本发明公开了一种MEMS光学麦克风，包括：壳体，壳体具有内腔以及将内腔与外界导通的进声口；微机电模块，包括振膜，振膜悬置于内腔，当对振膜施加压力时，振膜上打开有过光间隙，过光间隙的尺寸随着对振膜施加的压力而增大或缩小；光电模块，包括电磁...

本发明实施例提供一种智能穿戴式眼镜，其包括镜框、镜脚、振动单元和发声单元；振动单元包括至少部分外露于镜脚的骨传导接触部；发声单元包括具有收容空间和倒相通道的壳体、固定于壳体的发声单体以及安装于倒相通道内的倒相管，壳体分别设有贯穿其上的第...

本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板，电路板具有收容腔且设有通孔；外壳盖设固定于电路板并覆盖通孔，外壳与电路板围成谐振腔，外壳设有第一泄压孔；MEMS麦克风，收容于收容腔内与电路板电性连接，其包括固定于电路板且具有背腔的基座、支...

本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板，电路板具有谐振腔，其中一侧设有贯穿其上的通孔；外壳，外壳盖设固定于电路板并覆盖通孔，外壳与电路板共同围成收容腔；MEMS麦克风，收容于收容腔内并与电路板电性连接，其包括固定于电路板且具有背腔...

本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、盖设固定于电路板并与电路板共同围成谐振腔的外壳、收容于谐振腔内并与电路板电性连接的MEMS麦克风以及收容于谐振腔内的振动组件；MEMS麦克风包括基底和背极板；振动组件包括垫片、与背极板间隔形...

本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、固定于电路板且与电路板围成收容腔的外壳、收容于收容腔内并将收容腔分隔呈第一腔和第二腔的振膜组件、MEMS麦克风以及贴设于振膜组件靠近第二腔的一侧并与MEMS麦克风电性连接的ASIC芯片，外壳...

本实用新型提供了一种振动传感器，其包括电路板、内壳、外壳、MEMS麦克风及振膜组件；电路板具有板腔且设有第一通孔；内壳盖设固定于电路板并覆盖第一通孔，内壳与电路板共同围成谐振腔，内壳设有第二通孔；外壳盖设固定于电路板并将内壳收容，外壳、...

本实用新型提供的振动传感器包括具有收容腔的电路板以及在所述电路板的相对两侧分别设置的具有第一振动腔的第一振动组件和具有第二振动腔的第二振动组件；所述电路板上设有将所述第一振动腔与所述收容腔连通的第一通孔以及将所述第二振动腔与所述收容腔连...

本实用新型提供的振动传感器包括线路板和分别固定于所述线路板相对两侧的拾振结构和信号拾取组件，所述拾振结构包括两两相互独立的收容于第一振动腔内的第一拾振结构、收容于第二振动腔内的第二拾振结构以及收容于第三振动腔内的第三拾振结构，所述信号拾...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。...

本申请涉及一种麦克风芯片及麦克风，麦克风芯片包括：振膜和背板，振膜上设置有多个褶皱，背板靠近振膜的一侧设置有凸起，沿垂直背板的方向，凸起在振膜上的投影的外轮廓与褶皱的外轮廓不相交。背板靠近振膜的一侧设置有电极片，振膜靠近背板的一侧也设置...

本实用新型涉及电容式麦克风技术领域，尤其涉及一种麦克风芯片及麦克风。麦克风芯片包括具有前腔的基底以及设置于基底上的电容系统，电容系统包括位于基底上部的振膜以及与振膜间隔设置的背板，振膜与背板之间形成空气间隔，振膜与背板通过固定部与基底连...

本申请涉及终端设备领域，尤其涉及一种漏音消除方法和装置。一种漏音消除方法，包括：检测到受话器输出通话语音时，控制采集设备确定所述通话语音产生的第一声波在终端设备之外的第一位置处的第一频响曲线；控制扬声器产生第二声波；控制所述采集设备确定...

本发明公开了一种MEMS电容传声器，包括基底、支撑部以及振膜，其中：所述振膜通过支撑部所述支撑在所述基底上方，所述基底、所述支撑部、所述振膜围成了真空腔；所述振膜靠近所述真空腔的一侧通过连杆连接静电离合器；所述静电离合器连接有电容感测结...

本申请公开了一种吸音材料块及其制备方法与应用。所述吸音材料块包括三维开孔泡沫、吸音材料粉体、粘结剂、凝胶剂和交联剂，所述凝胶剂、交联剂与粘结剂使所述吸音材料粉体相互粘接并连接到三维开孔泡沫，以所述吸音材料粉体的质量计，所述凝胶剂占所述吸...

本申请提供一种MEMS器件的制造方法及MEMS器件，该方法包括在牺牲层的表面的至少部分沉积薄膜，在薄膜加工出通孔，去除牺牲层中被薄膜所覆盖的至少部分材料，牺牲层中被去除的材料从通孔排出，以在牺牲层形成空腔，在薄膜的背离牺牲层的表面沉积密...

本发明公开了一种静电离合器，静电离合器包括：多个接地的高阻抗节点电极阵列，形成一刚性可动体；多个偏置电极阵列，形成另一刚性可动体，使得当多个偏置电极阵列和多个高阻抗节点电极阵列之间存在相对位移时，在它们之间产生静电力。与现有技术相比，本...

本发明提供了一种薄膜体声波谐振器，包括衬底、设置于衬底一侧的声学反射结构、叠设在声学反射结构一侧的底电极、覆盖底电极的压电薄膜以及叠设在压电薄膜的远离底电极侧的顶电极，顶电极远离压电薄膜的一侧设置有叉指型凸起框架，叉指型凸起框架包括相对...

本发明提出一种MEMS麦克风，包括形成有背腔的基底和设置在所述基底上与基底相连的电容系统，所述电容系统包括振膜以及与所述振膜间隔设置的背板，所述背板端部经背板连接部与所述振膜端部固定连接；本发明的MEMS麦克风还包括支撑柱，所述支撑柱沿...

本发明公开了一种MEMS元件，MEMS元件包括：基底，一背腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖背腔，振膜包括相对设置的上膜片和下膜片，上膜片与下膜片之间形成容纳空间；对电极，设于容纳空间内；若干支撑件，设置在所述上膜片和所述下膜片之间，...