一种晶圆镀液的快速降温设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆镀液的快速降温设备，涉及晶圆镀液降温技术领域，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管。本发明专利技术通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，冷却箱将水冷却后通过出水管和从动管导入连接管内，然后通过转动管和进水管流回水箱内，进而能够对晶圆镀液进行循环水冷，通过风冷单元的设置，旋叶转动能够将晶圆镀液推送固定筒的顶部，然后晶圆镀液从固定筒的出料口排出进入出料通道上，实现了对晶圆镀液进行翻料，使得晶圆镀液的出料过程能够充分与空气接触，配合转动扇叶104对晶圆镀液的吹风散热，从而提高了对晶圆镀液进行冷却效果。进行冷却效果。进行冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆镀液的快速降温设备


[0001]本专利技术涉及晶圆镀液降温
，尤其是涉及一种晶圆镀液的快速降温设备。

技术介绍

[0002]晶圆化镀设备在化镀时要先将化镀液配比好，然后利用加热机加热至指定温度后进行化镀。需要更换化镀液时，由于化镀液温度过高，直接排放的话会损坏管路，所以需要将化镀液降温后再排放。
[0003]公开号为CN212640606U的中国专利，公开了一种晶圆镀液的快速降温系统，包括镀液槽，镀液槽内循环管道，热交换器，加热机，压缩空气进入口，压缩空气管道，纯水入口，纯水管道，循环泵，控制阀，所述镀液槽与镀液槽内循环管道连通，镀液槽内循环管道上设有换热分支管道和循环排放分支管道，换热分支管道与热交换器连通，循环泵位于换热分支管道上；管道上设有控制阀；所述加热机与热交换器通过管道连接。
[0004]但是上述专利技术存在以下不足之处：现有的晶圆镀液的快速降温设备，大多数采用水循环冷却的方式对晶圆镀液进行降温，而水循环冷却的过程中，冷却液无法与晶圆镀液进行充分接触，导致单一的水冷无法高效的对晶圆镀液进行降温，从而对晶圆镀液的降温效果不理想。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种晶圆镀液的快速降温设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]本专利技术的技术方案是：一种晶圆镀液的快速降温设备，包括固定槽，所述固定槽的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管和从动管，还包括；
[0007]连接管，所述连接管位于所述固定槽内，所述连接管的两端分别与所述转动管和所述从动管相互靠近的一端固定连接；
[0008]快速冷却机构，所述快速冷却机构位于所述固定槽上，所述快速冷却机构用于对晶圆镀液进行冷却；
[0009]所述快速冷却机构包括风冷单元、驱动单元和循环冷却单元，所述风冷单元固定连接于所述固定槽一侧内壁的固定筒，所述固定筒的顶部开设有活动孔，所述活动孔内转动连接有转动杆，所述转动杆上固定套接有螺旋叶，所述螺旋叶位于所述固定筒内，所述转动杆的顶部固定连接有转动扇叶，所述固定筒的圆柱外侧壁固定连接有出料通道，所述固定筒的内壁开设有出料口，所述出料口位于所述出料通道的顶端位置，所述固定筒的圆柱外侧壁固定连接有导料板，所述导料板位于所述出料通道的出料端，所述转动杆的底端与所述从动管上均键连接有锥齿轮，两个所述锥齿轮相啮合。
[0010]优选的，所述循环冷却单元包括转动连接于所述转动杆另一端的进水管，所述固定槽的一侧固定连接有水箱和冷却箱，所述进水管的一端固定连通于所述水箱的一侧，所述水箱的一侧设有水泵，所述水泵的出水端固定连接有固定管，所述固定管的一端固定连
通于所述冷却箱的一侧，所述从动管的另一端转动连接有出水管，所述出水管的一端固定连通于所述冷却箱的另一侧。
[0011]优选的，所述驱动单元包括固定连接于所述固定槽一侧的驱动电机，所述驱动电机的输出端与所述转动管上均键连接有转动齿轮，两个所述转动齿轮相啮合。
[0012]优选的，所述从动管的圆柱外侧壁固定连接有固定杆，所述固定杆的顶端开设有滑动槽，所述滑动槽内均滑动连接有活动杆，所述活动杆的顶端侧壁开设有固定孔，所述固定孔内固定连接有固定插销，所述滑动槽内均设有复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别与所述固定杆以及所述活动杆固定连接。
[0013]优选的，所述固定槽的一侧固定连接有L形块，所述L形块的一侧开设有卡槽，所述固定插销于所述卡槽相适配。
[0014]优选的，所述从动管与所述转动杆上共同转动连接有防护壳，所述防护壳的两侧均固定连接有L形杆，两个所述L形杆的顶端均固定连接于所述固定筒的底部。
[0015]优选的，所述转动管与所述从动管相互靠近的一端共同固定连接有两个连接杆，所述从动管与所述转动管上均固定套接有T形块，两个所述T形块的一端分别固定连接于所述固定槽的两侧。
[0016]优选的，所述连接管的形状呈“波浪形”，所述连接管上固定连接有多个导热盘。
[0017]优选的，所述出料通道的形状呈“螺旋状”，所述导料板的形成呈“扇形”，所述导料板上开设有多个漏料孔。
[0018]本专利技术通过改进在此提供一种晶圆镀液的快速降温设备，与现有技术相比，具有如下改进及优点：
[0019]其一：本专利技术通过风冷单元的设置，驱动电机通过两个转动齿轮带动转动管、连接杆、连接管和从动管进行转动，从动管转动通过两个锥齿轮带动转动杆、螺旋叶和转动扇叶进行转动，螺旋叶转动能够将晶圆镀液推送固定筒的顶部，然后晶圆镀液从固定筒的出料口排出进入出料通道上，由于出料通道的形状呈螺旋状，能够延缓晶圆镀液流动的速度，使得晶圆镀液通过出料通道的过程中与空气接触的时间更长，进而能够充分散热，而转动扇叶对出料通道进行吹风，从而使得晶圆镀液快速进行散热，晶圆镀液通过出料通道进入导料板时，由于导料板的形状呈扇叶，提高了晶圆镀液的铺平的效果，通过导料板上漏料孔的设计，使得晶圆镀液通过漏料孔形成水滴状落入固定槽内，进而增大了晶圆镀液与空气的接触面积。
[0020]其二：本专利技术通过循环冷却单元的设置，水泵将水箱中的水抽出并通过固定管导入冷却箱内，冷却箱将水冷却后通过出水管和从动管导入连接管内，使得冷水能够对连接管进行冷却，通过连接管的冷水进行换热过程变成热水，然后通过转动管和进水管流回水箱内，进而能够对晶圆镀液进行循环水冷。
[0021]其三：本专利技术通过驱动单元的设置，驱动电机通过两个转动齿轮带动转动管进行转动，转动管转动带动连接杆、连接管和从动管进行转动，连接管转动增大了连接管与晶圆镀液的接触范围，并且转动的连接管能够对晶圆镀液进行搅拌，进而能够对晶圆镀液进行均匀冷却，由于连接管的形状呈波浪形，增大了连接管与晶圆镀液的接触面积，配合导热盘的导热作用，从而提高了对晶圆镀液的冷却效果。
[0022]其四：本专利技术不需要对晶圆镀液进行冷却时，活动杆能够与固定杆组合成伸缩杆，
用手握着固定插销带动活动杆进行移动，使得伸缩杆伸长，活动杆移动带动复位弹簧伸长并发生弹性形变，转动固定插销带动从动管、连接管、连接杆和转动管进行转动，直至固定插销转动至卡槽的位置，松开固定插销，复位弹簧不受外力带动活动杆、固定插销进行复位，使得固定插销进入卡槽内，这时连接管呈水平状态，实现了水平状态的连接管不会影响晶圆进行镀液。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术中整体立体的结构示意图；
[0025]图2为本专利技术中固定槽内部立体的结构示意图；
[0026]图3为本专利技术中另一视角整体立体的结构示意图；
[0027]图4为本专利技术中固定筒内部立体的结构示意图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆镀液的快速降温设备，包括固定槽(1)，其特征在于：所述固定槽(1)的两侧内壁均开设有转动孔，两个所述转动孔内分别转动连接有转动管(2)和从动管(201)，还包括；连接管(202)，所述连接管(202)位于所述固定槽(1)内，所述连接管(202)的两端分别与所述转动管(2)和所述从动管(201)相互靠近的一端固定连接；快速冷却机构，所述快速冷却机构位于所述固定槽(1)上，所述快速冷却机构用于对晶圆镀液进行冷却；所述快速冷却机构包括风冷单元、驱动单元和循环冷却单元，所述风冷单元固定连接于所述固定槽(1)一侧内壁的固定筒(101)，所述固定筒(101)的顶部开设有活动孔，所述活动孔内转动连接有转动杆(102)，所述转动杆(102)上固定套接有螺旋叶(103)，所述螺旋叶(103)位于所述固定筒(101)内，所述转动杆(102)的顶部固定连接有转动扇叶(104)，所述固定筒(101)的圆柱外侧壁固定连接有出料通道(106)，所述固定筒(101)的内壁开设有出料口(105)，所述出料口(105)位于所述出料通道(106)的顶端位置，所述固定筒(101)的圆柱外侧壁固定连接有导料板(107)，所述导料板(107)位于所述出料通道(106)的出料端，所述转动杆(102)的底端与所述从动管(201)上均键连接有锥齿轮(109)，两个所述锥齿轮(109)相啮合。2.根据权利要求1所述的一种晶圆镀液的快速降温设备，其特征在于：所述循环冷却单元包括转动连接于所述转动杆(102)另一端的进水管(205)，所述固定槽(1)的一侧固定连接有水箱(206)和冷却箱(208)，所述进水管(205)的一端固定连通于所述水箱(206)的一侧，所述水箱(206)的一侧设有水泵，所述水泵的出水端固定连接有固定管(207)，所述固定管(207)的一端固定连通于所述冷却箱(208)的一侧，所述从动管(201)的另一端转动连接有出水管(209)，所述出水管(209)的一端固定连通于所述冷却箱(208)的另一侧。3.根据权利要求2所述的一种晶圆镀液的快速降温设备，其特征在于：所述驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖锦成，陈云利，赵细海，
申请(专利权)人：苏州尊恒半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：