【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种晶圆盒锁定装置及晶圆盒。
技术介绍
1、半导体制造工厂中，晶圆通常需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，设备前端装置至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(front opening unified pod，foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(load port)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车移至装载端口前，通过人工或机械将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆并输送至机台进行相应的制程，待晶圆加工处理后，再由操作机械手将晶圆收纳至晶圆盒内。
2、往往在晶圆盒上会设置盒盖板，以对传输到晶圆盒内的晶圆进行保护，现有技术中公开有一种晶圆盒输送装载系统，包括气缸组件、解锁连接件、钥匙安装座、钥匙、轴承安装座、钥匙支撑基轴、转动轴承，所述轴承安装座固定或可转动地安装在所述支撑板上，所述气缸组件的尾部与所述支撑板连接，所述气缸组件的头部与所述解锁连接件的一端连接，所述解锁连接件的另一端与所述钥匙安装座连接，所述钥匙于所述钥匙安装座连接，所述钥匙安装座安装在所述轴承安装座上，这种结构在钥匙对钥匙支撑基轴操作后，才能通过气缸组件将盒盖板和晶圆盒打开，这样由于多工序操作会降低设备的操作效率，同时，由于现有的装载系统结构复杂，成本较高，因此亟需一种新型晶圆盒锁定装置。
技术实现思路
2、为实现上述目的，本技术提供了一种晶圆盒锁定装置，包括设于晶圆盒本体上的盒盖板，以及锁定部，其中，
3、所述锁定部包括设于所述晶圆盒本体上的锁定槽、设于所述盒盖板上的安装座、设于所述安装座的锁孔内的钥匙、推拉杆，以及锁杆，其中，
4、所述锁杆通过所述推拉杆与所述安装座连接，旋拧所述钥匙，所述安装座旋转并通过所述推拉杆带着所述锁杆向所述锁定槽内或外运动，以实现所述晶圆盒本体与所述盒盖板的锁定或解锁。
5、可选的，所述锁定部还包括螺纹杆，所述螺纹杆活动设于所述盒盖板上，且所述螺纹杆的一端与所述锁杆连接，所述螺纹杆的另一端与所述推拉杆的一端铰接，所述推拉杆的另一端与所述安装座铰接。
6、可选的，所述锁定部设有两组，其中，每组所述锁定部内所述螺纹杆的数量为两个，两个所述螺纹杆以所述安装座为中心呈中心对称设置。
7、可选的，还包括定滑轮，以及一端与所述定滑轮转动连接，另一端与所述盒盖板连接的支撑杆，其中，所述定滑轮上设置有n个齿牙，n为正整数，所述定滑轮通过所述齿牙与所述螺纹杆啮合。
8、可选的，单一所述螺纹杆对应设置有m个所述定滑轮，m为正整数。
9、可选的，所述锁定部设有一组，其中，所述锁定部内所述螺纹杆的数量为四个，四个所述螺纹杆以所述安装座为中心呈环状设置。
10、可选的，所述锁杆外设置有第一封堵部。
11、可选的，还包括密封部，所述密封部设于所述晶圆盒本体和/或所述盒盖板上，且所述密封部设于所述晶圆盒本体和所述盒盖板之间。
12、可选的，还包括顶起部，其中，所述顶起部包括可与所述盒盖板相抵接的顶杆，以及一端与所述顶杆连接，另一端连接在所述晶圆盒本体上的弹性件。
13、可选的，所述弹性件为复位弹簧或伸缩组件。
14、可选的，所述伸缩组件包括伸缩杆、伸缩筒和伸缩弹簧，所述伸缩杆活动插接在伸缩筒内，所述伸缩弹簧缠绕设于所述伸缩杆外，所述伸缩弹簧的两端分别固定连接在所述伸缩杆的侧壁上和所述伸缩筒的外侧壁上。
15、可选的，为实现上述目的，本技术还提供了一种晶圆盒，包括晶圆盒本体、与所述晶圆盒本体连接的盒盖板，以及所述的晶圆盒锁定装置。
16、本技术的有益效果如下：
17、本技术中通过简化了锁定部的结构，既降低了设备的成本，又提高了设备的操作效率，具体地，通过旋拧所述钥匙，安装座旋转并通过推拉杆带着锁杆向锁定槽内或外运动，以实现所述晶圆盒本体与所述盒盖板的锁定或解锁，这样在操作钥匙的同时，即可实现锁定或解锁的过程，从而减少了操作工序，缩短了操作时间，提高了设备的操作效率。
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1.一种晶圆盒锁定装置，其特征在于，包括设于晶圆盒本体上的盒盖板，以及锁定部，其中，
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述锁定部还包括螺纹杆，所述螺纹杆活动设于所述盒盖板上，且所述螺纹杆的一端与所述锁杆连接，所述螺纹杆的另一端与所述推拉杆的一端铰接，所述推拉杆的另一端与所述安装座铰接。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述锁定部设有两组，其中，每组所述锁定部内所述螺纹杆的数量为两个，两个所述螺纹杆以所述安装座为中心呈中心对称设置。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括定滑轮，以及一端与所述定滑轮转动连接，另一端与所述盒盖板连接的支撑杆，其中，所述定滑轮上设置有N个齿牙，N为正整数，所述定滑轮通过所述齿牙与所述螺纹杆啮合。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，单一所述螺纹杆对应设置有M个所述定滑轮，M为正整数。
6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述锁定部设有一组，其中，所述锁定部内所述螺纹杆的数量为四个，四个所述螺纹杆以所述安装座为中心呈环状设置。
7.根据权利要
8.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，还包括密封部，所述密封部设于所述晶圆盒本体和/或所述盒盖板上，且所述密封部设于所述晶圆盒本体和所述盒盖板之间。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，还包括顶起部，其中，所述顶起部包括可与所述盒盖板相抵接的顶杆，以及一端与所述顶杆连接，另一端连接在所述晶圆盒本体上的弹性件。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述弹性件为复位弹簧或伸缩组件。
11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述伸缩组件包括伸缩杆、伸缩筒和伸缩弹簧，所述伸缩杆活动插接在伸缩筒内，所述伸缩弹簧缠绕设于所述伸缩杆外，所述伸缩弹簧的两端分别固定连接在所述伸缩杆的侧壁上和所述伸缩筒的外侧壁上。
12.一种晶圆盒，其特征在于，包括晶圆盒本体、与所述晶圆盒本体连接的盒盖板，以及如权利要求1至11中任一项所述的晶圆盒锁定装置。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒锁定装置，其特征在于，包括设于晶圆盒本体上的盒盖板，以及锁定部，其中，
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述锁定部还包括螺纹杆，所述螺纹杆活动设于所述盒盖板上，且所述螺纹杆的一端与所述锁杆连接，所述螺纹杆的另一端与所述推拉杆的一端铰接，所述推拉杆的另一端与所述安装座铰接。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述锁定部设有两组，其中，每组所述锁定部内所述螺纹杆的数量为两个，两个所述螺纹杆以所述安装座为中心呈中心对称设置。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括定滑轮，以及一端与所述定滑轮转动连接，另一端与所述盒盖板连接的支撑杆，其中，所述定滑轮上设置有n个齿牙，n为正整数，所述定滑轮通过所述齿牙与所述螺纹杆啮合。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，单一所述螺纹杆对应设置有m个所述定滑轮，m为正整数。
6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述锁定部设有一组，其中，所述锁定部内所述螺纹杆的数量为四个，四个所述螺纹杆以所述安装座为中...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨文卿，于佩玉，张宁，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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