MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。与相关技术相比，本实用新型专利技术提供的MEMS麦克风可以提高背板的强度。的强度。的强度。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风


[0001]本技术涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。
[0003]微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
[0004]相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜。背板的强度对MEMS麦克风的可靠性很重要，另外，背板上设有若干通孔，会进一步降低背板的强度，从而影响产品的可靠性
[0005]因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的技术问题是提供一种背板强度较高的MEMS麦克风。
[0007]为解决上述技术问题，提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。
[0008]优选的，每根所述加强筋连接所述本体部的相对设置的两个边缘。
[0009]优选的，至少一根所述加强筋经过所述背板的中心。
[0010]优选的，所述加强筋沿所述背板中心呈中心对称设置。
[0011]优选的，所述加强筋沿所述背板本体部的径向延伸。
[0012]优选的，所述加强筋包括多根平行间隔设置的横条加强筋和与所述横条加强筋垂直的多根平行间隔设置的竖条加强筋。
[0013]优选的，所述背板还设有位于所述固定部和本体部连接处的连接块，所述连接块分别与所述固定部和本体部连接。
[0014]优选的，所述固定部和所述本体部垂直，所述连接块为楔形。
[0015]优选的，所述加强筋位于所述本体部靠近所述基底的一侧。
[0016]优选的，所述背板设有若干贯穿所述本体部的通孔。
[0017]与相关技术相比，由于背板设有若干条状的加强筋，可加强背板的强度，提高MEMS麦克风的性能。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0019]图1为本技术第一实施方式提供的MEMS麦克风剖视图；
[0020]图2为本技术第一实施方式提供的MEMS麦克风的背板结构示意图；
[0021]图3为本技术第二实施方式提供的MEMS麦克风的背板结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]第一实施方式
[0024]请参阅图1及图2所示，为本技术第一实施方式的MEMS麦克风100，其包括具有背腔11的基底10及设置在所述基底10上的电容系统302。电容系统302包括背板20以及与所述背板20相对设置的振膜30，所述振膜30位于背板20靠近所述基底10的一侧。当声压作用于振膜30时，正对背板20与背对背板20的振膜30两面存在压强差，使得振膜30做靠近背板20或远离背板20的运动，从而引起振膜30与背板20间电容的变化，实现声音信号到电信号的转换。
[0025]所述背板20包括设有若干贯穿的通孔210的本体部21和连接所述本体部21和基底10的固定部22。在本实施方式中，背板20还设有凸出所述本体部21的若干条状加强筋23，加强筋23可以增强背板20的强度，提升MEMS麦克风100的可靠性。具体的，每根加强筋23连接所述本体部21的相对设置的两个边缘，即加强筋23贯穿整个背板20，加强筋23的两端分别延伸至本体部21的相对的两个边缘。另外，至少一根加强筋23经过背板20的中心，由此提升背板20中心的强度。
[0026]在本实施方式中，加强筋23沿背板20的径向延伸，即所有加强筋23均经过背板20的中心，并且加强筋23沿背板20中心呈中心对称设置。
[0027]进一步的，背板20还设有位于所述固定部22和本体部21连接处的连接块24，所述连接块24位于背板20靠近所述基底10一侧并且分别与所述固定部22和本体部21连接。即连接块24卡设于所述固定部22和本体部21之间，可进一步加强背板20的强度。在本实施方式中，所述固定部22和所述本体部21垂直，所述连接块24为楔形。
[0028]第二实施方式
[0029]如图3所示，为本技术的第二实施方式的MEMS麦克风的背板20
’
，第二实施方式与第一实施方式的区别仅在于：加强筋23
’
排布方式不同。在第二实施方式中，加强筋23
’
包括多根平行间隔设置的横条加强筋231
’
和与所述横条加强筋231
’
垂直的多根平行间隔设置的竖条加强筋232
’
。
[0030]与相关技术相比，由于背板设有若干条状的加强筋，可加强背板的强度，提高MEMS
麦克风的性能。
[0031]以上所述的仅是本技术的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，其特征在于，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：每根所述加强筋连接所述本体部的相对设置的两个边缘。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：至少一根所述加强筋经过所述背板的中心。4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋沿所述背板中心呈中心对称设置。5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述加强筋沿所述背板本体部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琳琳，张睿，王凯杰，赵转转，阮玉明，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：