一种离子注入机用气体箱制造技术

本实用新型专利技术涉及气体箱领域，且公开了一种离子注入机用气体箱，包括气体箱本体，气体箱本体的顶端固定设有排气管，气体箱本体的一侧固定设有进气管，进气管外壁的一端固定设有第一连接圆环，本实用新型专利技术通过设有捏柱，拉动两个捏柱，两个捏柱移动带动两个第一移动杆移动，两个第一移动杆移动带动两个固定块移动，两个固定块移动带动两个安装块移动，两个安装块移动带动四个连接杆转动，四个连接杆转动分别带动四个第二移动杆相向移动，四个第二移动杆相向移动带动四个连接块移动，四个连接块移动对四个弹簧进行拉伸，四个连接块移动带动四个卡杆移动，通过这种方式便于拆卸和安装连接管，无需将连接管从注入机内部进行拆卸，操作便捷，省时省力。省时省力。省时省力。

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机用气体箱


[0001]本技术涉及气体箱领域，具体为一种离子注入机用气体箱。

技术介绍

[0002]离子注入机是集成电路制造前工序中的关键设备，离子注入机广泛用于掺杂工艺，可以满足浅结、低温和精准控制等要求，已经成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。
[0003]在现有生活中，传统的离子注入机气体箱与注入机本体一侧通过进气管固定连接在一起，而传统装置上的气体连接管无法单独拆卸，当气体箱内部出现问题时，需要将连接管先从注入机本体内部进行拆卸，在将气体箱分隔开进行检测维修，整个拆卸过程较为繁琐，费时费力。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种离子注入机用气体箱，具有便于拆卸和安装连接管优点，解决了连接管无法单独拆卸的问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现上述便于拆卸和安装连接管的目的，本技术提供如下技术方案：一种离子注入机用气体箱，包括气体箱本体，所述气体箱本体的顶端固定设有排气管，所述气体箱本体的一侧固定设有进气管，所述进气管外壁的一端固定设有第一连接圆环，所述第一连接圆环一侧的两端均开设有卡槽，两个所述卡槽分别和两个卡块卡合连接，两个所述卡块分别固定设置在第二连接圆环一侧的两端，所述第二连接圆环固定设置在连接管外壁的一端。
[0008]优选的，所述第一连接圆环一侧的中部开设有圆槽，所述圆槽和卡环卡合连接，所述卡环固定设置在第二连接圆环一侧的中部。
[0009]优选的，所述第二连接圆环另一侧的两端分别和两个第一移动杆的外壁穿插连接，两个所述第一移动杆的一端分别固定设有两个固定块，两个所述固定块的一侧分别固定设有两个安装块，两个所述安装块的底端分别转动设有四个连接杆，四个所述连接杆的一端分别与四个第二移动杆外壁的一侧转动连接，四个所述第二移动杆的一端分别固定设有四个连接块，四个所述连接块的一侧分别固定设有四个卡杆，四个所述卡杆外壁的一侧分别与两个卡块的两侧穿插连接。
[0010]优选的，两个所述第一移动杆的另一侧分别固定设有两个捏柱。
[0011]优选的，四个所述第二移动杆外壁的另一侧分别与四个杆座的一侧穿插连接，四个所述杆座的底端分别固定设置在两个卡块内部一侧的两端。
[0012]优选的，四个所述卡杆外壁的另一侧分别套设有四个弹簧，四个所述弹簧的一侧分别固定设置在四个连接块的一侧，四个所述弹簧的另一侧分别固定设置在两个卡块内部
两边侧。
[0013]（三）有益效果
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种离子注入机用气体箱，具备以下有益效果：
[0015]1、该离子注入机用气体箱，通过设有捏柱，拉动两个捏柱，两个捏柱移动带动两个第一移动杆移动，两个第一移动杆移动带动两个固定块移动，两个固定块移动带动两个安装块移动，两个安装块移动带动四个连接杆转动，四个连接杆转动分别带动四个第二移动杆相向移动，四个第二移动杆相向移动带动四个连接块移动，四个连接块移动对四个弹簧进行拉伸，四个连接块移动带动四个卡杆移动，通过这种方式便于拆卸和安装连接管，无需将连接管从注入机内部进行拆卸，操作便捷，省时省力。
[0016]2、该离子注入机用气体箱，通过在第一连接圆环一侧的中部开设有圆槽，圆槽和卡环卡合连接，卡环固定设置在第二连接圆环一侧的中部，通过这种方式增加连接管和进气管连接的气密性。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术的第二连接圆环结构示意图；
[0019]图3为本技术的第二连接圆环内部示意图。
[0020]图中：1、气体箱本体；2、排气管；3、进气管；4、第一连接圆环；5、圆槽；6、卡槽；7、卡块；8、第二连接圆环；9、卡环；10、连接管；11、第一移动杆；12、捏柱；13、固定块；14、安装块；15、连接杆；16、第二移动杆；17、杆座；18、连接块；19、卡杆；20、弹簧。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
3，本技术提供了一种离子注入机用气体箱的技术方案：
[0023]根据图1
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3所示，包括气体箱本体1，气体箱本体1的顶端固定设有排气管2，气体箱本体1的一侧固定设有进气管3，进气管3外壁的一端固定设有第一连接圆环4，第一连接圆环4一侧的两端均开设有卡槽6，卡槽6内部的两侧开设有卡孔，卡孔和卡杆19相匹配，两个卡槽6分别和两个卡块7卡合连接，两个卡块7分别固定设置在第二连接圆环8一侧的两端，卡块7和第二连接圆环8内部连通，第二连接圆环8固定设置在连接管10外壁的一端，第一连接圆环4一侧的中部开设有圆槽5，圆槽5和卡环9卡合连接，卡环9固定设置在第二连接圆环8一侧的中部，第二连接圆环8另一侧的两端分别和两个第一移动杆11的外壁穿插连接，两个第一移动杆11的一端分别固定设有两个固定块13，两个固定块13的一侧分别固定设有两个安装块14，两个安装块14的底端分别转动设有四个连接杆15，四个连接杆15的一端分别与四个第二移动杆16外壁的一侧转动连接，四个第二移动杆16的一端分别固定设有四个连接块18，四个连接块18的一侧分别固定设有四个卡杆19，四个卡杆19外壁的一侧分别与两
个卡块7的两侧穿插连接，两个第一移动杆11的另一侧分别固定设有两个捏柱12，四个第二移动杆16外壁的另一侧分别与四个杆座17的一侧穿插连接，四个杆座17的底端分别固定设置在两个卡块7内部一侧的两端，四个卡杆19外壁的另一侧分别套设有四个弹簧20，四个弹簧20的一侧分别固定设置在四个连接块18的一侧，四个弹簧20的另一侧分别固定设置在两个卡块7内部两边侧。
[0024]在使用时，本技术一种离子注入机用气体箱，拆卸连接管10时，首先将两个捏柱12向外拉动，两个捏柱12移动带动两个第一移动杆11移动，两个第一移动杆11移动带动两个固定块13移动，两个固定块13移动带动两个安装块14移动，两个安装块14移动带动四个连接杆15转动，四个连接杆15转动分别带动四个第二移动杆16相向移动，四个第二移动杆16相向移动使得四个第二移动杆16的外壁与四个杆座17穿插连接，同时，四个第二移动杆16相向移动带动四个连接块18移动，四个连接块18移动对四个弹簧20进行拉伸，四个连接块18移动带动四个卡杆19移动，至四个卡杆19一端位于两个卡块7内部，然后移动第二连接圆环8，使之与第一连接圆环4分开，第一连接圆环4和第二连接圆环8分开，卡环9和卡槽6也随之分开。
[0025]综上所述，该离子注入机用气体箱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机用气体箱，包括气体箱本体（1），其特征在于，所述气体箱本体（1）的顶端固定设有排气管（2），所述气体箱本体（1）的一侧固定设有进气管（3），所述进气管（3）外壁的一端固定设有第一连接圆环（4），所述第一连接圆环（4）一侧的两端均开设有卡槽（6），两个所述卡槽（6）分别和两个卡块（7）卡合连接，两个所述卡块（7）分别固定设置在第二连接圆环（8）一侧的两端，所述第二连接圆环（8）固定设置在连接管（10）外壁的一端。2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用气体箱，其特征在于：所述第一连接圆环（4）一侧的中部开设有圆槽（5），所述圆槽（5）和卡环（9）卡合连接，所述卡环（9）固定设置在第二连接圆环（8）一侧的中部。3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用气体箱，其特征在于：所述第二连接圆环（8）另一侧的两端分别和两个第一移动杆（11）的外壁穿插连接，两个所述第一移动杆（11）的一端分别固定设有两个固定块（13），两个所述固定块（13）的一侧分别固定设有两个安装块（14），两个所述安装块...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈维，
申请(专利权)人：无锡凯世通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：