一种芯片制造真空设备用定位机构制造技术

技术编号:27949104 阅读:40 留言:0更新日期:2021-04-02 14:34
本实用新型专利技术公开了一种芯片制造真空设备用定位机构,包括安装架,所述安装架内底部设置有底板,所述安装架与底板之间通过开设槽安装有减震弹簧,所述底板顶部一侧通过螺栓安装有一号定位机构,所述底板顶部另一侧通过开设槽安装有滑轨,所述滑轨顶部设置有安装板,所述安装板顶部通过螺栓安装有二号定位机构,所述底板顶部表面通过开设槽安装有泡沫垫,所述底板顶部位于一号定位机构一端通过螺丝安装有离子风机,所述离子风机的出风端位于泡沫垫表面。本实用新型专利技术一种芯片制造真空设备用定位机构,适合被广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片制造真空设备用定位机构
本技术涉及芯片制造
,特别涉及一种芯片制造真空设备用定位机构。
技术介绍
芯片,一般是指集成电路的载体,也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果,通常是一个可以立即使用的独立的整体,芯片对生产加工的精度要求极高,因此在加工时要对芯片进行定位。目前市场上存在的芯片定位装置种类繁多、功能丰富,但是也存在以下不足:1、芯片在生产移动过程中会振动,对芯片造成影响,2、装置无法根据芯片的大小进行调整使用,3、芯片加工过程中易产生静电,给后续加工带来不便,为此,我们提出一种芯片制造真空设备用定位机构。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种芯片制造真空设备用定位机构,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种芯片制造真空设备用定位机构,包括安装架,所述安装架内底部设置有底板,所述安装架与底板之间通过开设槽安装有减震弹簧,所述底板顶部一侧通过螺栓安装有一号定位机构,所述底板顶部另一侧通过开设槽安装有滑轨,所述滑轨顶部设置有安装板,所述安装板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片制造真空设备用定位机构,包括安装架(1),其特征在于:所述安装架(1)内底部设置有底板(3),所述安装架(1)与底板(3)之间通过开设槽安装有减震弹簧(5),所述底板(3)顶部一侧通过螺栓安装有一号定位机构(6),所述底板(3)顶部另一侧通过开设槽安装有滑轨(8),所述滑轨(8)顶部设置有安装板(9),所述安装板(9)顶部通过螺栓安装有二号定位机构(7),所述底板(3)顶部表面通过开设槽安装有泡沫垫(4),所述底板(3)顶部位于一号定位机构(6)一端通过螺丝安装有离子风机(13),所述离子风机(13)的出风端位于泡沫垫(4)表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片制造真空设备用定位机构,包括安装架(1),其特征在于:所述安装架(1)内底部设置有底板(3),所述安装架(1)与底板(3)之间通过开设槽安装有减震弹簧(5),所述底板(3)顶部一侧通过螺栓安装有一号定位机构(6),所述底板(3)顶部另一侧通过开设槽安装有滑轨(8),所述滑轨(8)顶部设置有安装板(9),所述安装板(9)顶部通过螺栓安装有二号定位机构(7),所述底板(3)顶部表面通过开设槽安装有泡沫垫(4),所述底板(3)顶部位于一号定位机构(6)一端通过螺丝安装有离子风机(13),所述离子风机(13)的出风端位于泡沫垫(4)表面。


2.根据权利要求1所述的一种芯片制造真空设备用定位机构,其特征在于:所述减震弹簧(5)数量为多个,所述安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵剑锋
申请(专利权)人:广州宽恒信息科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1