一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备制造技术

技术编号:38228858 阅读:15 留言:0更新日期:2023-07-25 17:58
本发明专利技术公开了一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备,涉及化学涂覆设备领域,包括:第一设备框架层,用于对装置支撑和对涂覆镀覆的镀液进行引流;第二设备框架层,位于第一设备框架层的顶端;第三设备框架层,位于第二设备框架层的顶端;第四设备框架层,位于第三设备框架层的顶端;控制外罩,位于第四设备框架层的顶端;所述第一设备框架层内侧的底部卡接有废液回收盒,所述第一设备框架层顶部的一端卡接有电缆导轨,所述电缆导轨底部的一端固定连接有镀液回收控制阀体。本发明专利技术有益效果是:有利于提高化学镀覆的效率,单口进液和多口进液可任意选用,便于控制化学镀覆时间,便于在镀覆的过程中对镀液进行回收。便于在镀覆的过程中对镀液进行回收。便于在镀覆的过程中对镀液进行回收。

【技术实现步骤摘要】
一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备


[0001]本专利技术涉及化学涂覆设备领域,具体是一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备。

技术介绍

[0002]微波器件更新换代和升级也变得越来越快,微波器件复杂程度也越来越高,对精密制造提出了新的需求。表面处理作为微波器件制造过程中不可或缺的工艺环节,其设备和工艺对微波器件的质量起着不可或缺的作用。
[0003]随着微波器件复杂程度增加,其表面处理难度也随之增加,以多层内腔的高集成缝隙阵列天线为例,由于其十分狭小和复杂的内部结构,导致其内部电磁场被屏蔽,使得电镀工艺失效,无法对多层内腔的高集成缝隙阵列天线的内腔进行电镀处理,只能选用化学镀覆。
[0004]目前在通信领域,使用最广泛的化学镀覆为导电氧化和化学镀金,都是可以再不加电的情况下实现对金属表面镀覆的目的。
[0005]然而针对多层内腔的高集成缝隙阵列天线,由于其内部狭小的结构,以及镀液自身表面张力的影响,使得镀液在多层内腔的高集成缝隙阵列天线内部无法顺畅的流动和镀液交换,流动阻力很大,影响化学镀覆的质量。
[0006]针对这一问题,需要附加外力,来迫使镀液在进入高集成缝隙阵列天线的内腔后,可以进行正常的流动,只要改善了腔内镀液流动,解决镀液浓度和镀液交换问题,将极大提高类似高集成缝隙阵列天线这种有着多层内腔结构的产品的化学镀覆质量。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于:为了解决化学镀覆质量的问题,提供一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备。
[0008]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备,包括:
[0009]第一设备框架层,用于对装置支撑和对涂覆镀覆的镀液进行引流;
[0010]第二设备框架层,位于第一设备框架层的顶端;
[0011]第三设备框架层,位于第二设备框架层的顶端;
[0012]第四设备框架层,位于第三设备框架层的顶端;
[0013]控制外罩,位于第四设备框架层的顶端;
[0014]所述第一设备框架层内侧的底部卡接有废液回收盒,所述第一设备框架层顶部的一端卡接有电缆导轨,所述电缆导轨底部的一端固定连接有镀液回收控制阀体,所述镀液回收控制阀体一端的中部固定连接有第三水嘴接头,所述镀液回收控制阀体一侧的中部固定连接有镀液回收控制电磁阀,所述镀液回收控制电磁阀一侧的外侧可拆卸连接有第五内六角圆柱头螺钉,所述镀液回收控制阀体顶部的一侧旋转连接有第三内六角圆柱头螺钉,
所述第二设备框架层内侧的底端卡接有缝隙阵列天线,所述缝隙阵列天线顶端的中部固定连接有第二导液管,所述第二导液管的顶端固定连接有第二水嘴接头,所述第二水嘴接头的顶端固定连接有第一导液管,所述第一导液管底部的一端卡接有卡箍,所述卡箍顶部的两侧皆旋转连接有第二内六角圆柱头螺钉,所述第一导液管一侧的顶部固定连接有镀液进液控制阀体,所述镀液进液控制阀体外侧的顶端固定连接有第一水嘴接头,所述镀液进液控制阀体的顶部设有镀液进液控制电磁阀,所述镀液进液控制阀体的内侧卡接有镀液进液控制阀芯,所述镀液进液控制阀芯的底端卡接有第一预紧弹簧机构,所述镀液进液控制电磁阀一侧的底部旋转连接有第四内六角圆柱头螺钉,所述镀液进液控制电磁阀的顶端设有第四设备框架层,所述第四设备框架层底端的中部与镀液进液控制阀体顶端的中部固定连接,所述第四设备框架层的顶端固定连接有电路板,所述电路板的一侧设有电磁阀通断显示器,所述电磁阀通断显示器的一端设有水泵电机驱动器,所述第四设备框架层的一侧旋转连接有内六角沉头螺钉,所述镀液进液控制阀体底部的外侧旋转连接有第一内六角圆柱头螺钉,所述电缆导轨的顶端与第四设备框架层底部的一端固定连接,所述第一内六角圆柱头螺钉的底端卡接有第三设备框架层,所述第三设备框架层的底端与第二设备框架层的顶端相互卡接,所述第四设备框架层的顶端卡接有控制外罩。
[0015]作为本专利技术再进一步的方案:所述镀液回收控制阀体的一端固定连接有化学铜溶液回收口,所述化学铜溶液回收口的底端设有导电氧化溶液回收口,所述导电氧化溶液回收口的斜上方设有化学镍溶液回收口,所述化学镍溶液回收口的顶端设有化学金溶液回收口,所述镀液回收控制阀体底部的一侧固定连接有清洗废液回收口。
[0016]作为本专利技术再进一步的方案:所述镀液回收控制阀体内部的顶端滑动连接有镀液回收控制阀芯,所述镀液回收控制阀芯的一端卡接有第二预紧弹簧机构。
[0017]作为本专利技术再进一步的方案:所述水泵电机驱动器一端的底端旋转连接有第八内六角圆柱头螺钉,所述第四设备框架层顶部一端的中部固定连接有镀液进液控制阀电缆,所述镀液进液控制阀电缆的一端设有镀液回收控制阀电缆,所述镀液回收控制阀电缆的一侧设有控制电源,所述控制电源顶部的一侧旋转连接有第六内六角圆柱头螺钉,所述第四设备框架层顶部的一侧旋转连接有第七内六角圆柱头螺钉。
[0018]作为本专利技术再进一步的方案:所述控制外罩的一端设有控制面板,所述控制面板一端的顶端固定连接有液晶显示屏,所述液晶显示屏一侧的顶端设有急停断电按钮,所述急停断电按钮的斜上方设有电源指示灯,所述急停断电按钮的底端设有启动键,所述启动键的底端设有功能选择键,所述功能选择键的底端设有设定程序按钮,所述设定程序按钮的底端设有程序时间设定按键,所述液晶显示屏底部的一侧设有电磁阀通断显示。
[0019]作为本专利技术再进一步的方案:所述电缆导轨与第一设备框架层和第三设备框架层的连接处设有卡箍连接腔,所述卡箍连接腔的外侧与第一设备框架层和第三设备框架层固定连接。
[0020]作为本专利技术再进一步的方案:所述控制外罩顶端的中部固定连接有第一组散热孔,所述控制外罩两侧的底端固定连接有第二组散热孔,所述控制外罩另一端的底部固定连接有耐酸碱水泵控制和电源插口。
[0021]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:有利于提高化学镀覆的效率,单口进液和多口进液可任意选用,便于控制化学镀覆时间,便于在镀覆的过程中对镀液进行回收。
[0022]镀液进液控制电磁阀按设定的程序打开,同时对应的水泵启动,镀液经管路进入镀液进液控制阀体内,通过第一导液管、第二导液管进入缝隙阵列天线,受水泵压力的影响,镀液顺利在缝隙阵列天线腔内流动,最终流出,然后通过第二设备框架层的滤网流入第一设备框架层的漏斗引流槽,进入镀液回收控制阀体内,镀液回收控制阀根据程序设定打开相应阀芯,让镀液流入相应的回收管路,最终形成回收,各槽液往复进行,直到完成化学镀覆。
[0023]镀液进液控制电磁阀有个入口,阀体内部结构为并联结构,阀芯为长闭结构,个入口分别为加热干燥气体进气口、热纯水、氢氧化钠溶液、硝酸溶液、导电氧化溶液、化学镍溶液、化学铜溶液、化学金溶液(具体镀液可根据化学镀覆工艺进行调配),根据化学镀覆工艺的要求,进行选用和排列,可以单口进液也可多口进液,并控制化学镀覆时间。
附图说明
[0024]图1为本专利技术正面立体图的结构示意本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备,包括:第一设备框架层(1),用于对装置支撑和对涂覆镀覆的镀液进行引流;第二设备框架层(2),位于第一设备框架层(1)的顶端;第三设备框架层(3),位于第二设备框架层(2)的顶端;第四设备框架层(4),位于第三设备框架层(3)的顶端;控制外罩(6),位于第四设备框架层(4)的顶端;其特征在于,所述第一设备框架层(1)内侧的底部卡接有废液回收盒(5),所述第一设备框架层(1)顶部的一端卡接有电缆导轨(21),所述电缆导轨(21)底部的一端固定连接有镀液回收控制阀体(22),所述镀液回收控制阀体(22)一端的中部固定连接有第三水嘴接头(23),所述镀液回收控制阀体(22)一侧的中部固定连接有镀液回收控制电磁阀(24),所述镀液回收控制电磁阀(24)一侧的外侧可拆卸连接有第五内六角圆柱头螺钉(34),所述镀液回收控制阀体(22)顶部的一侧旋转连接有第三内六角圆柱头螺钉(32),所述第二设备框架层(2)内侧的底端卡接有缝隙阵列天线(20),所述缝隙阵列天线(20)顶端的中部固定连接有第二导液管(19),所述第二导液管(19)的顶端固定连接有第二水嘴接头(18),所述第二水嘴接头(18)的顶端固定连接有第一导液管(16),所述第一导液管(16)底部的一端卡接有卡箍(17),所述卡箍(17)顶部的两侧皆旋转连接有第二内六角圆柱头螺钉(31),所述第一导液管(16)一侧的顶部固定连接有镀液进液控制阀体(13),所述镀液进液控制阀体(13)外侧的顶端固定连接有第一水嘴接头(15),所述镀液进液控制阀体(13)的顶部设有镀液进液控制电磁阀(14),所述镀液进液控制阀体(13)的内侧卡接有镀液进液控制阀芯(25),所述镀液进液控制阀芯(25)的底端卡接有第一预紧弹簧机构(26),所述镀液进液控制电磁阀(14)一侧的底部旋转连接有第四内六角圆柱头螺钉(33),所述镀液进液控制电磁阀(14)的顶端设有第四设备框架层(4)。2.根据权利要求1所述的一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备,其特征在于,所述第四设备框架层(4)底端的中部与镀液进液控制阀体(13)顶端的中部固定连接,所述第四设备框架层(4)的顶端固定连接有电路板(9),所述电路板(9)的一侧设有电磁阀通断显示器(8),所述电磁阀通断显示器(8)的一端设有水泵电机驱动器(7),所述第四设备框架层(4)的一侧旋转连接有内六角沉头螺钉(29),所述镀液进液控制阀体(13)底部的外侧旋转连接有第一内六角圆柱头螺钉(30),所述电缆导轨(21)的顶端与第四设备框架层(4)底部的一端固定连接,所述第一内六角圆柱头螺钉(30)的底端卡接有第三设备框架层(3),所述第三设备框架层(3)的底端与第二设备框架层(2)的顶端相互卡接,所述第四设备框架层(4)的顶端卡接有控制外罩(6)。3.根据权利要求1所述的一种多波段高集成缝隙阵列天线的多层腔内化学涂覆设备,其特征在于,所述镀液回收控制阀体(22)的一端固定连接有化学铜溶液...

【专利技术属性】
技术研发人员:许府陈江巍张帅匡思锋罗磊
申请(专利权)人:南京驰韵科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:

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