【技术实现步骤摘要】
一种晶圆化学镀前处理方法
[0001]本专利技术涉及活化前处理领域,具体涉及一种晶圆化学镀前处理方法。
技术介绍
[0002]在生产过程中需要在晶圆上化镀一层镍金属,在化镀镍金属之前需要对晶圆进行活化处理,活化处理就是在晶圆的铜金属分布的表面上再次镀一层钯金属用于增加铜金属表面的活化程度,提高化镀镍金属时的活化程度。
[0003]在活化过程中由于部分钯金属化镀在铜金属线路上和两个铜金属线路之间,形成不规则的钯金属镀层,在活化后化镀镍金属的过程中化镀液内的镍离子会化镀在不规则的钯金属化镀层的外侧,造成晶圆上镍金属的分布不均匀,并且活化后会有部分活化药水残留,从而产生镀镍异常,现在急需要解决这一问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是:提供一种晶圆化学镀前处理方法,解决以上问题。
[0005]为了实现上述目的,本专利技术提供如下的技术方案:
[0006]一种晶圆化学镀前处理方法,其特征在于:其制作方法为:
[0007]a)首先将钯金属镀在晶圆的表面上,此时晶圆表面残留部分药水;
[0008]b)先将表面完成镀钯金属的晶圆放置于载具内,然后将载具放置超声波清洗机上的清洗槽内,所述载具与超声波清洗机的清洗槽侧壁分离;
[0009]c)在超声波清洗机上的清洗槽内注入清水,此时清水的高度高于载具的高度,载具上的晶圆淹没在清洗槽内的清水中,清水的量具体为60到80升;
[0010]d)然后超声波清洗机开始工作对晶圆进行清洗,在此过程中保持1到2分钟 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆化学镀前处理方法,其特征在于:其制作方法为:a)首先将钯金属镀在晶圆的表面上,此时晶圆表面残留部分药液;b)先将表面完成镀钯金属的晶圆放置于载具内,然后将载具放置超声波清洗机上的清洗槽内,所述载具与超声波清洗机的清洗槽侧壁分离;c)在超声波清洗机上的清洗槽内注入清水,此时清水的高度高于载具的高度,载具上的晶圆淹没在清洗槽内的清水中,清水的量具体为60到80升;d)然后超声波清洗机开始工作对晶圆进行清洗,在此过程中保持1到2分钟的清洗时间;e)最后清洗结束...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈云利,王健,李军,周志强,
申请(专利权)人:苏州尊恒半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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