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清华大学专利技术
清华大学共有54700项专利
一种聚羟基脂肪酸酯血管支架及制备方法技术
一种聚羟基脂肪酸酯血管支架及制备方法,属于生物医学工程领域。本发明提供的血管支架由多孔内膜、实心外膜及加强筋构成,加强筋以带状缠绕在实心外膜表层;所述的多孔内膜、实心外膜及加强筋是由聚羟基丁酸酯、聚羟基丁酸-戊酸酯或聚羟基丁酸-己酸酯中...
微型轴流式血泵的优化非恒速控制方法技术
微型轴流式血泵的优化非恒速控制方法属于人工器官控制技术领域,其特征为:它是建立在由目标函数、控制参数、限制条件组成的调节血泵转速的优化模型之上的方法。此非恒速控制方法的控制参数为:可选择7种速度的血泵高低转速以及高低速持续运转时间;优化...
灌注升温疗法用的血液温度控制方法及变温装置制造方法及图纸
灌注升温疗法用的血液温度控制方法及变温装置涉及到医用热疗技术领域。其特征在于,该控制方法是将水箱中的水温升高到一定温度值后,在计算机中进行的以热交换器出血口的血液温度为外环控制量,以热交换器进水口的水温为内环控制量的双环PID控制方法;...
一种注射式温敏型植入制剂制造技术
本发明公开了属于药用材料制备技术范围的一种温度-pH敏感型注射式植入制剂。该植入制剂多聚糖、多羟基磷酸盐组成的一定pH的溶液并含有以聚羟基酸酯为骨架的药物微囊,经灭菌、冻干后制得的pH为6.8~7.4的温度-pH敏感型注射式植入制剂。该...
一种优化的压电驱动微喷装置及其加工方法制造方法及图纸
一种优化的压电驱动微喷装置及其加工方法,属于医疗器械领域。为了解决现有压电驱动阵列微喷存在的喷孔外表面的水膜问题和在喷孔比较小的情况下,微喷流量比较小的问题,本发明提供了一种优化的压电驱动微喷装置,包括喷孔膜,弹性腔膜和压电片,压电片与...
x射线下可视的多层药物复合可降解胆道支架的制备方法技术
x射线下可视的多层药物复合可降解胆道支架的制备方法,涉及一种生物可降解的、x射线下可视、抗感染、抗肿瘤、抗纤维化、抗结石的多层药物复合高分子材料胆管内支架的制备。本发明使用多种可降解高分子材料,将支架做成多层,其材料降解速度由管腔内到外...
压电驱动阵列微喷及其加工方法技术
压电驱动阵列微喷及其加工方法,属于医疗器械技术领域。为了解决现有压电驱动阵列微喷加工复杂,价格昂贵的问题,本发明公开了一种压电驱动阵列微喷,包括设有阵列凹槽结构的喷孔膜,弹性腔膜和压电片,喷孔膜的阵列凹槽结构为蜂窝状,每个凹槽结构为六边...
螺旋制式翼型微型血泵制造技术
一种螺旋式翼型微型血泵及其计算机仿真制作方法属于人工器官设计和制造技术领域,其特征为:它是一种新提出的血泵,可以达到离心泵的高扬程,满足人体的生理辅助要求,同时工作原理接近轴流泵,推动血液在螺旋式的平滑通道内前进,因而可以大大减小对血液...
一种反向温敏型注射式可植入药物载体材料制造技术
本发明公开了属于医用材料领域的一种反向温度敏型可注射式植入药物载体材料。由纤维素类衍生物、聚乙二醇、多聚糖和对纤维素类衍生物有盐析作用的盐按凝胶材料组分的重量/体积比组成。本发明通过向“纤维素类衍生物-聚乙二醇-盐”体系中加入一定浓度多...
“一”字形结构三维微型实心、空心硅针或刀制造技术
本发明公开了属于显微外科手术器械及微细加工技术领域的“-”字形结构三维微型实心、空心硅针或刀及制备方法。采用微电子工艺制备的微型硅针或刀的针尖顶部为与单晶硅的一族(111)面平行的“-”字形结构;“-”字形结构是宽度较窄的直线或同一平面...
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置制造方法及图纸
用于肿瘤热化学靶向消融治疗的可控型微创注射装置,属于医疗器械技术领域。该装置由控制及显示装置、玻璃管封装的热电偶或pH传感器和一路或多路注射系统组成,每路注射系统包括步进电机、蠕动泵、试剂瓶、耐酸碱胶管以及注射微针。本发明可将药物特别是...
在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法技术
本发明公开了属于微加工技术和微型检测器件范围的一种在SOI硅片上制造压阻式微悬臂梁传感器的方法。其特征在于:所述传感器采用SOI(绝缘体上硅)硅片制备,即在所述SOI硅片的上层硅中制备单晶硅压阻敏感器件,采用硅的横向干法刻蚀工艺从正面释...
刻蚀牺牲层形成间隙的方法技术
本发明涉及一种刻蚀牺牲层形成间隙的方法,其包括以下步骤:提供一基底,在该基底上沉积一第一材料层,在第一材料层上沉积一牺牲层;在牺牲层上形成图形化的第二材料层;干法刻蚀部分牺牲层;湿法刻蚀部分剩余牺牲层,在第一材料层和第二材料层之间形成间...
带有厚层结构的晶片上金属层的图形化方法技术
本发明属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域,特别涉及一种在带有厚层结构的硅晶片上金属层的图形化方法。在本发明提出的金属层的图形化方法中,利用牺牲层腐蚀制作与硅衬底间隔着绝缘层的悬起隔离槽如多晶硅隔离槽,把溅射或蒸发在带有厚层结构的硅...
一种微纳组合结构器件的制作方法技术
本发明公开了一种微米/纳米组合结构器件的制作方法,包括:对一基体掺杂以形成一用作基体电极的掺杂层;成形一绝缘层并露出基体电极;淀积一牺牲层并露出基体电极;淀积一多晶硅层,并对多晶硅层进行掺杂;溅射一金属层;用多晶硅层和金属层成形出质量块...
射频微机械串联接触式开关的制作方法技术
本发明涉及射频微机械串联接触式开关的制作方法,属于半导体器件及集成电路制作技术领域,该方法包括:以硅片为衬底,并进行清洗;溅射、电镀、淀积、光刻、刻蚀形成共面波导和下电极;旋涂并固化牺牲层,溅射金属,淀积介质;图形化形成带系列小孔的桥膜...
一种利用超声波作用封装微结构器件的方法技术
一种超声波作用封装微结构器件的方法,本发明以乙醇作为溶剂,通过控制操作温度和超声作用时间,在超声装置中实现了以有机玻璃(聚甲基丙烯酸甲酯,PMMA)为基板,与包括聚四氟乙烯、石英玻璃、金属等在内的多种材料复合的微结构器件的封装。所实现的...
用于超声定位与测距的微声学器件制造技术
本实用新型公开了属于半导体器件领域的一种用于超声定位与测距的微声学器件,由制作有铁电薄膜等多层薄膜材料所构成。自下而上依次为硅杯衬底、热氧化的二氧化硅、钛层-下电极铂层、PZT薄膜层/AlN薄膜层、上电极铂层、等离子增强化学气相淀积的二...
一种MEMS光开关制造技术
本实用新型公开了属于微光机电装置领域的一种以压电多层薄膜驱动的MEMS光开关,是在弹性衬底上沉积压电复合膜层形成多级折叠级联的驱动臂,并和反射微镜垂直连接构成单个MEMS光开关。其驱动臂是由弹性衬底及衬底上的缓冲材料层上面复合叠加上下薄...
一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法技术
一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法,属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域。本发明包括单晶硅衬底,制作在硅衬底上的下电极、下电极压焊块、上电极、上电极压焊块、上、下电极之间的二氧化硅和氮化硅绝缘层,其技术特点是所述的上电极采用弯曲悬臂梁...
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