一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型专利技术能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统
本技术涉及气缸
，尤其涉及一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统。
技术介绍
现有技术中，一般在半导体设备机台气缸上加装侦测系统来检测气缸的升降信号和气缸实际动作，当侦测系统接受到半导体设备机台发出的升降信号后，再延时检测感应器的感应信号，判断气缸实际动作是否到位，如果设定时间内，未侦测到感应器的感应信号,则通知半导体设备机台发出警报，现有的侦测系统存在以下两点不足：1)、假如感应器存在故障，一直保持同一状态，这样侦测系统存在失效风险。2)、假如侦测系统断电，同样不能起到保护作用。
技术实现思路
本技术主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种降低失效风险，提高保护效果的半导体设备机台气缸的升降侦测系统。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：本技术提供的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，所述系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应；报警单元，安装在所述半导体设备机台上；控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。进一步地，所述位置调节机构包括固定板、滑动板、调节螺柱、螺套、弹簧、螺纹杆、上调节螺母和下锁紧螺母；所述固定板固定在所述缸体的顶部端面上，所述滑动板滑动地设置在所述缸体的顶部端面上，且位于所述固定板的内侧，所述调节螺柱的一端固定在所述滑动板的侧壁上，所述调节螺柱的另一端穿过固定板后与所述螺套螺纹连接，所述弹簧套设在所述调节螺柱上，且位于所述固定板和滑动板之间；所述固定板的上部前后方向设有贯穿的调节孔，所述调节孔的顶部具有条形开口；所述螺纹杆竖直地设置在所述安装支架的底部，所述上调节螺母和下锁紧螺母分别螺纹套设在所述螺纹杆上，且所述上调节螺母和下锁紧螺母分别位于所述条形开口的上下两侧。进一步地，所述报警单元包括报警灯和蜂鸣器。进一步地，所述半导体设备机台的底部设置有行走轮。本技术的有益效果在于：通过位置调节机构方便快捷地调节感应器相对于缸体的位置，使感应器能与活塞杆的顶部侧壁上的感应片进行精确地感应配合，其起到准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，每次控制器发出气缸的升降信号时，控制器还可以分别侦测对应感应器的状态是否正确、是否进行了状态切换，从而避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，通过增加常闭继电器，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的半导体设备机台气缸的升降侦测系统的结构示意图；图2是本技术的半导体设备机台气缸的升降侦测系统的感应单元的安装位置图；图3是本技术的半导体设备机台气缸的升降侦测系统的感应单元的局部示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的优选实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。参阅图1-3所示，本技术的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台1内设有气缸2，气缸2包括缸体21和活塞杆22，该系统包括：感应单元3，包括感应片31、感应器32、安装支架33和位置调节机构34，感应片31固定在活塞杆22的顶部侧壁上，感应器32安装在安装支架33上，安装支架33经位置调节机构34与缸体21的顶部端面相连接，位置调节机构34用于调节感应器32相对于缸体31的位置，其中，当活塞杆22下降到位后，感应器32的位置与感应片31的位置相对应；报警单元4，安装在半导体设备机台1上；控制器5，分别与气缸2和感应器32相连接，控制器5还经常闭继电器6与报警单元4相连接。本实施例中，常闭继电器6可采用上海木西品牌，型号优选为：MH-05-M10NB-Y3L2/C36。本技术通过位置调节机构34方便快捷地调节感应器32相对于缸体21的位置，使感应器32能与活塞杆22的顶部侧壁上的感应片31进行精确地感应配合，其起到准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，每次控制器5发出气缸的升降信号时，控制器5还可以分别侦测对应感应器32的状态是否正确、是否进行了状态切换，从而避免了感应器32存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，通过增加常闭继电器6，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器6会断开，使报警单元4立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。本技术中，位置调节机构34包括固定板341、滑动板342、调节螺柱343、螺套344、弹簧345、螺纹杆346、上调节螺母347和下锁紧螺母348；固定板341固定在缸体21的顶部端面上，滑动板342滑动地设置在缸体21的顶部端面上，且位于固定板341的内侧，调节螺柱343的一端固定在滑动板342的侧壁上，调节螺柱343的另一端穿过固定板341后与螺套344螺纹连接，弹簧345套设在调节螺柱343上，且位于固定板341和滑动板342之间；本技术中，通过正向或反向旋转螺套344，并在弹簧345的作用下，可以使滑动板342相对靠近或远离固定板341，从而改变感应器32的水平左右方向位置。固定板341的上部前后方向设有贯穿的调节孔349，调节孔349的顶部具有条形开口3410；螺纹杆346竖直地设置在安装支架33的底部，上调节螺母347和下锁紧螺母348分别螺纹套设在螺纹杆346上，且上调节螺母347和下锁紧螺母348分别位于条形开口3410的上下两侧。本技术中，通过螺纹杆346在条形开口3410中滑动，即可改变感应器32的水平前后方向位置。通过旋转上调节螺母347和下锁紧螺母348，可以改变螺纹杆346伸出条形开口3410的高度，从而改变感应器32的高度方向位置。优选地，报警单元5包括报警灯和蜂鸣器。优选地，为了便于移动，半导体设备机台1的底部设置有行走轮7。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，其特征在于，所述系统包括：/n感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应；/n报警单元，安装在所述半导体设备机台上；/n控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，其特征在于，所述系统包括：
感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应；
报警单元，安装在所述半导体设备机台上；
控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。


2.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述位置调节机构包括固定板、滑动板、调节螺柱、螺套、弹簧、螺纹杆、上调节螺母和下锁紧螺母；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭代全，
申请(专利权)人：上海裕诗实业有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31