一种MEMS陀螺制造技术

本发明专利技术提供了一种MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于锚点单元的传感单元、以及弹性连接于锚点单元和传感单元的驱动单元；锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个中心锚点；传感单元包括四个分别弹性连接于各角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、以及分别位于各让位空间内的四个第二质量块和四个解耦质量块；第一质量块、第二质量块和解耦质量块均在矩形内；驱动单元包括四个分别连接于第二质量块外侧的驱动件。本发明专利技术的陀螺能够实现三个轴角速度独立检测，并且能够实现差分检测，且振动力矩平衡，有效免疫加速度冲击与正交误差的影响，提高检测精度。提高检测精度。提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS陀螺


[0001]本专利技术涉及陀螺仪
，尤其涉及一种MEMS陀螺。

技术介绍

[0002]微机械陀螺仪，即MEMS(Micro Electro Mechanical systems)陀螺仪，是一种典型的角速度微传感器，由于其尺寸小、功耗低和加工方便等优势在消费电子市场有着非常广泛的应用。近年来，随着MEMS陀螺仪性能的逐步提升，MEMS陀螺仪广泛应用于汽车、工业、虚拟现实等领域。
[0003]美国专利US8459110B2(中国同族CN102183246B)公开了一种集成MEMS陀螺仪，包括第一驱动质量块和第二驱动质量块，通过第一驱动质量块和第二驱动质量块响应陀螺仪感受的角速度以产生感测运动，再通过对感测运动进行检测，实现对角速度的测量。该种MEMS陀螺仪能够实现三轴检测，然而，该种陀螺仪的检测模态相互耦合，导致误差叠加。
[0004]因此，有必要对现有技术进行改进，提供一种能够实现MEMS陀螺仪。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种MEMS陀螺，以解决现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS陀螺，包括锚点单元、弹性连接于所述锚点单元的传感单元、以及弹性连接于所述锚点单元和所述传感单元的驱动单元，其特征在于，所述锚点单元包括四个分别位于一矩形的四个角部位置的角部锚点结构和四个位于所述矩形内且分别和四个所述角部锚点结构间隔设置的中心锚点；所述传感单元包括四个分别弹性连接于各所述角部锚点结构和对应的中心锚点之间且相互形成让位空间的第一质量块、四个分别位于各所述让位空间内的第二质量块、以及四个分别位于各所述让位空间内且弹性连接于所述第二质量块的解耦质量块；所述第一质量块、所述第二质量块和所述解耦质量块均在所述矩形内，且所述解耦质量块位于所述第二质量块的内侧，相邻的所述解耦质量块弹性连接；所述驱动单元包括四个分别连接于所述第二质量块的外侧的驱动件，所述驱动件的两端弹性连接于相邻的所述角部锚点结构。2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺，其特征在于：所述角部锚点结构包括位于所述矩形的角部位置的角部锚点、弹性连接于所述角部锚点的耦合环、以及间隔设置于所述角部锚点且靠近对应的所述驱动件的驱动锚点，所述耦合环的外侧延伸形成连接于对应的所述第一质量块的第一柔性梁和连接于对应的所述驱动件的第一连接梁，所述驱动件延伸形成连接于所述驱动锚点的第一导向梁。3.根据权利要求2所述的MEMS陀螺，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马昭，占瞻，阚枭，杨珊，严世涛，彭宏韬，李杨，黎家健，陈秋玉，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：