本实用新型公开了一种研磨设备的气体静压回转平台，包括回转平台主体，所述回转平台主体底端轴心通过主轴连接有转动组件，转动组件包括设于主轴末端的制动轴杆、通过传动皮带与制动轴杆连接的驱动电机、与主轴上的环形齿轮啮合传动的气压回转组件，所述驱...

本实用新型公开了一种配合自动换刀的超声波主轴，包括底座、主轴本体、升降组件、转换组件、夹紧组件，所述主轴本体内部安装有刀具，所述升降组件置于底座上表面并用于实现刀具的装卸，所述转换组件与升降组件连接并用于实现刀具的切换，所述夹紧组件置于...

本实用新型公开了一种内置无线发射组件的超声波主轴，包括安装板，所述安装板下表面安装有主轴本体和快拆组件，所述主轴本体下端安装有刀具，所述快拆组件下端安装有外壳，所述外壳内部设有两组限位杆，所述外壳内部还安装有超声波无线发射单元，通过弧形...

本实用新型公开了一种通过伺服电机调节角度的切割机旋转台，包括旋转台主体，所述切割底座上设有通过螺接端口与抽取端口相接通的抽风机，伺服电机上驱动轴末端的连接座与驱动轴杆对接固定，所述切割底座两端的垂向支撑平台顶端设有对转动导向环承接的限位...

本实用新型公开了一种研磨设备的气静压定位平台，包括底座、支撑组件、同步定位组件，所述底座上表面安装有静压驱动组件，底座对整个平台起到稳定支撑作用，所述支撑组件置于静压驱动组件上表面，所述同步定位组件置于支撑组件上并实现工件在支撑组件中心...

本实用新型公开了一种气浮主轴承载补偿装置，包括中心轴，所述中心轴的上下端分别设有止推片，所述止推片的内侧连接有限位板，所述中心轴的外侧设有外套，所述外套的上下端分别设有第一气孔，所述止推片上等距设有若干组第二气孔；本实用新型改变现有的气...

本实用新型公开了一种研磨机空气主轴的抛光处理装置，包括操作台，所述操作台的顶部设有固定轴相配合的旋转机床卡盘、弧面抛光装置以及平面抛光装置，所述固定轴包括轴杆以及轴头，所述弧面抛光装置包括矩形固定座、矩形安装槽、伺服减速电机、转轴、工字...

本实用新型具体涉及一种气冷气浮电主轴，包括电主轴壳、气缸组件、主轴轴承座，所述电主轴壳内部水平设有电主轴本体，所述转子本体的外表面设有定子本体，所述所述电主轴壳的内壁安装有定子冷却套，所述主轴轴承座内部设有第二轴承，所述第二轴承表面设有...

本实用新型具体涉及一种具有可调节式真空吸盘的晶圆切割机，包括固定座、升降板、吸盘底座、陶瓷吸盘，所述吸盘底座固定安装在转动电机的转轴上，所述吸盘底座的端面设有电动调节杆，所述电动调节杆的顶端与所设陶瓷吸盘之间支撑连接，所述顶板的底面开设...

本实用新型公开了一种具有废料收集功能的晶圆切割机，包括底座，所述底座的上端连接有工作台，所述工作台的上端中部设有切割台，所述工作台的上端通过龙门架连接有切割机本体，所述工作台的上端两侧设有罩盖，所述罩盖的一侧等距连接有若干组第一风管，所...

本实用新型公开了气浮主轴传动系统结构，包括外壳，所述外壳内部安装有主轴本体，所述外壳内壁左右两侧通过密封环固定连接有轴套，所述轴套表面均匀设有若干气孔，所述外壳内壁右侧设有第一密封板和第二密封板，所述第二密封板表面设有若干组排气孔，所述...

本实用新型具体涉及一种空间翻转式气浮主轴，包括主轴、轴承座，所述主轴的左侧表面设有连接环件，所述连接环件的对应右侧设有散热圆片，所述固定圆块的右侧面设有陶瓷散热圆盘，所述轴体的对应右侧固定有风叶，所述主轴的右侧表面均匀设有凸起长条，本实...

本实用新型公开了一种气浮电主轴结构，包括外壳和主轴本体，所述外壳连接在主轴本体的内侧，所述外壳的两端等距设有若干组气孔，所述主轴本体的中段连接有支撑轴，所述支撑轴的两端设有折边，所述支撑轴的内部等距安装有若干组风扇，所述风扇的出风端且位...

本实用新型公开了一种改良的半自动晶圆划片切割机，包括工作台，两组所述立板之间设有横板，所述横板上表面设有齿条，所述横板表面滑接有安装架，所述电机的输出端设有与齿条啮合的齿轮，所述安装架内部底面设有圆筒，所述圆筒内部安装有滚轮，所述安装架...

本实用新型具体涉及一种具有可调节工作台的晶圆切割机，包括底座、工作台，所述底座端面中部设有第一固定块，所述第一固定块的两侧设有两组第一连接座，所述工作台底端中部设有第二固定块，所述第二固定块两侧设有两组第二连接座，所述第一固定块与第二固...

本实用新型公开了一种用于轴承自动检测设备的高精度空气主轴，包括主轴壳体，所述主轴壳体内部通过固定柱固定连接有轴套，所述轴套表面均匀设有若干组第一气孔，所述轴套内部插入有防磨套，所述防磨套表面设有限位条和若干组第二气孔，所述防磨套内设有贯...

本发明公开了一种复合型气浮主轴，包括固定架、升降机构以及空气主轴定位机构，所述固定架包括横向矩形支座、横向腰槽、矩形固定座、纵向矩形条、压条、腰槽、纵向腰槽以及腰槽螺钉，所述升降机构包括L形立板、方形板、传动设于两个方形板之间的垂向丝杆...

本实用新型公开了一种研磨机空气主轴装置，包括底座，所述底座的顶部设有调节机构以及空气主轴机构，所述调节机构包括垂向U形立板、垂向丝杆、垂向固定座、垂向伺服减速电机、水平丝杆、水平固定座以及水平伺服减速电机，所述空气主轴机构包括矩形面板、...

本实用新型公开了一种防震型晶圆切割机，包括底座，所述底座上表面安装有缓冲板，所述底座表面设有环形槽，所述缓冲板设置在环形槽中心处，且缓冲板侧壁也均匀设有若干组球头座，所述球头座内部活动连接有球头，所述圆杆插进圆筒内部，所述减震垫内部设有...

本发明公开了一种晶圆切割机用调节结构，所述底板的下端连接有支撑座，所述支撑座的上端两侧分别设有用于安装气缸的安装腔，所述气缸的输出端连接有连接板，所述连接板位于底板中，所述连接板的一侧连接有L型支架，所述L型支架的上端连接至底座的下端，...