本实用新型专利技术涉及离子注入机技术领域，尤其是一种用于离子注入机的检测装置，所述外筒的上方固定插接有连接圈，所述外筒的下方固定焊接有靶室，所述滑动口的内部通过滑动结构安装有滑动仓，所述外筒的一侧通过转动结构安装有两个盖板，所述滑动口的内部安装有限位结构，所述滑动仓的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽，所述限位结构位于凹槽的内部，所述外筒的内部对称固定焊机有安装环，所述安装环的相对侧插接有移动圈，所述支撑圈的上方固定插接有法拉第杯。此装置设计合理，通过滑动仓和盖板的设置，从而使得在需要检测离子时能够方便的更换滑动仓，并且能够方便法拉第杯的更换，方便了人们使用。方便了人们使用。方便了人们使用。
【技术实现步骤摘要】
一种用于离子注入机的检测装置
[0001]本技术涉及离子注入机领域，尤其涉及一种用于离子注入机的检测装置。
技术介绍
[0002]现有技术中的离子注入机为了提高工作质量，需要在扫描盘上安装法拉第杯，在离子注入机中设置电流测量机构，法拉第杯所接收到的所述离子束的多少不同，使得转化的电流的大小不同，所述电流测量单元对转化的电流的大小进行检测，从而可以快速判断出离子束与扫描盘相对注入角度的偏离程度并可以将偏离信息及时反馈回控制端进行调整，为了方便法拉第杯的快速接入和更换，提高检测的工作效率，为此，本技术提出一种用于离子注入机的检测装置用于解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于离子注入机的检测装置。
[0004]为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：一种用于离子注入机的检测装置，包括外筒，所述外筒的上方固定插接有连接圈，所述连接圈的上方螺纹连接有离子发散环，所述外筒的下方固定焊接有靶室，所述外筒的中间部分开设有滑动口，所述滑动口的内部通过滑动结构安装有滑动仓，所述外筒的一侧通过转动结构安装有两个盖板，所述盖板位于滑动仓的上下，所述滑动口的内部安装有限位结构，所述滑动仓的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽，所述限位结构位于凹槽的内部，所述外筒的内部对称固定焊机有安装环，所述安装环的相对侧插接有移动圈，所述移动圈位于安装环内部的一侧宽度增加并且固定焊接有第一弹簧，所述第一弹簧的另一端固定焊接于安装环的内部，所述移动圈位于滑动仓一端的内部，所述滑动仓另一端内的底部固定焊接有支撑圈，所述支撑圈的上方固定插接有法拉第杯。
[0005]优选的，所述滑动结构包括多个第二滑动条，所述第二滑动条均为圆心相同的弧形，所述第二滑动条固定焊接于滑动口的上下内壁，所述滑动仓的顶端和底部均开设有与第二滑动条相对应的滑动槽，所述滑动条位于滑动槽的内部。
[0006]优选的，所述转动结构包括第一滑动条，所述第一滑动条弧度焊接于外筒的外圈，所述第一滑动条的两端设有宽度增加的挡块，所述第一滑动条的外圈宽度增加并且位于盖板的内部。
[0007]优选的，所述限位结构包括移动块，所述移动块放置于外筒的内部，所述移动块的内部通过转动环转动安装有转轴，所述转轴的外圈套设有转动圈，所述转动圈的一侧位于移动块一端的内部，所述移动块的另一端固定焊接有多个第二弹簧的一端，所述第二弹簧的另一端与外筒的内部固定焊接。
[0008]优选的，所述滑动仓一端的内部设有与移动圈外圈尺寸相同的通口，所述移动圈的外侧设有密封层。
[0009]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：本装置能够在需要检测离子注入机的离子发射量时，推动滑动仓，使得滑动仓的另一端被推动进入外筒的内部，将滑动仓内部的法拉第杯连接入移动圈的内部，使得法拉第杯能够测量离子发射机的发射量，方便了操作的进行。
附图说明
[0010]图1为本技术的结构示意图；
[0011]图2为本技术的图1中A处局部放大后的结构示意图；
[0012]图3为本技术的图1中B处局部放大后的结构示意图；
[0013]图4为本技术的部分结构剖面后的结构示意图；
[0014]图5为本技术的图4中C处局部放大后的结构示意图；
[0015]图6为本技术的图4中D处局部放大后的结构示意图。
[0016]图中：离子发散环1、连接圈2、外筒3、靶室4、滑动口5、滑动仓6、盖板7、第一滑动条8、第二滑动条9、滑动槽10、凹槽11、安装环12、支撑圈13、法拉第杯14、移动圈15、第一弹簧16、移动块17、转动圈18、转轴19、第二弹簧20。
具体实施方式
[0017]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。
[0018]如图1
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6所示的一种用于离子注入机的检测装置，包括外筒3，外筒3的上方固定插接有连接圈2，连接圈2的上方螺纹连接有离子发散环1，外筒3的下方固定焊接有靶室4，外筒3的中间部分开设有滑动口5，滑动口5的内部通过滑动结构安装有滑动仓6，滑动结构包括多个第二滑动条9，第二滑动条9均为圆心相同的弧形，第二滑动条9固定焊接于滑动口5的上下内壁，滑动仓6的顶端和底部均开设有与第二滑动条9相对应的滑动槽10，滑动条9位于滑动槽10的内部，外筒3的一侧通过转动结构安装有两个盖板7，转动结构包括第一滑动条8，第一滑动条8弧度焊接于外筒3的外圈，第一滑动条8的两端设有宽度增加的挡块，第一滑动条8的外圈宽度增加并且位于盖板7的内部，盖板7位于滑动仓6的上下。
[0019]实施方式具体为：离子发散环1向装置的内部发射离子，连接圈2连接外筒3和离子发散环1，外筒3能将检测装置安装在内部，靶室4能够完成离子发射后的下一工作步骤，滑动口5使得滑动仓6能够在内部滑动转换，滑动仓6能够安装变换通口和法拉第杯14，盖板7能够防止滑动仓6的另一端外露，第一滑动条8能够使得盖板7转动，使得盖板7转动后方便法拉第杯14的更换，第二滑动条9能够与滑动槽10配合使得滑动仓6的滑动轨迹固定，使之在滑动口5的内部滑动。
[0020]滑动口5的内部安装有限位结构，限位结构包括移动块17，移动块17放置于外筒3的内部，移动块17的内部通过转动环转动安装有转轴19，转轴19的外圈套设有转动圈18，转动圈18的一侧位于移动块17一端的内部，移动块17的另一端固定焊接有多个第二弹簧20的一端，第二弹簧20的另一端与外筒3的内部固定焊接，滑动仓6的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽11，限位结构位于凹槽11的内部，外筒3的内部对称固定焊机有安装环12，安装环12的相对侧插接有移动圈15，移动圈15位于安装环12内部的一侧宽度增加并且固定
焊接有第一弹簧16，第一弹簧16的另一端固定焊接于安装环12的内部，移动圈15位于滑动仓6一端的内部，滑动仓6另一端内的底部固定焊接有支撑圈13，支撑圈13的上方固定插接有法拉第杯14。
[0021]实施方式具体为：凹槽11能够使得滑动仓6滑动转换后固定，安装环12能够支撑移动圈15，支撑圈13支撑法拉第杯14，法拉第杯14能够检测离子发射量，移动圈15能够在滑动仓6转换后插接入滑动仓6的内部起到密封的作用，第一弹簧16将移动圈15挤压方便插接进入滑动仓6的内部，移动块17能够带动转动圈18的移动，转动圈18能够在滑动仓6转换的时候滑动，方便滑动仓6的转换，并且能够在转换完成后与凹槽11配合使之固定，转轴19能够方便转动圈18的转动，第二弹簧20能够将转动圈18推动进入凹槽11的内部。
[0022]本技术工作原理：
[0023]参照说明书附图1
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6所示，离子发散环1向外发射离子，经过连接圈2进入外筒3的内部并进入靶室4工作，在不需要检测时连接滑动仓6的一端本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于离子注入机的检测装置，包括外筒(3)，其特征在于，所述外筒(3)的上方固定插接有连接圈(2)，所述连接圈(2)的上方螺纹连接有离子发散环(1)，所述外筒(3)的下方固定焊接有靶室(4)，所述外筒(3)的中间部分开设有滑动口(5)，所述滑动口(5)的内部通过滑动结构安装有滑动仓(6)，所述外筒(3)的一侧通过转动结构安装有两个盖板(7)，所述盖板(7)位于滑动仓(6)的上下，所述滑动口(5)的内部安装有限位结构，所述滑动仓(6)的两端侧壁开设有与限位结构相对应的凹槽(11)，所述限位结构位于凹槽(11)的内部，所述外筒(3)的内部对称固定焊机有安装环(12)，所述安装环(12)的相对侧插接有移动圈(15)，所述移动圈(15)位于安装环(12)内部的一侧宽度增加并且固定焊接有第一弹簧(16)，所述第一弹簧(16)的另一端固定焊接于安装环(12)的内部，所述移动圈(15)位于滑动仓(6)一端的内部，所述滑动仓(6)另一端内的底部固定焊接有支撑圈(13)，所述支撑圈(13)的上方固定插接有法拉第杯(14)。2.根据权利要求1所述的一种用于离子注入机的检测装置，其特征在于，所述滑动结构包括多个第二滑动条(9)，所述第二滑动条(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：林亚金，赵剑锋，
申请(专利权)人：广州宽恒信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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