MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括中间部和围绕所述中间部并固定于所述基底的固定部，所述固定部的厚度大于所述中间部的厚度，所述固定部包括远离所述基底的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括与所述中间部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。与相关技术相比，本实用新型专利技术提供的MEMS麦克风可以改善背板的可靠性。可靠性。可靠性。

MEMS microphone

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风


[0001]本技术涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。
[0003]微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
[0004]相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜，背板包括中间部、与基底连接的固定部以及连接中间部和固定部的连接部，连接部垂直于中间部和固定部，即背板和基底直接采用直角连接，当MEMS麦克风受到较大声压时，直角连接处存在应力集中，使背板容易断裂，降低了背板的可靠性。
[0005]因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题是提供一种较好信噪比的MEMS麦克风。
[0007]为解决上述技术问题，提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括中间部和围绕所述中间部并固定于所述基底的固定部，所述固定部的厚度大于所述中间部的厚度，所述固定部包括远离所述基底的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括与所述中间部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。
[0008]优选的，所述第一表面还包括连接所述第一弧面的第二弧面，所述第二弧面向远离所述基底方向凸出。
[0009]优选的，所述固定部包括本体部和叠设在所述本体部上的绝缘层，所述绝缘层与所述固定部的第一表面连接。
[0010]优选的，所述本体部与所述中间部的厚度相同。
[0011]优选的，所述本体部和绝缘层为同种材料。
[0012]优选的，所述本体部和绝缘层为不同材料。
[0013]优选的，所述本体部和绝缘层为一体结构或分体结构。
[0014]优选的，所述绝缘层为中空环状结构。
[0015]优选的，所述本体部和绝缘层的形状相同。
[0016]优选的，所述第一表面和第二表面的形状相同。
[0017]与相关技术相比，本技术的MEMS麦克风通过在背板的本体部上叠设绝缘层，从而增大背板与基底连接的固定部的刚度，从而使背板具有较小压膜阻尼，改善了背板的可靠性，从而使得MEMS麦克风具有较好信噪比。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0019]图1为本技术实施例的MEMS麦克风的立体结构示意图；
[0020]图2为本技术实施例的MEMS麦克风的分解图；
[0021]图3为图1沿AA线的剖视图。
【具体实施方式】
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1、图2及图3所示，为本技术的一种MEMS麦克风100，其包括具有背腔11的基底10及设置在所述基底10上的电容系统32。电容系统32包括背板20以及与所述背板20相对设置的振膜30，背板20和振膜30均固定于所述基底10，所述振膜30位于背板20靠近所述基底10的一侧。
[0024]所述背板20包括中间部21和围绕所述中间部21并固定于所述基底10的固定部22，所述中间部21设有若干通孔210，并且所述中间部21在振膜30的振动方向上的投影全部位于所述振膜30内，所述固定部22包括远离所述基底10的第一表面2211和与所述第一表面2211相对的第二表面2212，所述第一表面2211包括与所述中间部21连接的第一弧面22111以及围绕所述第一弧面22111并且连接第一弧面22111的第二弧面22112，所述第一弧面22111和第二弧面22112均向远离所述基底10方向凸出,第一弧面22111和第二弧面22112可以改善背板20与基底10连接处的应力分布,可以提高MEMS麦克风100的性能。优选的，所述第一表面2211和第二表面2212的形状相同。
[0025]在本实施方式中，所述固定部22的厚度大于所述中间部21的厚度，由此可以增大背板20刚度，使其在相同声压下产生更小应力，从而提高背板20的可靠性。
[0026]具体的，所述固定部22包括本体部221和叠设在所述本体部221上的绝缘层222，所述本体部221与所述中间部21的厚度相同。相较设置导电层，绝缘层222的厚度可以做得更高，更有利于增大背板20刚度，提高背板20的可靠性。本体部221可与绝缘层222为同种材料，本体部221和绝缘层222可以一体成形，为一体结构，也可为分体结构。在其它实施方式中，本体部221也可与绝缘层222为不同材料。
[0027]另外，绝缘层222为中空环状结构，优选的，绝缘层222的形状与本体部221的形状相同，可以更好的增大背板20的刚度。
[0028]在本技术的MEMS麦克风100，通过在背板20的本体部221上叠设绝缘层222，从而增大背板20与基底10连接的固定部22的刚度，从而使背板20具有较小压膜阻尼，从而使得MEMS麦克风100具有较好信噪比。
[0029]以上所述的仅是本技术的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，其特征在于：所述背板包括中间部和围绕所述中间部并固定于所述基底的固定部，所述固定部的厚度大于所述中间部的厚度，所述固定部包括远离所述基底的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面包括与所述中间部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一表面还包括连接所述第一弧面的第二弧面，所述第二弧面向远离所述基底方向凸出。3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述固定部包括本体部和叠设在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：石正雨，王琳琳，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：