本技术公开了一种晶圆转速测量装置，包括固定座和晶圆，晶圆转速测量装置还包括磁感侦测器，磁感侦测器套设在一支撑轴上，支撑轴连接在固定座上，磁感侦测器的前端连接有封盖，封盖与磁感侦测器之间设有卡槽；固定座上连接有若干旋转轴，旋转轴的前端设有...

本实用新型公开了一种离子植入机真空泵装卸装置，包括：底座，所述底座的上表面竖直地设有导向立柱；水平驱动滑块机构，滑动地设置在所述导向立柱上，所述水平驱动滑块机构与驱动单元相连接，所述驱动单元能够驱动所述水平驱动滑块机构沿所述导向立柱上下...

本实用新型公开了一种半导体制冷机温度侦测装置，包括：壳体，壳体上设有可打开和关闭的盖板，壳体的侧壁上设有一通孔；温度侦测探头，安装在半导体制冷机内，温度侦测探头与线缆的一端相连接，线缆的另一端穿过通孔伸入到壳体的内部；线缆长度调节单元，...

本实用新型公开了一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，防护罩包括：四个支撑立柱，四个支撑立柱呈矩形分布，每个支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，连接单...

本实用新型公开了一种离子植入机维修保养环境保护装置，包括：封闭式工作仓，封闭式工作仓与离子植入机的后部密封连接；负压接口，设置在封闭式工作仓的顶部，负压接口与外部的负压发生设备相连接；滑杆，水平设置在封闭式工作仓的内部上方；多个第一负压...

本实用新型公开了一种用于晶圆抛光的研磨头气密性测漏设备，其包括：设备本体，所述设备本体上设有支架，所述支架上安装有水平横梁；工作台，经升降单元设置在所述设备本体的上方，所述工作台上能够固定放置研磨头，所述研磨头上具有与内部腔体连通的连接...

本实用新型公开了一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置，其包括：推车本体，底部设有万向轮，推车本体的内部上方和下方分别设有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔内，清洗桶包括依次并排放置的第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶，第...

本实用新型公开了一种半导体抛光液的旋转输送装置，其包括：旋转臂，包括竖管、旋转头、固定平台和旋转平台，竖管与旋转头旋转连接，浆液输送管从竖管的底部穿入后从旋转头的头部穿出；竖管的顶部与固定平台固定连接，旋转头的底部与旋转平台固定连接，旋...

本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置...

本实用新型公开了一种用于半导体晶圆量测机台的上下料装置，其包括：量测机台本体，包括测试平台和搬运机械手，搬运机械手安装在测试平台的边侧；转台，转动设置在地面上，转台的上表面周向方向上设置有多个晶圆框架盒，每个晶圆框架盒的内部依次叠放有多...

本实用新型公开了一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：管路本体，设置在半导体设备中，管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；压力开关，设置在第二管路本体上；P...

本实用新型公开的属于半导体研磨机技术领域，具体为一种防止研磨液结晶的半导体研磨机用喷水装置，包括连接件、输水装置和支架结构，所述连接件的顶部中间安装有立柱，所述立柱的外壁与两个支架结构连接，所述支架结构的底部与输水装置固定连接，所述支架...

本实用新型公开的属于研磨机技术领域，具体为一种实现研磨液手臂自动摆动定位的装置，包括机械臂、摆动气缸、固定支架、传动带、转动轮和轴承，所述机械臂的底部连接有转动杆，所述转动杆的外壁与固定支架连接，所述轴承安装在固定支架与转动杆的连接处，...

本实用新型公开了一种管路清洗装置，其包括：基板，竖直设置在外部设备上；两位三通电磁阀，固定在所述基板上，所述两位三通电磁阀的第一入口与供油油路相连接，所述两位三通电磁阀的出口与工作油路相连接；三通阀，入口经第一电磁控制阀与清洗油路相连接...

本实用新型公开了一种防护罩水幕发生装置，所述装置安装在防护罩内部四周方向上，所述防护罩的内部设置有二氧化硅加工基台，所述装置包括：套管，经固定卡与所述防护罩的内侧壁相连接，所述套管上设有定位孔；水幕发生管，穿设在所述套管中，所述水幕发生...

本实用新型公开了一种透明载重柜，其包括：载重柜本体，内部高度方向上间隔地设有多个载重机构；双开式移门，经滑移轨道与所述载重柜本体滑动连接，所述双开式移门采用透明材质制作而成；其中，所述载重机构包括隔板和托板，所述隔板水平固定在所述载重柜...

本实用新型公开了一种双镜面载重柜，其包括：载重柜本体，内部高度方向上间隔地设有多个载重机构；双开式移门，经滑移轨道与载重柜本体滑动连接，且双开式移门的外表面设有镜面层；其中，载重机构包括隔板和抽屉，隔板水平固定在载重柜本体的内侧壁上，抽...

本实用新型公开了一种组合式货柜，其包括多个依次连接的货柜单体，所述货柜单体包括货柜本体、插板和连接机构，所述货柜本体的左右侧壁上竖直地开设有插槽，且所述货柜本体的左右侧壁沿水平方向上设有通孔，相邻两个所述货柜本体的通孔位置相对应，所述插...

本实用新型公开了一种易拆装围篱，第一围篱杆和第二围篱杆的中间部杆体上均交错的设置有安装槽部和杆部，安装槽部开设有翻转安装槽，翻杆安装槽的上部固定穿设有中部连接销，翻转杆的一端套设在中部连接销中，中部连接销上还套设有扭转弹簧，翻转杆的另一...

本实用新型公开了一种防翻越围篱，第一围篱杆和第二围篱杆的中间部杆体上均依次交错开设有挂杆安装槽和销连接槽，所述挂杆安装槽的上部固定穿设有中部连接销，所述挂钩杆的一端套设在所述中部连接销中，所述中部连接销上还套设有所述扭转弹簧，且挂钩杆位...