对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法，所述工装包括：调节支撑筒，所述调节支撑筒的底端定位设置在检测装置支架上并与检测装置支架同轴心设置；所述调节支撑筒的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在调节支撑筒上方，用于对光阑片及检测装置支架的图像进行拍摄；显示机构，用于接收图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部。本发明专利技术能够用于精密装配，使用方便，能够提供微米级检测精度，可以精确调节，能极大地提高装配精度。地提高装配精度。地提高装配精度。

【技术实现步骤摘要】
对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法


[0001]本专利技术涉及电子束检测装置
，具体涉及一种对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法。

技术介绍

[0002]扫描电镜是电子光学仪器，利用电子源发射电子束，然后聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。
[0003]在扫描电镜的使用过程中，电子源作用是发射电子束，电子束的质量直接影响扫描电子显微镜的成像质量。在对电子束进行衡量和评价时，需要运用到电子束束斑检测装置。电子束束斑检测装置主要由若干光阑片、一个检测装置支架和一个接收装置组成，电子束透过光阑照射在接收装置上，光阑与支架之间的同轴度要求较高。但是常规装配工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.对中调节工装，其特征在于，所述工装用于电子束束斑检测装置精密装配的对中调节；所述工装包括：调节支撑筒（4），所述调节支撑筒（4）的底端定位设置在检测装置支架（5）上并与检测装置支架（5）同轴心设置，所述调节支撑筒（4）的内部对若干光阑片（3）进行支撑定位；所述调节支撑筒（4）的周向外侧壁上由上至下间隔开设有若干组调节孔，每一组调节孔分别与一光阑片（3）同平面设置；图像拍摄机构，可拆卸设置在所述调节支撑筒（4）上方，用于对光阑片（3）及检测装置支架（5）的图像进行拍摄；显示机构，用于接收所述图像拍摄机构拍摄的图像信息，并建立坐标系，通过光阑片（3）的图像在坐标系中的位置来判断对光阑片（3）所需调节的方向；若干调节组件，分别设置在各调节孔内部，用于根据光阑片（3）所需调节的方向对光阑片（3）进行水平方位的调节，以使光阑片（3）与检测装置支架（5）同轴心。2.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，每一组调节孔分别包括Y轴负向调节孔、Y轴正向调节孔、X轴负向调节孔和X轴正向调节孔，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，X轴负向调节孔和X轴正向调节孔关于调节支撑筒轴心相对设置，Y轴负向调节孔与Y轴正向调节孔之间的连线同X轴负向调节孔和X轴正向调节孔之间的连线垂直。3.根据权利要求2所述的对中调节工装，其特征在于，各组调节孔由上至下分别交错设置；所述显示机构是以每一组调节孔所在位置作为X轴和Y轴基准，分别建立坐标系的。4.根据权利要求1至3任意一项所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节组件包括配装设置在调节孔内的调节顶丝。5.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述图像拍摄机构包括：相机支架（2），可拆卸设置在调节支撑筒（4）上；所述相机支架（2）上开设有与检测装置支架（5）同轴心的相机定位孔；CCD相机，定位设置在相机定位孔内。6.根据权利要求1所述的对中调节工装，其特征在于，所述调节支撑筒（4）的内圆周侧壁底部一体设置有对光阑片...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，尹贻恒，孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：