【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆转速侦测设备，尤其涉及一种晶圆转速测量装置。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，可制成高纯度的多晶硅。
2、晶圆在加工进行包装前，需要进行清洗处理，保证晶圆的清洁及正常使用，晶圆在清洗时进行旋转运动，同时，需要测量晶圆的转速，来判断是否需要调整晶圆转速以及其他操作，目前的晶圆转速测量装置还存在不足，晶圆与转轴接触的地方容易打滑，导致晶圆一般打不到设计的转速要求，降低了晶圆转速测量的准确度，影响工作人员对晶圆操作的判断，因此需要进一步改进。
技术实现思路
1、鉴于目前晶圆测速装置存在的上述不足，本技术提供一种晶圆转速测量装置，能够提高晶圆转速测量的准确度。
2、为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：
3、一种晶圆转速测量装置，包括固定座和晶圆，所述晶圆转速测量装置还包括磁感侦测器，所述磁感侦测器套设在一支撑轴上，所述支撑轴连接在固定座上，所述磁感侦测器的前端连接有封盖，所述封盖与磁感侦测器之间设有卡槽；所述固定座上连接有若干旋转轴，所述旋转轴的前端设有凹槽，晶圆架设在凹槽上，所述旋转轴驱动晶圆旋转，所述旋转轴连接在固定座上；所述磁感侦测器设于晶圆的下方，所述磁感侦测器的卡槽与晶圆的下边缘相接触，所述晶圆
4、依照本技术的一个方面，所述旋转轴包括第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴，所述第三旋转轴设置在第一旋转轴和第二旋转轴之间，所述晶圆刚好架设在第一旋转轴、第二旋转轴和第三旋转轴的凹槽上。
5、依照本技术的一个方面，所述固定座上开设有若干开孔，所述开孔用于固定连接旋转轴。
6、依照本技术的一个方面，所述旋转轴通过端座连接在固定座上，所述端座上开设有若干螺栓孔，所述螺栓孔与所述开孔的位置相对应，所述端座通过螺栓连接固定在固定座上。
7、依照本技术的一个方面，所述旋转轴的凹槽上环绕连接有传动皮带，所述传动皮带的另一端环绕在马达上，所述马达带动传动皮带转动，进而带动旋转轴旋转。
8、依照本技术的一个方面，所述固定座内开设有内螺纹孔，所述支撑轴的一端设有外螺纹结构，所述支撑轴旋入内螺纹孔中，与固定座螺纹连接。
9、本技术实施的优点：本技术提供的一种晶圆转速测量装置，包括固定座、晶圆、磁感侦测器，其中磁感侦测器套设在一支撑轴上，支撑轴连接在固定座上，磁感侦测器的前端连接有封盖，封盖与磁感侦测器之间设有卡槽；磁感侦测器设于晶圆的下方，磁感侦测器的卡槽与晶圆的下边缘相接触，晶圆转动时带动磁感侦测器旋转；固定座上连接有若干旋转轴，旋转轴的前端设有凹槽，晶圆架设在凹槽上，由旋转轴驱动晶圆旋转，只有当晶圆转动的情况下才会带动磁感侦测器旋转，从而判断晶圆是否在旋转状态以及晶圆的旋转速度，通过磁感侦测器可实时监测晶圆转速，确保设备以期望的速度运行，从而提高生产效率、优化晶圆生产质量和确保安全性。
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1.一种晶圆转速测量装置，包括固定座(1)和晶圆(2)，其特征在于，所述晶圆转速测量装置还包括磁感侦测器(3)，所述磁感侦测器(3)套设在一支撑轴上，所述支撑轴连接在固定座(1)上，所述磁感侦测器(3)的前端连接有封盖(4)，所述封盖(4)与磁感侦测器(3)之间设有卡槽(5)；所述固定座(1)上连接有若干旋转轴，所述旋转轴的前端设有凹槽(9)，晶圆(2)架设在凹槽(9)上，所述旋转轴驱动晶圆(2)旋转，所述旋转轴连接在固定座(1)上；所述磁感侦测器(3)设于晶圆(2)的下方，所述磁感侦测器(3)的卡槽(5)与晶圆(2)的下边缘相接触，所述晶圆(2)转动时带动磁感侦测器(3)旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述旋转轴包括第一旋转轴(6)、第二旋转轴(7)和第三旋转轴(8)，所述第三旋转轴(8)设置在第一旋转轴(6)和第二旋转轴(7)之间，所述晶圆(2)刚好架设在第一旋转轴(6)、第二旋转轴(7)和第三旋转轴(8)的凹槽(9)上。
3.根据权利要求1所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述固定座(1)上开设有若干开孔，所述开孔用于
4.根据权利要求3所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述旋转轴通过端座(10)连接在固定座(1)上，所述端座(10)上开设有若干螺栓孔(11)，所述螺栓孔(11)与所述开孔的位置相对应，所述端座(10)通过螺栓连接固定在固定座(1)上。
5.根据权利要求1所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述旋转轴的凹槽(9)上环绕连接有传动皮带，所述传动皮带的另一端环绕在马达上，所述马达带动传动皮带转动，进而带动旋转轴旋转。
6.根据权利要求1所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述固定座(1)内开设有内螺纹孔，所述支撑轴的一端设有外螺纹结构，所述支撑轴旋入内螺纹孔中，与固定座(1)螺纹连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆转速测量装置，包括固定座(1)和晶圆(2)，其特征在于，所述晶圆转速测量装置还包括磁感侦测器(3)，所述磁感侦测器(3)套设在一支撑轴上，所述支撑轴连接在固定座(1)上，所述磁感侦测器(3)的前端连接有封盖(4)，所述封盖(4)与磁感侦测器(3)之间设有卡槽(5)；所述固定座(1)上连接有若干旋转轴，所述旋转轴的前端设有凹槽(9)，晶圆(2)架设在凹槽(9)上，所述旋转轴驱动晶圆(2)旋转，所述旋转轴连接在固定座(1)上；所述磁感侦测器(3)设于晶圆(2)的下方，所述磁感侦测器(3)的卡槽(5)与晶圆(2)的下边缘相接触，所述晶圆(2)转动时带动磁感侦测器(3)旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆转速测量装置，其特征在于，所述旋转轴包括第一旋转轴(6)、第二旋转轴(7)和第三旋转轴(8)，所述第三旋转轴(8)设置在第一旋转轴(6)和第二旋转轴(7)之间，所述晶圆(2)刚好架设在第一旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭代全，徐康，褚书明，潘家英，周孝，彭雅琴，
申请(专利权)人：上海裕诗实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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