本发明涉属于电镀装置技术领域，具体是一种分区阳极电镀装置，包括加工框，所述加工框的内部设置有两个分别位于加工框内部前后两侧的区分组件，区分组件包括底板，底板的顶部壁面开设有多个安装槽，多个安装槽的内部均放置有导电条，底板的顶部壁面设置有...

本发明涉及晶圆电镀领域，公开了一种晶圆电镀液循环温控系统，包括外循环桶、内循环桶、循环机构、升温箱、第二温控管以及蓄液池，外循环桶、内循环桶与循环机构联动用于电镀液的循环，使得需要作业的电镀液内不存在气泡，从而保证电镀液的稳定性和镀层质...

本发明公开了一种晶圆用车间储存设备，包括安装箱与晶圆块，安装箱的内壁设置有放置机构，放置机构包括可移动的放置架，安装箱靠近放置架的内壁上端设置有取拿机构，取拿机构包括上下移动的取料板，放置架的上端设置有放置槽，放置槽中放置有放置箱，放置...

本发明涉及半导体封装技术领域，公开了一种半导体封装抓取机械手，包括底座，底座的顶部设置有定位机构，定位机构包括第二摆臂，第二摆臂的顶部转动连接有安装架，定位机构的顶部设置有真空泵，真空泵固定安装在安装架的顶部，真空泵的输出端固定连接有气...

本发明属于半导体制造稳压设备技术领域，具体为一种涂胶显影设备的稳压装置，包括安装箱，安装箱出气结构的内部设置有稳定输出气体的稳压机构，气杆上气压传动的进气端设置有调节推动气杆移动气压大小的控制机构，控制机构包括增加气压的调节管与传动机构...

本发明涉及镀镍钯金技术领域，且公开了一种硅片的化学镀镍钯金装置，包括镀箱主体和位于镀箱主体内的挂篮，镀箱主体上端两侧均固定安装有U型架，两个U型架之间转动设置有控制挂篮移动的收纳机构，本发明通过在镀箱主体内滑动连接的矩形框上端转动设置密...

本发明公开了一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置，涉及晶圆生产技术领域，包括基座，所述基座的顶部外壁一侧固定安装有清洗箱，且清洗箱内设置有多个清洗池，所述基座表面靠近清洗箱的一侧固定安装有回形轨槽，还包括悬挑架和装料组件；本发明当活动卡块能够...

本发明公开了一种晶圆镀液的快速降温设备，涉及晶圆镀液降温技术领域，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管。本发明通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，...

本发明公开了一种耐腐蚀的晶圆化镀方法，涉及晶圆化镀技术领域，具体包括以下步骤：在对超薄聚甲基丙烯酸薄膜进行加强预处理的过程中，释放出的电子被重氮盐所捕获，重氮阳离子被电子还原成硝基苯自由基，进而引发接枝反应。硝基苯自由基接枝到聚甲基丙烯...

本发明公开了一种高均匀度的晶圆化镀前处理方法，涉及晶圆化镀技术领域，具体包括以下步骤：针对晶圆表面污渍的不同，在前处理过程中，进行了两次的清洗，从而可以有效的去除晶圆表面残留的油污和灰尘颗粒，使得清洗处理后的晶圆表面清洗均匀且晶圆表面无...

本发明公开了一种晶圆均匀电镀设备，涉及晶圆电镀技术领域，包括基座，所述基座的表面固定有电镀槽箱，且电镀槽箱靠近底部的一端开设有底腔，还包括靠板和混液组件，所述靠板设置在电镀槽箱的开口处，靠板的底端两侧均开设有预留通口，且靠板的一侧与电镀...

本实用新型涉及晶圆装载盒领域，尤其是兼容型晶圆装载盒。该晶圆装载盒包括挂耳板、上卡板、下卡板、侧面板、地脚板，两个相互平行的挂耳板、两个相互平行的上卡板、两个相互平行的下卡板、两个相互平行的地脚板均可拆卸的固定连接在两个相互平行的侧面板...

本实用新型涉及抓取机领域，尤其是天车抓取机。该抓取机包括机壳、夹爪转动轴、转动轴旋转机构、旋转角度感应机构、夹爪、产品感应器，所述机壳上转动有两根相互平行的夹爪转动轴，机壳内安装有两个转动轴旋转机构和两个旋转角度感应机构，转动轴旋转机构...

本实用新型涉及挂具领域，尤其是阴极挂具。该挂具包括固定板、盖板、导电机构、导电片一、导电片二、导电片三、产品定位槽，所述固定板上可拆卸的固定连接有盖板，导电机构固定在固定板的夹层内，导电机构的端头露出固定板，导电片一与导电片二分别与导电...

本实用新型涉及摆动机领域，尤其是产品摆动机。该摆动机包括底座、偏心往复机构、导杆、上固定座、产品支座、产品传感器，所述底座安装有用于抬升导杆的偏心往复机构，导杆滑配连接在上固定座上，导杆顶端固定有产品支座，上固定座上固定有产品传感器。本...

本实用新型涉及夹具领域，尤其是带边框夹具。该夹具包括框体、横梁、夹持部、横向导轮组、纵向导轮组，所述框体内固定有两条相互平行的横梁，横梁上依次安装有数个夹持部，框体的上下两侧分别安装有横向导轮组和纵向导轮组。本实用新型通过框体上设置上下...

本实用新型涉及摇摆装置领域，尤其是用于化学渡槽的摇摆装置。该摇摆装置包括放置架、导向机构、基座、转杆、转杆旋转机构、转盘和偏心轮，所述基座通过导向机构与放置架滑配连接在一起，转杆转动连接在基座底部，转杆旋转机构连接在基座和转杆之间，两个...

本实用新型涉及晶圆加工装置领域，尤其是一种双面自动拆装晶圆装置。该装置包括底板、旋转台、晶圆搬运机构、挂具定位框、基座、基座水平直线移动机构、吸盘、吸盘转动机构、支架翻转机构、支架，所述底板上安装有旋转台和晶圆搬运机构，旋转台上固定有挂...

本发明涉及一种晶圆化学镀前处理方法，包括首先将表面完成电镀钯金属的晶圆放置于载具内，然后将载具放置超声波清洗机上的清洗槽内；在超声波清洗机上的清洗槽内注入清水，此时清水的高度高于载具的高度，清水的量具体为60到80升；然后超声波清洗机开...

本发明涉及晶圆搬运装置领域，尤其是一种悬浮式晶圆定位装置。该装置包括圆形盆体、上盘体、底板、气囊，所述圆形盆体的环状边沿处设有环形定位槽，环形定位槽内设有数个吸孔，圆形盆体位于上盘体和底板之间，圆形盆体和底板之间设有气囊，上盘体和底板通...