离子注入机大盘振动感知互锁系统技术方案

本发明专利技术公开了一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，包括：振动传感器，该振动传感器设置在离子注入机上，用于获得离子注入机的振动信号；振动控制器，该振动控制器与振动传感器通讯地连接，以及互锁控制盒子，该互锁控制盒子与振动控制器以及离子注入机的旋转控制器连接，用于接收振动控制器发出的控制信号，并根据控制信号控制旋转控制器的工作状态。本发明专利技术提出的离子注入机大盘振动感知互锁系统可以实时监控离子注入机大盘的振动是否出现异常，并实现在异常情况下自动停机，以防止晶片掉落造成的危害的扩大。掉落造成的危害的扩大。掉落造成的危害的扩大。

【技术实现步骤摘要】
离子注入机大盘振动感知互锁系统


[0001]本专利技术涉及半导体器件制造
，尤其涉及一种离子注入机大盘振动感知互锁系统。

技术介绍

[0002]目前，在半导体器件制造中，离子注入工艺是十分重要的工艺环节。离子注入机是一种在真空系统下，完成将离子注入到晶片的设备。该设备具备离子注入子系统和靶室传片子系统。由传片子系统将晶片送上靶台，靶台将其送到注入子系统中进行离子注入。
[0003]Batch type(批处理)离子注入机，每一圈包含13片晶片，靶台-大盘正常装载或卸载晶片的传送过程中及在植入前均存在双重确认传感器确认晶片实际物理位置是否正确，然后大盘开始加速到1200rmp，开始Y-扫描植入过程。但此流程有时会出现异常，那就是离子注入机大盘在加速中或植入过程中出现晶片掉落现象。一旦出现此问题，机台无探测机制，大盘会继续进行旋转和Y-扫描过程，使得掉落的晶片在机台内绞成颗粒并污染整个机台内部空间，将导致晶片掉落造成的灾害扩大。
[0004]在现有技术中，人们通过振动仪器去测量大盘的平衡配重，但是无法对大盘的振动进行实时监控，晶片掉落问题无法被预防和及时发现，使得晶片掉落造成的灾害扩大。
[0005]因此，如何及时发现并防止晶片掉落的灾害进一步扩大，是目前亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]为克服上述现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，可以实时监控大盘的振动是否出现异常，增加对异常情况自动停机的功能。
[0007]为达上述及其它目的，本专利技术提出一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，包括：
[0008]振动传感器，该振动传感器设置在离子注入机上，用于获得离子注入机的振动信号；
[0009]振动控制器，该振动控制器与振动传感器通讯地连接，以及
[0010]互锁控制盒子，该互锁控制盒子与振动控制器以及离子注入机的旋转控制器连接，用于接收振动控制器发出的控制信号，并根据该控制信号控制旋转控制器的工作状态。
[0011]根据本专利技术的一些实施例，振动控制器包括了显示器以及操作系统。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，显示器实时显示振动信号。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，操作系统设置有振动阈值，当监测到振动信号高于该振动阈值时，会向互锁控制盒子发送控制信号。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，互锁控制盒子包括了控制部和警报部。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，控制部基于接收到的控制信号锁定旋转控制器。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，警报部包括LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置基于接收到的控制信号触发，并锁定警报状态。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，旋转控制器具有转速传感器，用于检测离子注入机的转动速度。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，离子注入机大盘振动感知互锁系统还包括手动控制部，该手动控制部用来解除旋转控制器的锁定状态以及警报装置的警报锁定状态。
[0020]与现有技术相比，本专利技术离子注入机大盘振动感知互锁系统的主要技术特征在于在离子注入机外部连接振动传感互锁系统，通过在离子注入机的外柱上连接振动传感器，传感器将振动信号传递到振动控制器中以对振动信号实时监控和实时显示，当振动信号高于振动控制器中所设置的阈值时，便可声光警报并且向旋转控制器发送互锁信号，以实现Y-扫描和旋转的自动停止，使离子注入机自动停机。从而，避免晶片掉落的危害扩大。
附图说明
[0021]图1为本专利技术提供的离子注入机大盘振动感知互锁系统的示意图。
具体实施方式
[0022]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本专利技术实施例进一步详细说明。
[0023]需要说明的是，本专利技术实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本专利技术实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
[0024]基于上述目的，本专利技术实施例提出了一种离子注入机大盘振动感知互锁系统。
[0025]附图1示出的是本专利技术提供的离子注入机大盘振动感知互锁系统的示意图。如图1所示，在本专利技术的实施例中，离子注入机101优选为Batch type离子注入机，在本实施例中，离子注入机101的靶台-大盘9上每一圈包含13片晶片10，大盘9正常装载或卸载晶片10的传送过程中及在植入前在确认传感器确认晶片实际物理位置是否正确后，然后大盘开始加速到1200rmp，并开始Y-扫描植入过程。可以理解的是，其他类型的离子注入机同样可以适用于本申请的技术方案。
[0026]在上述状态下，旋转过程的振动达到平衡。当在晶片10植入或者大盘9旋转的过程中，有时会出现一个或者多个晶片10的掉落。当晶片10掉落后，若不停止机台的运行，将会导致晶片10破碎并继续在大盘9中随着大盘的运动继续翻绞，并最终污染整个大盘9的内部。为此本专利技术提供了离子注入机大盘振动感知互锁系统102以解决上述技术问题。
[0027]虚线框中为本专利技术提供的离子注入机大盘振动感知互锁系统102，该离子注入机大盘振动感知互锁系统102包括了振动传感器1、振动控制器2，以及互锁控制盒子3。
[0028]优选地，振动传感器1设置在离子注入机101的机柱5上，用于实时获得离子注入机101的振动信号6，可以理解的是，振动传感器1还可以设置在离子注入机的能够感测振动的其他部件上，而不限于上述实施例中的机柱5。
[0029]振动控制器2与振动传感器1通讯地连接，振动传感器1将从离子注入机101上获得的振动信号6实时传递给振动控制器2。
[0030]优选地，振动控制器2还可以包括显示器以及操作系统。其中，振动控制器2中的显示器实时地显示从振动传感器1接收到的振动信号6；振动控制器2中的操作系统可以设置振动阈值，当监测到振动信号6高于所设置的振动阈值时，该振动控制器2中的操作系统会向互锁控制盒子3发送控制信号7。
[0031]互锁控制盒子3与振动控制器2以及离子注入机101的旋转控制器4连接，互锁控制盒子3接收振动控制器2发出的控制信号7，并根据该控制信号7控制旋转控制器4的工作状态，包括但不限于降低转速、停机等。
[0032]优选地，互锁控制盒子3包括了控制部和警报部。互锁控制盒子3的控制部基于接收到的控制信号7锁定旋转控制器4；互锁控制盒子3的警报部包括但不限于LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置。
[0033]优选地，互锁控制盒子3的警报部中的LED灯警报装置和/或蜂鸣器警报装置基于接收到的控制信号7触发，并锁定警报状态。
[0034]优选地，旋转控制器4具有转速传感器，用于检测离子注入机101的转动速度。
[0035]优选地，离子注入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，包括：振动传感器，所述振动传感器设置在所述离子注入机上，用于获得所述离子注入机的振动信号；振动控制器，所述振动控制器与所述振动传感器通讯地连接，以及互锁控制盒子，所述互锁控制盒子与所述振动控制器以及所述离子注入机的旋转控制器连接，用于接收所述振动控制器发出的控制信号，并根据所述控制信号控制所述旋转控制器的工作状态。2.根据权利要求1所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述振动控制器包括了显示器以及操作系统。3.根据权利要求2所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述显示器实时显示振动信号。4.根据权利要求2所述的离子注入机大盘振动感知互锁系统，其特征在于，所述操作系统设置振动阈值，当监测到所述振动信号高于所述振动阈值时，向所述互锁控制盒子发送控制信号。5.根据权利要求4所述的离子注入机大盘振动感知互锁系...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建圣，何伟，
申请(专利权)人：和舰芯片制造苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：