一种光刻机维修保养环境保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，防护罩包括：四个支撑立柱，四个支撑立柱呈矩形分布，每个支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，连接单元组设置在支撑立柱的外部，且连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；滑动支撑杆，滑动支撑杆的两端分别与相邻两个支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，连接调节机构能够锁紧滑动支撑杆，其中，滑动支撑杆上连接有PVC软帘；驱动单元，用于驱动滑块沿导向滑杆上下移动。本实用新型专利技术组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好。效果好。效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机维修保养环境保护装置


[0001]本技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机维修保养环境保护装置。

技术介绍

[0002]现有技术中，光刻机需要定期进行维修保养，由于光刻机结构复杂、零件多，因此，需要分段进行维修保养，目前，没有合适的装置对维修保养的环境进行隔离保护，导致容易出现安全隐患和零部件丢失。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好的光刻机维修保养环境保护装置。
[0004]一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，所述防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，所述防护罩包括：
[0005]四个支撑立柱，四个所述支撑立柱呈矩形分布，每个所述支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，所述导向滑杆上滑动地套设有滑块；
[0006]连接单元组，所述连接单元组设置在所述支撑立柱的外部，且所述连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，所述连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；
[0007]滑动支撑杆，所述滑动支撑杆的两端分别与相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，包括防护罩，所述防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，所述防护罩包括：四个支撑立柱，四个所述支撑立柱呈矩形分布，每个所述支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，所述导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，所述连接单元组设置在所述支撑立柱的外部，且所述连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，所述连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；滑动支撑杆，所述滑动支撑杆的两端分别与相邻两个所述支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，所述连接调节机构能够锁紧所述滑动支撑杆，其中，所述滑动支撑杆上连接有PVC软帘；驱动单元，用于驱动所述滑块沿所述导向滑杆上下移动。2.如权利要求1所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述连接调节机构包括：外套筒，所述外套筒的下部与所述连接杆相连接，所述外套筒的中部设有贯穿的螺纹孔；内套筒，所述内套筒螺纹穿设在所述外套筒的螺纹孔中，所述内套筒的一端开设有锁紧孔，所述滑动支撑杆的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭代全，徐康，褚书明，周孝，潘家英，彭雅琴，
申请(专利权)人：上海裕诗实业有限公司，
类型：新型
国别省市：