本发明提供了一种单端转差分麦克风电路，包括用于输入第一偏置电压的供电端、麦克风电容、耦合电容、第一初级放大器、第二初级放大器、信号处理模块、电流共用放大器、正端反馈电阻、正端反馈电容、负端反馈电阻以及负端反馈电容，其中麦克风电容连接第一...

本实用新型提供一种用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路。梳状驱动器包括可相对运动的第一组梳状齿和第二组梳状齿及若干电容器对。第一组梳状齿中的部分电连接到HIN，另一部分电连接到另一个独立的HIN，以形成在第一方向上交替布...

本申请公开了一种MEMS元件以及电声转换装置，MEMS元件包括：基底，一空腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖空腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片位于第二膜片的背离空腔的一侧，第一膜片包括凸出于第一膜片上的第一凸起；第二...

本发明提供了一种发声器。发声器包括振动系统、磁路系统、导电件以及固定件，振动系统包括振膜及与振膜固定的音圈，音圈为音圈线围绕而成的具有中空结构的柱形结构，连接部与音圈相邻且间隔，振膜包括球顶部以及位于球顶部周围的折环部，球顶部包括球顶本...

本发明提供了一种发声器。发声器包括振动系统、磁路系统、导电件以及固定件，振动系统包括振膜及与振膜固定的音圈，音圈为音圈线围绕而成的具有中空结构的柱形结构，连接部与音圈相邻且间隔，振膜包括球顶部以及位于球顶部周围的折环部，球顶部包括球顶本...

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括中间部和围绕所述中间部并固定于...

本发明提供了一种三轴MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，所述基底包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的锚点结构以及四个分别弹性连接于各所述锚点结构的耦合结构；所述...

本发明提供了一种MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元；锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点；传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构...

本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运动件沿第一方向的...

本实用新型提出一种MEMS麦克风芯片，其包括与振膜相对设置的第一表面、与第一表面相对设置的第二表面以及连接第一表面与第二表面的内壁，内壁围设形成基底的背腔，内壁包括靠近振膜的第一开口以及远离振膜的第二开口，沿平行于振膜的方向，第二开口的...

本发明提供了一种核壳结构分子筛，其以具有介孔结构的ZSM

本发明提供了一种麦克风电路，其包括放大器、偏置电阻以及与麦克风电路的输入端连接的偏置网络模块；放大器用于接收外部的麦克风输出的信号，并将信号放大后输出；偏置电阻的第一端用于连接至预设的偏置电压；偏置电阻的第二端用于连接麦克风的输出端；偏...

本发明公开了一种压电扬声器，包括：衬底，衬底贯穿设置有空腔；支撑结构，设置于衬底上并覆盖空腔；第一驱动结构，层叠于支撑结构上，第一驱动结构包括交替叠设的第一电极层以及第一压电层；传动结构，层叠于驱动结构上；还包括分隔槽，分隔槽贯穿支撑结...

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于基底一侧且围合于背腔外侧的连接部以及设置于连接部内的电容系统，电容系统包括连接于连接部内壁的第一电极以及设置于基底的靠近第一电极侧且与第一电极间隔设置的第二电极，第二电极开设...

本发明提供一种麦克风放大电路设计方法，该方法包括如下步骤：将集成电路的衬底与焊盘之间设置一层底层金属，并使得焊盘与底层金属之间形成第一寄生电容，底层金属与衬底之间形成第二寄生电容；在放大电路中寻找电路点，并使得电路点满足预设条件；将底层...

一种微机电系统，包括间隔层、第一波纹状导电膜片和第二波纹状导电膜片。所述间隔层包括沿第一方向延伸的对电极壁、狭槽和支撑壁。所述对电极壁、狭槽和支撑壁在第二方向上交替设置。所述第一波纹状导电膜片包括在第二方向交替设置的第一波峰和第一波谷，...

一种微机电系统，包括具有多个交替设置的波谷和波峰的下膜，包含多个交替设置的波谷和波峰的上膜，以及设置在下膜和上膜之间的间隔层。间隔层包括由氮化物制成的对电极壁和支撑壁，对电极壁设置有导电元件。下膜槽与上膜顶部之间形成腔室，对电极壁分别悬...

本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、...

本实用新型的MEMS麦克风芯片包括基底、通过第一固定部支撑于所述基底上方的振膜以及通过第二固定部支撑于所述基底上方的背板，所述振膜通过若干间隔设置的弹性臂固定于所述第一固定部，使得振膜可以通过形变释放应力，从而减小应力对振膜刚度的影响、...

本实用新型提供了MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于基底上的电容系统，电容系统包括相互间隔设置的背板和振膜，背板包括背板绝缘层和固定于背板绝缘层的背板电极层，背板上设有贯通背板绝缘层和背板电极层的声孔，背板绝缘层具有至少一个朝远离...