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本实用新型公开了一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，防护罩包括：四个支撑立柱，四个支撑立柱呈矩形分布，每个支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，连接单元组...
该专利属于上海裕诗实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海裕诗实业有限公司授权不得商用。

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