节支撑筒同轴心设置；接收装置。
[0012]可选的，所述光阑片上开设有若干定位孔，所述光阑片的每一定位孔的下方分别放置有外径大于定位孔内径的垫环；所述光阑片通过穿过定位孔及垫环的锁紧螺钉定位至所述检测装置支架上。
[0013]对中调节方法，所述方法基于所述的对中调节工装进行，包括以下步骤：S1.将调节支撑筒定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；S2.将一层光阑片定位至调节支撑筒内部；S3.通过图像拍摄机构对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；S4.图像拍摄机构将图像信息反馈至显示机构，建立坐标系，通过该层光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对该层光阑片所需调节的方向；S5.根据步骤S4中该层光阑片所需调节的方向，通过调节组件对该层光阑片进行水平方位的调节，以使该层光阑片与检测装置支架同轴心；而后将该层光阑片锁紧定位；S6.将下一层光阑片放置到上一层光阑片上，重复进行步骤S3
‑
S5，直至将所有的光阑片进行对中调节并安装。
[0014]可选的，所述步骤S4包括以下步骤：显示机构将检测装置支架的内径投影的圆作为基准，检测装置支架的内径投影圆的圆心作为原点坐标，与该层光阑片同平面的一组调节孔所在位置作为X轴和Y轴基准，建立坐标系；该层光阑片的圆心坐标与原点坐标进行比对，进而判断该层光阑片所需调节的方向。
[0015]本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的对中调节工装，通过图像拍摄机构进行图像的拍摄，而后将图像
信息传递至显示机构，通过显示机构内部建立的坐标系来判断光阑片所需调节的方向，最后通过调节组件对光阑片进行水平方位的微动调节，以实现电子束束斑检测装置的精密装配。本专利技术为用于扫描电子显微镜电子束束斑检测装置的精密装配工装，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节光阑片的位置，能够确保该工装的安装精度满足使用要求，极大地提高了装配精度，一个工装具有调节和检测的目的，提高了电子束束斑检测装置检测的准确性。
[0016]2.本专利技术提供的对中调节工装，每一组调节孔分别包括Y轴负向调节孔、Y轴正向调节孔、X轴负向调节孔和X轴正向调节孔，根据光阑片所在位置的偏差，观察到光阑片进行Y轴方向和X轴方向的调节量，对调节组件的调节能够进行Y轴方向和X轴方向的调节，以保证光阑片能够调节至所需的位置。
[0017]3.本专利技术提供的对中调节工装，将各组调节孔由上至下分别交错设置，避免了上下各层调节组件之间会发生干涉。
[0018]4.本专利技术提供的对中调节方法，显示机构是以每一组调节孔所在位置作为X轴和Y轴基准，分别建立坐标系的，即安装每一层光阑片时分别进行建立一次坐标系，实现对光阑片进行X轴方向及Y轴方向上的调节，提升调节的准确性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术对中调节工装的结构示意图。
[0021]图2为本专利技术对中调节工装的爆炸图。
[002本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.对中调节工装，其特征在于，所述工装用于电子束束斑检测装置精密装配的对中调节；所述工装包括：调节支撑筒（4），所述调节支撑筒（4）的底端定位设置在检测装置支架（5）上并与检测装置支架（5）同轴心设置，所述调节支撑筒（4）的内部对若干光阑片（3）进行支撑定位；所述调节支撑筒（4）的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片（3）同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在所述调节支撑筒（4）上方，用于对光阑片（3）及检测装置支架（5）的图像进行拍摄；显示机构，用于接收所述图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片（3）的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片（3）所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部，用于根据光阑片（3）所需调节的方向对光阑片（3）进行水平方位的调节，以使光阑片（3）与检测装置支架（5）同轴心。2.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，每一组调节孔分别包括Y轴负向调节孔、Y轴正向调节孔、X轴负向调节孔和X轴正向调节孔，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，X轴负向调节孔和X轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔之间的连线同X轴负向调节孔和X轴正向调节孔之间的连线垂直。3.根据权利要求2所述的对中调节工装，其特征在于，各组调节孔由上至下分别交错设置；所述显示机构是以每一组调节孔所在位置作为X轴和Y轴基准，分别建立坐标系的。4.根据权利要求1至3任意一项所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节组件包括配装设置在调节孔内的调节顶丝。5.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述图像拍摄机构包括：相机支架（2），可拆卸设置在调节支撑筒（4）上；所述相机支架（2）上开设有与检测装置支架（5）同轴心的相机定位孔；CCD相机，定位设置在相机定位孔内。6.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节支撑筒（4）的内圆周侧壁底部一体设置有对光阑片...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，尹贻恒，孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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