用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路。梳状驱动器包括可相对运动的第一组梳状齿和第二组梳状齿及若干电容器对。第一组梳状齿中的部分电连接到HIN，另一部分电连接到另一个独立的HIN，以形成在第一方向上交替布置的多个HIN域；第二组梳状齿中的部分电连接到偏置电极，另一部分电连接到具有相反极性的另一偏置电极，以形成在第一方向上交替排列的多个相反偏置域。电容器对分别形成在HIN域和偏置域之间，每一所述电容器对中的两电容器具有相反的声极性。本实用新型专利技术的梳状驱动器增加了给定单位单元横截面积的静电灵敏度，同时保持了可接受的电容和可接受的电压与位移曲线的线性度。的电容和可接受的电压与位移曲线的线性度。的电容和可接受的电压与位移曲线的线性度。

【技术实现步骤摘要】
用于微机电系统装置的梳状驱动器及梳状驱动器的分压电路


[0001]本技术涉及微机电系统(MEMS)领域，特别是用于微机电系统器件的梳状驱动器及其分压电路。

技术介绍

[0002]静电梳状驱动器已被广泛用于MEMS装置中，以基于电容变化来感测 MEMS装置的振膜的位移。与其他类型的电容式驱动器(例如由平行板组成的电容器)相比，静电梳状驱动器具有以下优点：例如由靠近的膜驱动时声阻低、动子和定子之间的间隙不随运动而改变，从而防止静电吸合，在恒定充电模式下驱动时，电压
‑
位移特性曲线的线性度高。
[0003]典型的梳状驱动器包括若干重复单元，每个单元包括单个导电动子梳状齿和单个导电定子梳状齿。动子梳状齿和定子梳状齿其中之一电连接到高阻抗节点(HIN)，动子梳状齿和定子梳状齿中的另一个电连接到恒定偏置电压。动子梳状齿和定子梳状齿相互交叉以在其间形成电容器，动子运动引起电容器的电容发生变化，该变化使用传统的MEMS
‑
ASIC恒定充电模式电路测量为电压。
[0004]进一步的发展包括使用多个导电域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微机电系统装置的梳状驱动器，包括第一组梳状齿和第二组梳状齿，两组梳状齿可相对彼此移动，其特征在于，所述第一组梳状齿中的一个电连接到HIN，另一个电连接到另一个独立的HIN，以形成在第一方向上交替布置的至少两个HIN域；所述第二组梳状齿中的一个电连接到第一偏置电极，另一个电连接到与所述第一偏置电极具有相反极性的第二偏置电极，以形成在所述第一方向上交替排列的至少两个相反偏置域；和若干电容器对，分别形成在所述至少两个HIN域和所述至少两个相反偏置域之间，每一所述电容器对中的两电容器具有相反的声极性。2.根据权利要求1所述的梳状驱动器，其特征在于，在未向所述梳状驱动器施加电压的静止位置，所述至少两个HIN域和所述至少两个相对偏置域在所述第一方向上不重叠。3.根据权利要求1所述的梳状驱动器，其特征在于，所述第一组梳状齿沿第二方向延伸，所述第二方向与所述第一方向垂直。4.根据权利要求3所述的梳状驱动器，其特征在于，每个所述偏置域具有垂直于所述第二方向的矩形横截面，所述矩形横截面包括平行于所述第一方向的高度尺寸和垂直于所述第一方向和所述第二方向的宽度尺寸，并且所述高度尺寸小于所述宽度尺寸。5.根据权利要求3所述的梳状驱动器，其特征在于，所述梳状驱动器包括沿所述第一方向堆叠的多个材料层；或所述梳状驱动器包括沿第三方向堆叠的多个材料层，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。6.根据权利要求1所述的梳状驱动器，其特征在于，所述梳状驱动器包括定子和动子，所述第一组梳状齿和第二组梳状齿其中之一形成于所述定子，其中之另一形成于所述动子，所述HIN域的数量小于所述偏置域的数量，所述梳状驱动器还包括安装在所述定子上的附加偏置电极。7.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿努普，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：