【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其涉及一种喷嘴孔径测量装置。
技术介绍
1、高密度等离子体(hdp)机台工艺是在腔体处于高温环境下，通过对特定的工艺气体在等离子体增强条件下在硅片表面进行化学气相沉积形成薄膜。该hdp机台工艺的特点是成膜速度快，薄膜均匀度好，填洞能力强。其机台上的喷嘴的上部与气体集流器连通，下部连接腔体，作用是用来平衡气流，使得气体更均匀地通到腔体内。
2、高密度等离子体机台日常监控测量晶圆的厚度时经常会有晶圆各测量点的厚度范围或产品内联范围超过正常范围的情况,在配方无法调节改善的情况下，就需要对设备降温以更换不同孔径的喷嘴,从而控制气体流向晶圆的流量。12寸晶圆的喷嘴的本体上设置有相关孔径尺寸的标识，但8寸晶圆的喷嘴没有相关孔径尺寸的标识。在更换喷嘴时会存在以下问题：(1)根据监测到的分布图盲调喷嘴，费时费力；(2)只能简单通过肉眼比较喷嘴孔径尺寸，在喷嘴更换数量较多时，易出错；(3)喷嘴长期使用孔径会越来越小，会导致已知喷嘴的孔径尺寸不精确，如12寸晶圆的喷嘴上标识的孔径尺寸与实际尺寸存在误差；(4)若更换的喷嘴孔径尺寸不对，则需多次开腔，更换喷嘴至少需要耗费4个小时，重新进行监测数据又需要耗费4个小时，导致机台正常运行没有保障。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种喷嘴孔径测量装置，结构简单，测量简单方便，提高了工程师的工作效率，减少了开腔次数，避免了喷嘴频繁更换造成的不必要磨损，喷嘴孔径测量准确度高，可实现喷嘴在使用过程中的磨损程度的监控，改善了晶圆各
2、为实现上述目的，本技术的所述喷嘴孔径测量装置包括装置本体和压力表；所述装置本体设有供气管路、气体流出接口和气体流入接口；所述供气管路用于通入测量气体，所述气体流出接口和所述气体流入接口与喷嘴连通以构成闭合回路；所述压力表包括测量部，所述测量部设置于所述气体流出接口和所述气体流入接口中的至少一个以测量流经所述喷嘴的气体流量。
3、本技术的所述喷嘴孔径测量装置的有益效果在于：通过所述供气管路用于通入测量气体，所述气体流出接口和所述气体流入接口与喷嘴连通以构成闭合回路，使得测量气体能流经喷嘴；通过所述测量部设置于所述气体流出接口和所述气体流入接口中的至少一个以测量流经所述喷嘴的气体流量，使得通过简单的比对不同喷嘴的气体流量即可判断出不同喷嘴的孔径大小，亦可以根据测量得到的喷嘴的气体流量换算出喷嘴的具体孔径尺寸，测量简单方便，提高了工程师的工作效率，减少了开腔次数，避免了喷嘴频繁更换造成的不必要磨损，喷嘴孔径测量准确度高，可实现喷嘴在使用过程中的磨损程度的监控，大大提高了晶圆沉积时的准确性，有利于提高调试晶圆各测量点的厚度范围的快捷性和准确性，改善了晶圆各测量点的厚度范围异常及晶圆均匀性欠佳的问题，且减少不必要的更换，提高机台正常的运行时长，可节约成本，也可提高设备的稳定性，产品的安全性等。
4、优选的，所述气体流出接口连接所述喷嘴的出气口，所述气体流入接口连接所述喷嘴的进气口，所述测量部包括进气流量测量部和出气流量测量部，所述进气流量测量部设置于所述气体流入接口以测量流经所述喷嘴的进气口的气体流量，所述出气流量测量部设置于所述气体流出接口以测量流经所述喷嘴的出气口的气体流量。其有益效果在于：通过比对喷嘴的进气口的气体流量和喷嘴的出气口的气体流量，可及时发现测量是否存在误差，即喷嘴孔径测量装置实现了自校，提高了测量数据的可信度。
5、优选的，所述喷嘴孔径测量装置还包括密封件，所述密封件包覆于所述气体流出接口与所述喷嘴的连接处，以及所述气体流入接口与所述喷嘴的连接处。其有益效果在于：以保证所述喷嘴与所述气体流出接口和所述气体流入接口连接处的气密性，有利于提高测量的准确性。
6、优选的，所述喷嘴孔径测量装置还包括用于固定所述喷嘴的固定件，所述固定件固定设置于所述装置本体。其有益效果在于：保证在测量喷嘴孔径时使所述喷嘴保持稳定，以避免喷嘴因通入气体而晃动不稳造成测量误差。
7、优选的，所述压力表还包括显示部和控制部，所述控制部分别与所述显示部、所述进气流量测量部和所述出气流量测量部电连接，所述显示部用于显示所述喷嘴的进气口的气体流量和所述喷嘴的出气口的气体流量。其有益效果在于：气体流量可通过所述显示部自动读出，一目了然，简单方便，实用性强。
8、优选的，所述供气管路的压力为60～80pa。其有益效果在于：该压力范围满足不同孔径的喷嘴的测量，且能保证每次测量时供应的测量气体的流量相同，有利于换算计算喷嘴的孔径。
9、优选的，所述固定件包括夹持部，所述夹持部包括第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相适配以夹紧或松开所述喷嘴。其有益效果在于：使得夹紧或松开所述喷嘴操作简单方便，节省了更换喷嘴的时间。
10、进一步优选的，所述夹持部包括活动设置的第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相向运动或背向运动以夹紧或松开所述喷嘴。其有益效果在于：使得夹紧或松开所述喷嘴操作更简单方便，节省了更换喷嘴的时间。
11、优选的，所述夹持部设有2个，2个所述夹持部分别夹持于所述喷嘴靠近进气口的位置和所述喷嘴靠近出气口的位置。其有益效果在于：使所述喷嘴夹紧得更为稳定牢固，有利于减少测量误差。
12、优选的，所述第一夹持臂包括第一c型活动夹，所述第二夹持臂包括第二c型活动夹，所述第一c型活动夹的开口端和所述第二c型活动夹的开口端相对设置以构成夹持所述喷嘴的容纳部。其有益效果在于：c型活动夹结构简单，使用简单方便，喷嘴夹紧稳定牢固。
13、优选的，所述密封件包括第一密封套和第二密封套，所述第一密封套活动套设于所述气体流出接口，且所述第一密封套于所述气体流出接口与所述喷嘴的连接处旋紧固定以实现密封，所述第二密封套活动套设于所述气体流入接口，且所述第二密封套于所述气体流入接口与所述喷嘴的连接处旋紧固定以实现密封。其有益效果在于：密封操作简单方便，节省了更换喷嘴的时间。
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1.一种喷嘴孔径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述气体流出接口连接所述喷嘴的出气口，所述气体流入接口连接所述喷嘴的进气口，所述测量部包括进气流量测量部和出气流量测量部，所述进气流量测量部设置于所述气体流入接口以测量流经所述喷嘴的进气口的气体流量，所述出气流量测量部设置于所述气体流出接口以测量流经所述喷嘴的出气口的气体流量。
3.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，还包括密封件，所述密封件包覆于所述气体流出接口与所述喷嘴的连接处，以及所述气体流入接口与所述喷嘴的连接处。
4.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，还包括用于固定所述喷嘴的固定件，所述固定件固定设置于所述装置本体。
5.根据权利要求2所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述压力表还包括显示部和控制部，所述控制部分别与所述显示部、所述进气流量测量部和所述出气流量测量部电连接，所述显示部用于显示所述喷嘴的进气口的气体流量和所述喷嘴的出气口的气体流量。
6.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测
7.根据权利要求4所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述固定件包括夹持部，所述夹持部包括第一夹持臂和第二夹持臂，所述第一夹持臂和所述第二夹持臂相适配以夹紧或松开所述喷嘴。
8.根据权利要求7所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述夹持部设有2个，2个所述夹持部分别夹持于所述喷嘴靠近进气口的位置和所述喷嘴靠近出气口的位置。
9.根据权利要求7所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述第一夹持臂包括第一C型活动夹，所述第二夹持臂包括第二C型活动夹，所述第一C型活动夹的开口端和所述第二C型活动夹的开口端相对设置以构成夹持所述喷嘴的容纳部。
10.根据权利要求3所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述密封件包括第一密封套和第二密封套，所述第一密封套活动套设于所述气体流出接口，且所述第一密封套于所述气体流出接口与所述喷嘴的连接处旋紧固定以实现密封，所述第二密封套活动套设于所述气体流入接口，且所述第二密封套于所述气体流入接口与所述喷嘴的连接处旋紧固定以实现密封。
...【技术特征摘要】
1.一种喷嘴孔径测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述气体流出接口连接所述喷嘴的出气口，所述气体流入接口连接所述喷嘴的进气口，所述测量部包括进气流量测量部和出气流量测量部，所述进气流量测量部设置于所述气体流入接口以测量流经所述喷嘴的进气口的气体流量，所述出气流量测量部设置于所述气体流出接口以测量流经所述喷嘴的出气口的气体流量。
3.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，还包括密封件，所述密封件包覆于所述气体流出接口与所述喷嘴的连接处，以及所述气体流入接口与所述喷嘴的连接处。
4.根据权利要求1所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，还包括用于固定所述喷嘴的固定件，所述固定件固定设置于所述装置本体。
5.根据权利要求2所述的喷嘴孔径测量装置，其特征在于，所述压力表还包括显示部和控制部，所述控制部分别与所述显示部、所述进气流量测量部和所述出气流量测量部电连接，所述显示部用于显示所述喷嘴的进气口的气体流量和所述喷嘴的出气口的气体流量。
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玺均，韩利伟，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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