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本实用新型公开了一种芯片制造真空设备用定位机构，包括安装架，所述安装架内底部设置有底板，所述安装架与底板之间通过开设槽安装有减震弹簧，所述底板顶部一侧通过螺栓安装有一号定位机构，所述底板顶部另一侧通过开设槽安装有滑轨，所述滑轨顶部设置有安装...
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