本实用新型专利技术涉及晶圆加工装置领域，尤其是一种双面自动拆装晶圆装置。该装置包括底板、旋转台、晶圆搬运机构、挂具定位框、基座、基座水平直线移动机构、吸盘、吸盘转动机构、支架翻转机构、支架，所述底板上安装有旋转台和晶圆搬运机构，旋转台上固定有挂具定位框和基座水平直线移动机构，基座水平直线移动机构与基座相连，基座滑配连接在旋转台上，基座上安装有支架翻转机构，支架翻转机构与支架相连，支架铰接在基座上，吸盘铰接在支架上。本实用新型专利技术通过晶圆搬运机构将晶圆取放在吸盘上，通过基座水平直线移动机构驱使晶圆水平移动，通过支架翻转机构将吸盘横竖转动。通过吸盘转动机构驱使吸盘轴向旋转。本申请提高了晶圆装卸的效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
一种双面自动拆装晶圆装置
[0001]本技术涉及晶圆加工装置领域，尤其是一种双面自动拆装晶圆装置。
技术介绍
[0002]晶圆在加工的过程中，需要将晶圆安装在挂具内，或是将挂具内的晶圆取出。但是现有的晶圆装卸在挂具上，大多是人工操作完成，因此工作效率较低。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是：为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种双面自动拆装晶圆装置。通过晶圆搬运机构将晶圆取放在吸盘上，通过基座水平直线移动机构驱使晶圆水平移动，通过支架翻转机构将吸盘横竖转动。通过吸盘转动机构驱使吸盘轴向旋转。本申请提高了晶圆装卸的效率。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种双面自动拆装晶圆装置，包括底板、旋转台、晶圆搬运机构、挂具定位框、基座、基座水平直线移动机构、吸盘、吸盘转动机构、支架翻转机构、支架，所述底板上安装有旋转台和晶圆搬运机构，旋转台上固定有挂具定位框和基座水平直线移动机构，基座水平直线移动机构与基座相连，基座滑配连接在旋转台上，基座上安装有支架翻转机构，支架翻转机构与支架相连，支架铰接在基座上，吸盘铰接在支架上，支架上安装有吸盘转动机构，吸盘转动机构与吸盘相连。
[0006]具体地，所述旋转台由转盘、主动同步轮、被动同步轮、同步带、电机一组成，转盘转动连接在底板上，转盘与被动同步轮固定在一起，被动同步轮和主动同步轮均啮合在同步带上，电机一的机体固定在底板上，电机一的输出轴固定在主动同步轮上。
[0007]具体地，所述晶圆搬运机构由支撑架、电机三、支承座、转杆、电机二、双头气缸组成，支撑架上固定有电机三，电机三的输出轴上固定有支承座，支承座上转动连接有转杆，电机二的机体固定在支承座上，电机二的输出轴和转杆尾端均固定有同步轮二，两个同步轮二均啮合在同步带二上，转杆顶端固定有双头气缸，双头气缸的两个活塞杆端均固定有吸盘一，吸盘一上分布有数个吸孔。
[0008]具体地，所述基座水平直线移动机构由滚珠丝杆、丝杆旋转电机组成，丝杆旋转电机的机体固定在旋转台上，丝杆旋转电机的输出轴固定在滚珠丝杆一端，滚珠丝杆的杆体转动连接在旋转台上，滚珠丝杆上的螺母固定在滑块上，滑块固定在基座上。
[0009]具体地，所述吸盘转动机构由电缸、支座、U形件组成，电缸的缸体固定在支架上，电缸的活塞杆固定在支座上，支座铰接在U形件一端，U形件另一端铰接在吸盘底部。
[0010]具体地，所述支架翻转机构由滚珠丝杆二、丝杆旋转电机二、滑块、连杆组成，丝杆旋转电机二的机体固定在基座上，丝杆旋转电机二的输出轴固定在滚珠丝杆二的杆体一端，滚珠丝杆二的螺母固定在滑块上，滑块滑配连接在基座上，连杆一端铰接在滑块上，连杆另一端铰接在支架上。
[0011]具体地，所述挂具定位框上固定有气缸，气缸的活塞杆端固定有吸盘，吸盘位于挂具定位框内，吸盘通过管路与真空发生器相连，该管路上安装有负压传感器。
[0012]具体地，所述挂具定位框侧端依次排列有数个激光传感器。
[0013]本技术的有益效果是：本技术提供了一种双面自动拆装晶圆装置。通过晶圆搬运机构将晶圆取放在吸盘上，通过基座水平直线移动机构驱使晶圆水平移动，通过支架翻转机构将吸盘横竖转动。通过吸盘转动机构驱使吸盘轴向旋转。本申请提高了晶圆装卸的效率。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0015]图1是本技术的第一视角的结构示意图；
[0016]图2是本技术的第二视角的结构示意图；
[0017]图3是本技术的支架翻转机构的结构示意图；
[0018]图中1.底板，2.旋转台，3.晶圆搬运机构，4.挂具定位框，5.基座,6.基座水平直线移动机构，7.吸盘，8.吸盘转动机构，9.支架翻转机构，10.支架，11.气缸，12.激光传感器，21.转盘，22.主动同步轮，23.被动同步轮，24.同步带，25.电机一，31.支撑架，32.电机三，33.支承座，34.转杆，35.电机二，36.双头气缸，81.电缸，82.支座，83.U形件，91.滚珠丝杆二，92.丝杆旋转电机二，93.滑块，94.连杆。
具体实施方式
[0019]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0020]图1是本技术的第一视角的结构示意图；图2是本技术的第二视角的结构示意图；图3是本技术的支架翻转机构的结构示意图。
[0021]如附图1所示，一种双面自动拆装晶圆装置，包括底板1、旋转台2、晶圆搬运机构3、挂具定位框4、基座5、基座水平直线移动机构6、吸盘7、吸盘转动机构8、支架翻转机构9、支架10，所述底板1上安装有旋转台2和晶圆搬运机构3，旋转台2上固定有挂具定位框4和基座水平直线移动机构6，基座水平直线移动机构6与基座5相连，基座5滑配连接在旋转台2上，基座5上安装有支架翻转机构9，支架翻转机构9与支架10相连，支架10铰接在基座5上，吸盘7铰接在支架10上，支架10上安装有吸盘转动机构8，吸盘转动机构8与吸盘7相连。
[0022]如附图2所示，旋转台2由转盘21、主动同步轮22、被动同步轮23、同步带24、电机一25组成，转盘21转动连接在底板1上，转盘21与被动同步轮23固定在一起，被动同步轮23和主动同步轮22均啮合在同步带24上，电机一25的机体固定在底板1上，电机一25的输出轴固定在主动同步轮22上。
[0023]电机一25的输出轴驱使主动同步轮22旋转，主动同步轮22通过同步带24带动被动同步轮23旋转，被动同步轮23则带动转盘21旋转。
[0024]晶圆搬运机构3由支撑架31、电机三32、支承座33、转杆34、电机二35、双头气缸36组成，支撑架31上固定有电机三32，电机三32的输出轴上固定有支承座33，支承座33上转动连接有转杆34，电机二35的机体固定在支承座33上，电机二35的输出轴和转杆34尾端均固
定有同步轮二，两个同步轮二均啮合在同步带二上，转杆34顶端固定有双头气缸36，双头气缸36的两个活塞杆端均固定有吸盘一，吸盘一上分布有数个吸孔。
[0025]电机三32可以驱使支承座33旋转，从而带动双头气缸36来回摆动。电机二35的输出轴带动第一个同步轮二旋转，第一个同步轮二通过同步带二带动第二个同步轮二旋转。第二个同步轮二则通过转杆34带动双头气缸36旋转。双头气缸36两端的活塞杆可以带动两个吸盘一直线移动。
[0026]基座水平直线移动机构6由滚珠丝杆、丝杆旋转电机组成，丝杆旋转电机的机体固定在旋转台2上，丝杆旋转电机的输出轴固定在滚珠丝杆一端，滚珠丝杆的杆体转动连接在旋转台2上，滚珠丝杆上的螺母固定在滑块上，滑块固定在基座5上。
[0027]丝杆旋转电机驱使滚珠丝杆的杆体旋转，滚珠丝杆上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双面自动拆装晶圆装置，其特征是，包括底板(1)、旋转台(2)、晶圆搬运机构(3)、挂具定位框(4)、基座(5)、基座水平直线移动机构(6)、吸盘(7)、吸盘转动机构(8)、支架翻转机构(9)、支架(10)，所述底板(1)上安装有旋转台(2)和晶圆搬运机构(3)，旋转台(2)上固定有挂具定位框(4)和基座水平直线移动机构(6)，基座水平直线移动机构(6)与基座(5)相连，基座(5)滑配连接在旋转台(2)上，基座(5)上安装有支架翻转机构(9)，支架翻转机构(9)与支架(10)相连，支架(10)铰接在基座(5)上，吸盘(7)铰接在支架(10)上，支架(10)上安装有吸盘转动机构(8)，吸盘转动机构(8)与吸盘(7)相连。2.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述旋转台(2)由转盘(21)、主动同步轮(22)、被动同步轮(23)、同步带(24)、电机一(25)组成，转盘(21)转动连接在底板(1)上，转盘(21)与被动同步轮(23)固定在一起，被动同步轮(23)和主动同步轮(22)均啮合在同步带(24)上，电机一(25)的机体固定在底板(1)上，电机一(25)的输出轴固定在主动同步轮(22)上。3.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述晶圆搬运机构(3)由支撑架(31)、电机三(32)、支承座(33)、转杆(34)、电机二(35)、双头气缸(36)组成，支撑架(31)上固定有电机三(32)，电机三(32)的输出轴上固定有支承座(33)，支承座(33)上转动连接有转杆(34)，电机二(35)的机体固定在支承座(33)上，电机二(35)的输出轴和转杆(34)尾端均固定有同步轮二，两个同步轮二均啮合在同步带二上，转杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈云利，唐小峄，
申请(专利权)人：苏州尊恒半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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